Производитель: Ebara
Мощность, кВт: 1.1
Производитель: Ebara
Мощность, кВт: 1.1
Производитель: Ebara
Мощность, кВт: 0.35
Производитель: Ebara
Мощность, кВт: 0.55
Серия EV-A представлена сухими вакуумными насосами с воздушным охлаждением. Многоступенчатая конструкция разработана для откачки больших потоков газа. Отличительной особенностью данной серии является высокая производительность при атмосферном давлении. Типичные сферы применения серии EV-A: аналитические исследования, электронная микроскопия, PVD-технологии, криостаты больших объёмов, физическое и химическое осаждение тонких пленок, масс-спектрометрия.
Особенности и преимущества
• Получение полностью безмасляного вакуума в откачиваемом объеме
• Максимальная скорость откачки водяного пара среди всех насосов с воздушным охлаждением — до 500 г/час
• Идеальны для откачки больших потоков газа при повышенном давлении
• Компактность и низкий уровень шума — идеальны для лабораторного применения
• Дополнительно оснащаются глушителями шума
• Газобалластный клапан
Комплектация
Насосы данной серии могут поставляться с различными аксессуарами:
- газобалластный клапан
- пульт управления
- глушитель
Технические характеристики
|
Модель |
EV-A03 |
EV-A06 |
EV-A10 |
|
Скорость откачки, м3/ч |
15 |
36 |
60 |
|
Предельное остаточное давление, мбар |
10-2 |
10-2 |
2x10-2 |
|
Максимальная потребляемая мощность (при минимальном остаточном давлении), кВт |
0.35 |
0.55 |
1.1 |
|
Присоединительные патрубки (вход/выход) |
KF 25/25 |
KF 40/25 |
KF 40/40 |
|
Габаритные размеры (ДхШхВ), мм |
385×210×250 |
475×298×275 |
544x317x344 |
|
Масса, кг |
23 |
54 |
75 |
Применение
Серия насосов EV-A подойдет для замены масляных насосов, в т. ч. пластинчато-роторных за счет широкого диапазона скоростей откачки и низкого предельного остаточного давления.
Основные области применения:
- Электронная микроскопия
- Загрузочные шлюзы и транспортные камеры
- Физическое осаждение тонких пленок
- Жидкостная хромато-масс-спектрометрия
- Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой
- Системы кислородной плазмы
- PVD-процессы
- Эксплуатация аналитических приборов
- Криостатное оборудование