Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 975
Предельный вакуум, мбар: 0.005
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 5500
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 928
Предельный вакуум, мбар: 0.005
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 4480
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 827
Предельный вакуум, мбар: 0.005
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 3300
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 500
Предельный вакуум, мбар: 0.005
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 1850
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 468
Предельный вакуум, мбар: 0.005
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 1250
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 411
Предельный вакуум, мбар: 0.005
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 680
Описание
Серия сухих насосов EV-HClaw использует технологию когтевого сжатия. Важными характеристиками являются широкий диапазон настройки температуры и содержания азота, а также высокая устойчивость к механическим загрязнениям и коррозионным факторам. Данная серия предназначена для эксплуатации в экстремальных условиях.
Применения
- Процесс химического осаждения из плазмы высокой плотности (HDP-CVD)
- Химическое осаждение из паровой фазы методом разложения металлоорганических соединений (MOCVD)
- Плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD)
- Вакуумное химическое осаждение из газовой фазы (LPCVD)
- Атомно-слоевое осаждение (ALD)
|
Модель |
EV-HClaw 200 |
EV-HClaw 500 |
EV-HClaw 600 |
EV-HClaw 1200 |
EV-HClaw 1800 |
EV-HClaw 3000 |
EV-HClaw 5000 |
EV-HClaw 6000 |
|
Макс. скорость откачки, м3/ч |
220 |
510 |
680 |
1250 |
1850 |
3300 |
4480 |
5500 |
|
Предельный вакуум, мбар |
0.02 |
0.02 |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
0.005 |
|
Входной диаметр |
ISO100 |
ISO100 |
ISO100 |
ISO100 |
ISO160 |
ISO160 |
ISO200 |
ISO250 |
|
Выходной диаметр |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
NW40 |
|
Напряжение источника питания, В |
208/380 |
208/380 |
208/380 |
208/380 |
208/380 |
208/380 |
208/380 |
208/380 |
|
Номинальная мощность, кВт |
7.5 |
11 |
12 |
12 |
12 |
18.5 |
18.5 |
18.5 |
|
Рабочая мощность, кВт |
2.7 |
6 |
2.3 |
3 |
3.7 |
7.3 |
7.3 |
7.3 |
|
Расход охлаждающей жидкости, л/мин |
2.7 |
6 |
3 |
4.1 |
4.2 |
12 |
12 |
12 |
|
Поток газа продувки N2, ст. л/мин |
20~40 |
40~90 |
20~40 |
40~90 |
40~90 |
40~130 |
40~130 |
40~130 |
|
Разъем источника питания |
HAN-K-4/4 |
HAN-100A |
HAN-K-4/4 |
HAN-K-4/4 |
HAN-K-4/4 |
HAN-100A |
HAN-100A |
HAN-100A |
|
Масса, кг |
265 |
360 |
411 |
468 |
500 |
827 |
928 |
975 |
|
Шум, дБ (А) |
<70 |
<70 |
<70 |
<70 |
<70 |
<70 |
<70 |
<70 |
|
Габариты (ДхШхВ), мм |
1150 × 442 × 519 |
1196 × 580 × 617 |
901 × 396 × 787 |
901 × 396 × 787 |
830 × 396 × 787 |
1000 × 517 × 970 |
1000 × 517 × 970 |
1080 × 517 × 970 |