Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 18
Степень защиты: IP40
Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 18
Степень защиты: IP54
Производитель: Thyracont Vacuum Instruments GmbH
Температура хранения: -40 — +65
Время отклика, мс: 40
Степень защиты: IP40 (IP54)
Подробности
Вакуумные датчики Thyracont серии VSR оснащены комбинированным датчиком типа Пьезорезистивный / Пирани с температурной компенсацией. VSR измеряют общее давление газа в диапазоне 5,0х10-5 – 2000 мбар.
Особенности
-
Комбинированный датчик Пьезо/Пирани с расширенным диапазоном измерения 5,0e-5 мбар
-
Высокая точность во всем диапазоне измерений, включая грубый вакуум
-
Отличная воспроизводимость и надежность для стабильного производственного процесса
-
Устойчивость к избыточному давлению до 10 бар
-
Светодиодная индикация оптического состояния
-
Измерение независимо от типа газа в низком вакууме
-
Быстрое время отклика до 18 мс позволяет сократить тактовые циклы
-
Встроенная металлическая облицовка для защиты от загрязнения
-
Подходит для сверхвысокого вакуума благодаря измерительной ячейке из нержавеющей стали с металлической герметичностью (скорость утечки He <5e-10 мбар л/с)
|
Модель |
Комбинированный вакуумный датчик THYRACONT VSR53MA4 |
Комбинированный вакуумный датчик THYRACONT VSR53MV |
Комбинированный вакуумный датчик THYRACONT VSR54MV |
||
|
Принцип измерения |
Пьезорезистивный / Пирани, в зависимости от типа газа |
||||
|
Материалы, контактирующие с вакуумом |
Нержавеющая сталь 1.4307, вольфрам, никель, стекло, оксид кремния, эпоксидная смола, полиимид, SnAg |
||||
|
Диапазон измерений |
2000 - 5х10^-5 мбар (1500 - 5.0 х10^- 5 Торр) |
||||
|
Максимальное избыточное абсолютное давление, бар |
10 |
||||
|
Точность измерения |
2000 - 200 мбар: <2% от показания 200 - 40 мбар: <5% от показания 40 - 2 x 10^-3 мбар: <± 10% от показания |
||||
|
Повторяемость |
1200-40 мбар: ±0,1% от полной шкалы, 40-1x10^-2 мбар: ±2% от показания |
||||
|
Время отклика, мс |
18 |
||||
|
Рабочая температура, °C |
+5...+60 |
||||
|
Температура хранения, °C |
-40...+65 |
||||
|
Электропитание |
12 - 30 В постоянного тока |
||||
|
Потребляемая мощность, мВт |
0.3 Вт |
||||
|
Выходной сигнал |
0-10 В постоянного тока, минимум 10 кОм |
||||
|
Электрическое подключение |
M12 A, 5-полюсн., вилка, с фиксацией |
||||
|
Вакуумное соединение |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 ISO-KF |
DN 16 CF-F |
||
|
Степень защиты |
IP54 |
IP40 |
IP40 |
||
|
Масса, г |
|
140 |
|
||