Зондовая станция с 3-осевым манипулятором SEMISHARE H12

Производитель

SEMISHARE CO., LTD.

Размер стола держателя образца, мм

304.8

Диаметр пластины, мм

305

Тип держателя образца (опционально)

Держатель для высоких температур и высокого давления

Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях)

Да, держатель образца электрически изолирован

Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм

310 × 310

Точность перемещения платформы держателя образца, мкм

1

Минимальный шаг позиционирования, мкм

1

Угол поворота платформы для держателя образца (грубая регулировка), ±град

360

Диапазон точной настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, ±град

8

Точность настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, град

0.002

Быстрый ход подъема платформы для перемещения держателя образца, мм

5

Длина платформы для крепления зондов, мм

580

Ширина платформы для крепления зондов, мм

1030

Рабочее расстояние (от верхней поверхности держателя образца до нижней поверхности платформы), мм

8

Максимальное количество устанавливаемых зондов

8

Подъем платформы для крепления зондов

3-ступенчатый подъемник: отделение (300 мкм), загрузка (5 мм), непрерывный подъем (0 — 40 мм)

Микроскоп

Опционально: стереоскопический, видео микроскоп

Минимальное увеличение микроскопа, раз

20

Максимальное увеличение микроскопа, раз

2000

Камера микроскопа (опционально), Мп

6.5 (цифр.)

Ход перемещения координатного столика микроскопа (XY), мм

50.8

Ход зонда по осям X-Y-Z, мм

12 × 12 × 12

Повторяемость держателя образца по XY, ±мкм

3

Длина, мм

1046

Ширина, мм

987

Высота, мм

828