Сухие вакуумные насосы ERSTVAK EV-HClaw

Описание Серия сухих насосов EV-HClaw использует технологию когтевого сжатия. Важными характеристиками являются широкий диапазон настройки температуры...

Получить консультацию по Сухие вакуумные насосы ERSTVAK EV-HClaw

Оставьте контактный номер и с вами свяжется наш инженер Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики обработки данных

Описание серии

Описание

Серия сухих насосов EV-HClaw использует технологию когтевого сжатия. Важными характеристиками являются широкий диапазон настройки температуры и содержания азота, а также высокая устойчивость к механическим загрязнениям и коррозионным факторам. Данная серия предназначена для эксплуатации в экстремальных условиях.

Применения

Процесс химического осаждения из плазмы высокой плотности (HDP-CVD)
Химическое осаждение из паровой фазы методом разложения металлоорганических соединений (MOCVD)
Плазмохимическое осаждение из газовой фазы (PECVD)
Вакуумное химическое осаждение из газовой фазы (LPCVD)
Атомно-слоевое осаждение (ALD)

Модель	EV-HClaw 200	EV-HClaw 500	EV-HClaw 600	EV-HClaw 1200	EV-HClaw 1800	EV-HClaw 3000	EV-HClaw 5000	EV-HClaw 6000
Макс. скорость откачки, м³/ч	220	510	680	1250	1850	3300	4480	5500
Предельный вакуум, мбар	0.02	0.02	0.005	0.005	0.005	0.005	0.005	0.005
Входной диаметр	ISO100	ISO100	ISO100	ISO100	ISO160	ISO160	ISO200	ISO250
Выходной диаметр	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40	NW40
Напряжение источника питания, В	208/380	208/380	208/380	208/380	208/380	208/380	208/380	208/380
Номинальная мощность, кВт	7.5	11	12	12	12	18.5	18.5	18.5
Рабочая мощность, кВт	2.7	6	2.3	3	3.7	7.3	7.3	7.3
Расход охлаждающей жидкости, л/мин	2.7	6	3	4.1	4.2	12	12	12
Поток газа продувки N2, ст. л/мин	20~40	40~90	20~40	40~90	40~90	40~130	40~130	40~130
Разъем источника питания	HAN-K-4/4	HAN-100A	HAN-K-4/4	HAN-K-4/4	HAN-K-4/4	HAN-100A	HAN-100A	HAN-100A
Масса, кг	265	360	411	468	500	827	928	975
Шум, дБ (А)	<70	<70	<70	<70	<70	<70	<70	<70
Габариты (ДхШхВ), мм	1150 × 442 × 519	1196 × 580 × 617	901 × 396 × 787	901 × 396 × 787	830 × 396 × 787	1000 × 517 × 970	1000 × 517 × 970	1080 × 517 × 970