Лабораторная система плазменной обработки ERSTVAK EV-PLASMA-L4

Производитель

ERSTVAK

Напряжение питания, В

220

Серия

EV-PLASMA-L

Страна

Российская Федерация

Вакуумметр

SMC (По запросу — Пирани)

Скорость откачки, м³/ч

8

Дисплей

4.3"

Программное обеспечение

Независимая запатентованная система управления плазмой, точная и многоязычная

Внешние габариты (Д×Ш×В), мм

510 × 480 × 540

Частота, МГц

13.56, твердотельный радиочастотный источник питания

Режим разрядки

ICP

Производительность, л

5

Электрод

1 кварцевый лоток для образца

Габариты камеры, мм

Ø150 × 280

Эффективный диапазон обработки (Ш × Г), мм

145 × 275

Слои для обработки

1

Расстояние между монослоями, мм

70 — 140

Регулятор расхода газа

Высокоточный поплавковый игольчатый клапан

Интенсивность потока, мл

0 — 500

Газовый канал

2 канала (поддерживаются различные технологические газы, такие как кислород, аргон, водород, азот и др.).

Вакуумная линия

Трубка из нержавеющей стали и пневматический клапан

Размер воздушной трубки, мм

Ø6

Частота газа

99.999%

Выхлопное отверстие

KF25

Минимальное давление газа, МПа

0.3

Максимальное давление газа, МПа

0.6

Программируемый логический контроллер

Panasonic

Предельный вакуум, Па

1

Материал камеры

Кварц

Мощность, Вт

200

Масса, кг

60