Насосы EBARA серии EV-A

Серия EV-A представлена сухими вакуумными насосами с воздушным охлаждением. Многоступенчатая конструкция разработана для откачки больших потоков газа. Отличительной особенностью данной серии является высокая производительность при атмосферном давлении. Типичные сферы применения серии EV-A: аналитические исследования, электронная микроскопия, PVD-технологии, криостаты больших объёмов, физическое и химическое осаждение тонких пленок, масс-спектрометрия.

• Получение полностью безмасляного вакуума в откачиваемом объеме
• Максимальная скорость откачки водяного пара среди всех насосов с воздушным охлаждением — до 500 г/час
• Идеальны для откачки больших потоков газа при повышенном давлении
• Компактность и низкий уровень шума — идеальны для лабораторного применения
• Дополнительно оснащаются глушителями шума
• Газобалластный клапан

Насосы данной серии могут поставляться с различными аксессуарами:

• газобалластный клапан
• пульт управления
• глушитель

Серия насосов EV-A подойдет для замены масляных насосов, в т. ч. пластинчато-роторных за счет широкого диапазона скоростей откачки и низкого предельного остаточного давления.

Основные области применения:

• Электронная микроскопия
• Загрузочные шлюзы и транспортные камеры
• Физическое осаждение тонких пленок
• Жидкостная хромато-масс-спектрометрия
• Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой
• Системы кислородной плазмы
• PVD-процессы
• Эксплуатация аналитических приборов
• Криостатное оборудование