Производитель: INFICON
Принцип измерения: Датчики Байярда-Альперта
Фланцевое соединение: 40 CF-R
Производитель: INFICON
Принцип измерения: Датчики Байярда-Альперта
Фланцевое соединение: 25 ISO-KF
Производитель: INFICON
Производитель: INFICON
Производитель: INFICON
Цифровой интерфейс: Порт для диагностики
Фланцевое соединение: CF40
Производитель: INFICON
Фланцевое соединение: 8 VCR с внутренней резьбой
BAG302
Вакуумметры BAG302 Байярда-Альперта с горячим катодом INFICON работают в широком диапазоне измерений от 1.3х10–9 до 6.7х10–2 мбар (от 1х10–9 до 5х10–2 Торр).
Ионизационный вакуумметр BAG302 с горячим катодом оснащен легко заменяемым датчиком с двумя нитями накаливания, встроенным OLED-дисплеем, реле уставки и логарифмическим аналоговым выходом, а также встроенным цифровым интерфейсом RS485 для передачи данных.
По требованию Заказчика возможно дооснащение цифрового вакуумметра дополнительными опциями.
Особенности
-
Встроенный цифровой интерфейс RS485
-
Яркий цифровой OLED-дисплей с клавиатурой для простой настройки, эксплуатации и программирования
-
Программируемые пользователем единицы измерения в мбар, Торр или Па
-
Автоматический выбор тока эмиссии по выбору пользователя
-
Возможность выбора различных вариантов фланцев
-
Соответствие стандартам: CE, RoHS
-
Две стандартные иридиевые нити с покрытием из оксида иттрия с длительным сроком службы
-
Широкий диапазон измерений от 1.3х10-9 до 6.7х10-2 мбар (от 1х10-9 до 5х10-2 Торр)
-
Программируемое пользователем реле уставки
Применение
-
Измерение давления при производстве полупроводников
-
Измерение давления в шлюзовых камерах
-
Установки напыления
-
Измерение и контроль вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума
|
Модель/ Параметры |
BAG302 DN 16 ISO-KF |
BAG302 DN 25 ISO-KF |
BAG302 DN 40 ISO-KF |
BAG302 DN 16 CF-R |
BAG302 DN 40 CF-R |
BAG302 3/4" патрубок |
BAG302 8 VCR с внутренней резьбой |
||||||
|
Диапазон измерений |
1.3х10^-9 … 6.7х10^-2 мбар; 1х10^-9 … 5х10^-2 Торр; 1.3х10^-7 … 6.7 Па |
||||||||||||
|
Точность измерения (N2)* |
1.3х10^-8 … 6.7х10^-2 мбар % от показаний ±15; 1х10^-8 … 5х10^-2 Торр % от показаний ±15 |
||||||||||||
|
Повторяемость* |
% от показаний ±5 |
||||||||||||
|
Дегазация** |
p<6.7х10^-5 мбар электронная бомбардировка, 2 мин (по умолчанию); p<5.00х10^-5 Торр (программируется в диапазоне 2 ... 10 мин) |
||||||||||||
|
Рабочая температура (окр. среды), °C |
0 … +40 |
||||||||||||
|
Температура хранения, °C |
-40 … +70 |
||||||||||||
|
Макс. температура прогрева, °C |
200 (только датчик, электроника удалена) |
||||||||||||
|
Электропитание, В*** |
+20 … +28 постоянного тока |
||||||||||||
|
Выходной аналоговый сигнал, В |
0 … +9 (логарифмическая функция) |
||||||||||||
|
Зависимость напряжение – давление, В на декаду |
1 |
||||||||||||
|
Реле уставки |
1 (однополюсное двухточечное реле (SPDT)); 1 А при 30 В (постоянного тока) резистивного или В (переменного тока) неиндуктивного напряжения |
||||||||||||
|
Цифровые функции |
Дегазация, включение/выключение нити накаливания и контроль эмиссии |
||||||||||||
|
Цифровой интерфейс |
RS485 |
||||||||||||
|
Контроль эмиссии |
Вручную |
||||||||||||
|
Нить накаливания |
Две иридиевые нити (Ir), покрытые оксидом иттрия (Yt2O2) |
||||||||||||
|
Состояние нити накаливания |
Дисплей/цифровой выход |
||||||||||||
|
Электрическое подключение |
D-Sub, 9-pin, папа для аналогового входа, D-Sub, 9-pin, мама для RS485 |
||||||||||||
|
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Yt2O3, Ir, W, Ta, нержавеющая сталь, стекло, Ni |
||||||||||||
|
Ориентация при монтаже |
Любая |
||||||||||||
|
Внутренний объем, см3 (дюйм3) |
16.4 (1.0) |
||||||||||||
|
Масса KF/CF, г (фунт) |
270 |
||||||||||||
|
Фланцевое соединение |
DN 16 ISO-KF |
DN 25 ISO-KF |
DN 40 ISO-KF |
DN 16 CF-R |
DN 40 CF-R |
3/4" патрубок |
8 VCR с внутренней резьбой |
||||||
|
Артикул для вакуумметров с OLED, SP, аналоговым выходом, RS485 |
352-050 |
352-051 |
352-052 |
352-053 |
352-054 |
352-055 |
352-056 |
||||||
|
*- Стандартно **- Снижение точности при дегазации ***- Защита 30 Вт от реверса питания и переходных перенапряжений |
|||||||||||||
BAG402
Цифровые вакуумметры BAG402 Байярда-Альперта с горячим катодом производства INFICON обеспечивают широкий диапазон измерений от 5х10-10 мбар до 2.7х10-2 мбар (от 3.75х10-10 Торр до 5х10-2 Торр).
Особенности
-
Диапазон измерений от 5х10-10 мбар до 2.7х10-2 мбар (от 3.75х10-10 Торр до 5х10-2 Торр)
-
Повторяемость в диапазоне давлений процесса от 10-8 ...10-2 мбар - 5%
-
Детектор избыточного давления защищает нить накаливания от преждевременного выгорания
-
Две долговечные иридиевые нити накаливания с покрытием из оксида иттрия
-
Автоматический выбор тока эмиссии упрощает управление
-
Легко заменяемый чувствительный элемент с данными калибровки на борту гарантирует высокую точность измерений
-
Соответствие требованиям RoHS
Применение
-
Измерение давления при производстве полупроводников
-
Измерение давления в шлюзовых камерах
-
Установки напыления
-
Измерение и контроль вакуума в диапазоне от низкого до сверхвысокого вакуума
|
Модель/ Параметры |
BAG402 DSUB9 KF25 |
BAG402 DSUB9 CF40 |
|
Диапазон измерений (воздух, O2, CO, N2) |
5х10^-10 … 2.7х10^-2 мбар; |
|
|
Точность измерения |
10^-8 … 10^-2 мбар % от показания ±15 |
|
|
Повторяемость |
10^-8 … 10^-2 мбар от показаний ±5 |
|
|
Дегазация |
p<7.2х10^-6 мбар (электронная бомбардировка, максимум 3 мин) |
|
|
Максимальное давление, бар (абсолютное) |
2 |
|
|
Рабочая температура (окр. среды), °C |
0 … +50 |
|
|
Температура хранения, °C |
-20 … +70 |
|
|
Прогрев на фланце без электроники BPG402-S |
80 |
|
|
Электропитание, В |
+20 … +28 постоянного тока |
|
|
Выходной аналоговый сигнал, В |
0 … +10 |
|
|
Диапазон измерений log/линейный |
0 … +9 |
|
|
Зависимость напряжение – давление, В на декаду |
1 |
|
|
Сигнал ошибки, В |
> +10 |
|
|
Минимальное сопротивление нагрузки, кОм |
10 |
|
|
Вторичный аналоговый выход |
нет |
|
|
Реле уставки |
нет (число уставок) |
|
|
Цифровые функции |
Дегазация и контроль эмиссии |
|
|
Цифровой интерфейс |
Порт для диагностики |
|
|
Контроль эмиссии |
Вручную |
|
|
Нить накаливания |
Две иридиевые нити (Ir), покрытые оксидом иттрия (Yt2O2) |
|
|
Состояние нити накаливания |
LED / реле |
|
|
Электрическое подключение |
D-Sub, 9-pin, папа |
|
|
Максимальная длина кабеля, м (фут) |
100 (330) |
|
|
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, нержавеющая сталь, стекло |
|
|
Ориентация при монтаже |
Любая |
|
|
Внутренний объем KF/CF, см3 (дюйм3) |
24 (1.46) / 34 (2.1) |
|
|
Масса KF/CF, г (фунт) |
450 / 710 |
|
|
Степень защиты |
IP30 |
|
|
Фланцевое соединение |
KF25 |
CF40 |
|
Артикул |
353-600 |
353-601 |
|
1 - Снижение точности при дегазации 2 - Одновременное использование контроллеров серии RS232C или VGC40x и контроллера Fieldbus не допускается. |
||
BAG05х
Пассивные ионизационные вакуумные преобразователи BAG05x с горячим катодом представляют собой датчики Байярда-Альперта (BAG050, BAG051) или стеклянные трубки (BAG052, BAG053), предназначенные для использования с контроллером VGC083A/B.
Иридиевые нити с покрытием из оксида иттрия применяются в общем вакууме, где присутствуют воздух и инертные газы, такие как N2 и аргон. Вольфрамовые нити предназначены для специфических применений, где иридиевые нити с покрытием из оксида иттрия несовместимы.
Серия BAG05x разработаны для вакуумных систем с низким газовыделением и могут работать при экстремально высоких температурах (450 °C).
Типы
BAG050 - дегазационный ионизационный вакуумметр с электронной бомбардировкой (EB), способный измерять давление сверхвысоких температур до 2х10-11 мбар.
BAG051 - резистивный (I2R) дегазационный ионизационный вакуумметр, способный измерять давление до 5х10-10 мбар.
BAG052 и BAG053 - стеклянные ионизационные вакуумметры с резистивной дегазацией (I2R), способные измерять давление до 5х10-10 мбар.
Особенности
-
Надежная конструкция датчика
-
Универсальная замена для большинства вакуумметров с горячим катодом
-
Широкий диапазон токов эмиссии (от 100 мкА до 10 мА)
-
Поставляется с одинарным/двойным иридиевым катодом с покрытием из оксида иттрия и двойным катодом с вольфрамовой нитью
-
Дегазация: все модели могут быть дегазированы с помощью электронной бомбардировки (EB), BAG051, BAG052 и BAG053 также могут быть дегазированы с помощью резистивной дегазации (I2R)
Применение
-
Промышленные или научно-исследовательские применения, требующие точного измерения вакуума в диапазоне высокого/сверхвысокого вакуума и высокотемпературной термообработки
Электрическое подключение
|
Модель/ Параметры |
BAG050 |
BAG051 |
BAG052 |
BAG053 |
|
Принцип измерения |
Ионизация с горячим катодом |
|||
|
Конфигурация системы электродов |
Датчики Байярда-Альперта |
|||
|
Диапазон измерений |
2.7х10^-11 … 1.3х10^-3 мбар; 2х10^-11 … 1х10^-3 Торр; 2.7х10^-9 … 1.3х10^-1 Па
|
|
5.3х10^-10 … 1.3х10^-3 мбар; 4х10^-10 … 1х10^-3 Торр; 5.3х10^-8 … 1.3х10^-1 Па |
|
|
Рентгеновский предел, Торр |
2х10^-11 |
|
4х10^-10 |
|
|
Чувствительность (N2, типовая) |
25 Торр^-1 |
|
10 Торр^-1 |
|
|
Точность измерения (N2, типовая) |
±20% |
|||
|
Повторяемость (N2, типовая) |
±5% |
|||
|
Ориентация при монтаже |
Любая |
|||
|
Макс. температура прогрева, °C |
450 |
|||
|
Электронная бомбардировка (EB) при дегазации |
≤40 Вт |
70 Вт номинально, ≤100 Вт |
≤100 Вт |
≤100 Вт |
|
Резистивный нагрев при дегазации* |
|
6.3 ... 7.5 В (переменный ток) при 10 А |
6.3 ... 7.5 В (переменный ток) при 10 А |
6.3 ... 7.5 В (переменный ток) при 10 А |
|
Ток нагрева на катоде, А |
2.5 … 3.5 |
|
4 … 6 |
|
|
Напряжение нагрева катода, В |
3 … 5 постоянного тока |
|
3 … 5 постоянного тока |
|
|
Потенциал на катоде, В |
+30 постоянного тока |
|
30 постоянного тока |
|
|
Потенциал сетки, В |
+180 постоянного тока |
|
+180 постоянного тока |
|
|
Потенциал на аноде, В |
0 |
|
0 |
|
|
Материал анода |
Вольфрам (W), Ø0.005'' |
Вольфрам (W), Ø0.010'' |
Вольфрам (W), Ø0.010'' |
Вольфрам (W), Ø0.010'' |
|
Материал катода (нить накаливания) |
Двойной иридий (Ir), или двойной вольфрам (W) |
Одно/двухслойное иттриевое покрытие Ir или двухслойное W |
Однослойное покрытие из иридия (Ir) |
Двухслойное покрытие из вольфрама (W) |
|
Анод (сетка) |
|
|
|
|
|
Изолятор |
Керамика |
Керамика |
Керамика |
Керамика |
|
Общая, дюйм |
4⅛ |
4⅛ |
6 |
6 |
|
Вставка, дюйм |
3 |
3 |
|
|
|
Стеклянная колба |
|
|
2 ¼'' диаметр х 5'' в длинну |
2 ¼'' диаметр х 5'' в длинну |
|
Материал фланцев |
SS AISI 304 |
SS AISI 304 |
Стекло Nonex 7720 |
Стекло Nonex 7720 |
|
*- 1.3х10^-8 ... 6.7х10^-2 мбар (1х10^-8 ... 5х10^-2 Торр) |
||||
BAG552
Цифровые вакуумметры BAG552 предназначены для измерения газов в диапазоне 5х10-10 ... 2х10-2 мбар.
Серия BAG552 может работать в сочетании с контроллерами INFICON Vacuum Gauge Controller серий VGC501, VGC502, VGC503.
Особенности
-
Точная измерительная система Байярда-Альперта для широкого диапазона измерений сверхвысокого и высокого напряжения
-
Две нити накаливания для системы Байярда-Альперта
-
Гальванически изолированная электроника для предотвращения блуждающих токов
-
Скользящий режим эмиссии для предотвращения скачков давления и зависания при переключении потока эмиссии
-
Реле заданного значения
-
Яркий и большой OLED-дисплей (поворачивающийся на 90°) с пользовательским интерфейсом
-
Аналоговый выход, последовательный интерфейс RS232C, EtherCAT®
-
Используется в сочетании с контроллерами серии VGC50x
-
Соответствие RoHS
|
Модель/ Параметры |
BAG552 25 ISO-KF |
BAG552 40 CF-R |
|
Принцип измерения |
Датчики Байярда-Альперта |
|
|
Диапазон измерений |
5х10-10 … 2х10-2 мбар; 3.8х10-10 … 1.5х10-2 Торр |
|
|
Точность измерения |
1х10^-8 … 2х10^-2 мбар % от показаний ±15 |
|
|
Повторяемость |
10^-8 ... 10^-2 мбар % от показаний ±5% |
|
|
Ток эмиссии дегазации |
p<7.2х10^-6 мбар, электронная бомбардировка (не более 3 мин.) ≈ 16 мА (Pdegas ≈4 Вт) |
|
|
Электронное подключение, аналоговое/RS232 |
D-sub, 15-контактный, папа |
|
|
Электропитание |
+20 … +28 В / 0.8 А постоянного тока |
|
|
Выходной аналоговый сигнал, В |
0 … 10 постоянного тока |
|
|
Зависимость напряжение – давление, В на декаду |
Логарифмическая, 0.75 В/декада |
|
|
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Yt²O³, Ir, Mo, NiFe, NiCr, нержавеющая сталь, стекло |
|
|
Рабочая температура (окр. среды), °C |
0 … +50 |
|
|
Температура хранения, °C |
-20 ... +70 |
|
|
Макс. температура прогрева, °C |
… +150 |
|
|
Степень защиты |
IP40 |
|
|
Встроенный чип калибровочных данных (на запасном датчике) |
Да/ съемный |
|
|
Реле уставки |
2 шт |
|
|
Дисплей (по запросу) |
OLED + Pad |
|
|
Выходные коммуникации |
Интерфейс: Аналоговый выход + RS232C; Интерфейс: EtherCAT + Аналоговый выход + RS232C |
|
|
Фланцевое соединение |
25 ISO-KF |
40 CF-R |