Насосы EBARA серии EMT

Описание Являемся эксклюзивным дилером продукции EBARA на территории России и стран СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию EBARA с лучшими услови...

Получить консультацию по Насосы EBARA серии EMT

Оставьте контактный номер и с вами свяжется наш инженер Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики обработки данных

Описание серии

Описание

Являемся эксклюзивным дилером продукции EBARA на территории России и стран СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию EBARA с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания. Изготовление оборудования происходит в Японии, которая славится своей культурой производства.

Турбомолекулярные насосы EBARA серий EMT и EMT-K

Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT-K — наиболее энергоэффективными насосами с низким уровнем вибраций. В конструкции применен магнитный подвес, который обеспечивает полностью безмасляный вакуум.

В серии EMT представлены насосы как со встроенным, так и с внешним контроллером. Все насосы этой серии могут быть укомплектованы терморегулятором для снижения скорости конденсации отходов технологического процесса и предотвращения пагубного воздействия примесей газа на части насоса.

Серия EMT с внешним контроллером

Области применения

Полупроводниковая и микроэлектронная промышленности.
Производство FDli.
Плазмохимическое травление.
Производство оптических элементов.
Вакуумные печи.
Имитаторы космического пространства.
Производство композитных материалов.
Научно-исследовательские установки.
Технологические процессы, где абсолютно недопустимо наличие масла.

Особенности и преимущества

Полностью магнитный подвес.
Любая ориентация при установке.
Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа.
Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам.
Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры.
Низкое энергопотребление.
Опционально коррозионностойкое исполнение.
Водяное или воздушное охлаждение.
Компактные размеры.
Возможность контроля оборотов ротора.
Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов.

Непревзойдённая надежность:

Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
Гарантия на магнитный подшипник 7 лет.

Насосы с магнитным подвесом и внешним контроллером EMT

Турбомолекулярный насос Ebara серии EMT

Насосы EMT имеют внешний контроллер ETC011M и выполняются как с водяным, так и с воздушным охлаждением.

Технические характеристики EBARA серии EMT

Таблица 1. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT с магнитным подвесом и внешним контроллером — технические характеристики.

Характеристики моделей	EMT390M	EMT420M	EMT900M	EMT1300M	EMT2400M	EMT3260M
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с	340 (290)	400 (300)	900 (1050)	1300 (1200)	2400 (1100)	3200 (2700)
Предельное остаточное давление, Па	10^-6	10^-6	10^-6	10^-6	10^-6	10^-6
Максимальная степень сжатия по азоту	10⁸	10⁸	10⁸	10⁸	10⁸	10⁸
Максимальный газовый поток по азоту (аргону), Па*л/c	3680 (1290)	3680 (1290)	5520 (2760)	5520 (2760)	5520 (3680)	5520 (3680)
Скорость вращения ротора об/мин	40800	48000	33600	33600	33600	33600
Размер фланцев (вход/выход)	NW100/NW25	NW160/NW25	NW160/NW25	NW200/NW40	NW250/NW40	NW320/NW40
Допустимое выходное давление, Па	400	400	500	500	200	400
Длительность запуска, мин	2-3	2-3	4-5	4-5	4-5	4-5
Длительность остановки, мин	4-5	4-5	4-5	4-5	4-5	4-5
Масса, кг	14	14	34	34	45	80

Насосы с магнитным подвесом и встроенным контроллером

Турбомолекулярный насос Ebara серии EMT-K

Насосы EMT-K имеют встроенный контроллер и выполняются только с водяным охлаждением и фланцем стандарта ISO на всасывании. Защищены по стандарту IP54.

Технические характеристики EBARA серии EMT-K

Таблица 2. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT-K с магнитным подвесом и встроенным контроллером — технические характеристики.

Характеристики моделей	EMT2200MK	EMT3300MK	EMT4200MK
Быстрота действия по азоту (водороду), л/с	2200 (1800)	3200 (2700)	4200 (2800)
Предельное остаточное давление, Па	10^-6	10^-6	10^-6
Максимальная степень сжатия по азоту	10⁸	10⁸	10⁸
Размер фланцев (вход/выход)	ISO-B250/NW40(NW50)	ISO-B320/NW40	ISO-B350/NW40-50
Допустимое выходное давление, Па	400	400	160
Максимальный газовый поток по азоту Па*л/c	4400	4000	2500
Длительность запуска, мин	7-10	10-12	12-14
Масса, кг	63	69	75

Внимание. Насосы EMT-K поставляются только с фланцем ISO-B и водяным охлаждением. Могут быть выполнены в стандартном — литера B, коррозионно-стойком исполнении — литера C.

О компании EBARA

Компания EBARA Technologies Inc. является признанным мировым лидером по производству вакуумного оборудования для различных областей науки и техники. В линейке компании представлены турбомолекулярные насосы, сухие форвакуумные насосы, скрубберы для утилизации вредных газов в производстве, оборудование для микроэлектроники и оптической промышленности.

Скачать каталог