Зондовые станции с 3-осевым манипулятором SEMISHARE серии H

Описание

Интегрированные ручные зондовые станции серии H производства компании SEMISHARE представляют собой линейку высокоточных ручных зондовых станций с интегрированной трехступенчатой системой подъема держателей зондов, разработанных для комплексных лабораторных исследований и контроля параметров полупроводниковых пластин, кристаллов и микроэлектронных компонентов. Оборудование предназначено для применения в научно-исследовательских центрах, опытном производстве и при проведении входного контроля. Конфигурация стола обеспечивает работу со стандартными подложками диаметром 150 мм (6"), 200 мм (8"), 305 мм (12").

Особенности

1. Инновационная система перемещения образца на воздушной подушке:

• Обеспечивает плавность передвижения образца в плоскости X-Y.
• Позволяет проводить высокоэффективное сканирование всей пластины с последующим точным позиционированием на отдельных кристаллах.
• Сочетает скорость воздушной подушки с точностью механических систем.

2. Трехступенчатая платформа подъема держателей зондов:

• Реализует три независимых режима работы: быстрое позиционирование (0 - 300 мкм) + точная настройка (ход 40 мм, разрешение 10 мкм), загрузка образца (5 мм).
• Обеспечивает повторяемость позиционирования зондов (±1 мкм) и защиту от повреждения образцов и зондов.

3. Модульная конструкция UPStart:

• Позволяет адаптировать конфигурацию оборудования под задачи Заказчика, например, для работы с миллиметровыми волнами, поиска дефектов, тестирования MEMS-датчиков или оптоэлектронных компонентов.
• Предусматривает возможное расширение функционала и модернизацию под задачи Заказчика.

4. Усиленная конструкция и прецизионная механика:

• Жесткая рама из усиленного композита на основе алюминия обеспечивает максимальную стабильность и виброизоляцию.
• Высокоточные маховики управления с ходом 1 мкм и угловым разрешением 0,002° обеспечивают сверхплавное и точное позиционирование.
• Электрически изолированный держатель образца с возможностью использования в качестве заднего электрода.

5. Комплексная система вакуумной фиксации:

• Независимое управление многоканальной вакуумной системой обеспечивает надежную фиксацию образцов различных размеров.
• Опционально: позолоченные, коаксиальные и трехосные держатели для измерений высокого напряжения и сверхмалых токов (до 100фА).

Таблица поддерживаемых тестов и измерений

Основные составляющие станции

Микроскоп

• Совместим с металлографическим и моноокулярным видеомикроскопом. Оснащен объективом высокой мощности и высокого разрешения для наблюдения на уровне микрон/субмикрон.
• Светодиодное коаксиальное/кольцевое освещение с высокой контрастностью. Возможна установка лазера для анализа дефектов и лазерной резки.
• Арочная мостовая конструкция обеспечивает повышенную стабильность и хорошую жесткость.
• Координатный столик микроскопа позволяет перемещать микроскоп в диапазоне X-Y с точностью перемещения 1 мкм.

Пневматический быстрый подъем микроскопа

• Ход 50 мм, однокнопочное быстрое управление. Обеспечивает удобство для быстрой замены микроскопа и оснастки для зондовых карт.

Платформа для держателей зондов

• Увеличенное пространство для установки держателей зондов.
• Изготовлена из усиленной легированной стали, обладает высокой жесткостью и обеспечивает стабильность крепления.
• Никелевое покрытие, нанесенное по новой технологии обработки, увеличивает адгезию по сравнению с хромированными аналогами.
• Возможность установки крепления для зондовой карты

Трехступенчатая платформа подъема держателей зондов

• Точная регулировка подъема:максимальный ход до 40 мм, точность перемещения до 5 мкм. Предназначена для тестирования с помощью зондовых карт и гнездовых разъемов
• Функция 2-скоростного быстрого подъема:
  •   Односкоростной быстрый подъем: ход до <30 мм
  •   Быстрый подъем (>6 мм): может быстро отделить зонд или зондовую карту от поверхности образца.

Камера CCD

• Высокочувствительная CCD/CMOS-камера с интерфейсом C/CS, опции на выбор: 2 Мп/ 5 Мп/ камеры HD-класса (~1.2 Мп), разрешение до 1920×1080 (Full HD) и выше.
• Интерфейс SD-карты для сохранения изображений и видео.
• HDMI-кабель для подключения к дисплею и наблюдения в реальном времени.

Держатель образца

• Образец фиксируется с помощью кольцевой и многоконтурной вакуумной системы крепления, каждый вакуумный канал управляется независимо.
• Держатель является электрически изолированным (независимая подвеска) и оснащен разъемом типа банан, что позволяет использовать его в качестве заднего электрода.
• Опционально: многопористый вакуумный держатель стандартных образцов, система высокотемпературного/низкотемпературного термостатирования, а также держатели с коаксиальным/трехосным/позолоченным исполнением.
• Доступны держатели зондов с различной точностью и ходом; магнитное или вакуумное крепление (опционально).

Управление вакуумными каналами держателя

• Централизованное расположение и независимое управление вакуумными отверстиями разных каналов.

Пневматический перемещаемый столик (воздушная подушка)

• Конструкция с механизмом быстрого отвода, обеспечивающая удобную замену образцов и защиту их поверхности от повреждений при тестировании зондовой картой.
• Одностороннее управление столиком позволяет осуществлять быстрое позиционирование в плоскости X-Y.
• Столик оснащен функцией точного позиционирования и обладает высокой точностью управления с обратной связью.
• Точность перемещения по осям XY составляет 1 мкм, перемещение осуществляется без люфта; один полный оборот маховика соответствует ходу в 1 мм.
• Угол поворота столика:360°.
• Столик поддерживает точную угловую юстировку с точностью настройки 0,01°.

Технические характеристики