Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 900
Предельный вакуум, мбар: 0.008
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 4500
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 820
Предельный вакуум, мбар: 0.005
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 3500
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 820
Предельный вакуум, мбар: 0.007
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 3380
Производитель: ERSTEVAK Ltd.
Масса, кг: 750
Предельный вакуум, мбар: 0.007
Максимальная скорость откачки, м³/ч: 2300
Описание
Серия сухих винтовых насосов EV-LR разработана с учетом конструкции «Рутс», что обеспечивает низкое энергопотребление, компактные габариты и высокую скорость откачки.
Применения
- Загрузочные и шлюзовые камеры в полупроводниковых и фотоэлектрических системах
- Электронно-лучевая литография
- Нанесение покрытия осаждением паров (PVD)
- Расщепление/Озоление
|
Модель |
EV-LR120 |
EV-LR500 |
EV-LR2000 |
EV-LR3000 |
EV-LR3500 |
EV-LR5000 |
|
Макс. скорость откачки, м3/ч |
110 |
500 |
2300 |
3380 |
3500 |
4500 |
|
Предельный вакуум, мбар |
0.03 |
0.01 |
0.007 |
0.007 |
0.005 |
0.008 |
|
Входной диаметр |
ISO63 |
ISO63 |
ISO160 |
ISO160 |
ISO160 |
ISO160 |
|
Выходной диаметр |
NW25 |
NW50 |
NW50 |
NW50 |
NW50 |
NW50 |
|
Напряжение источника питания, В |
208/380 |
208/380 |
208/380 |
208/380 |
380 |
380 |
|
Номинальная мощность, кВт |
2.2 |
15 |
26 |
26 |
26 |
30 |
|
Рабочая мощность, кВт |
0.45 |
5.7 |
6.7 |
6.7 |
9.5 |
7.5 |
|
Расход охлаждающей жидкости, л/мин |
1.5 |
6 |
6 |
6 |
6 |
6 |
|
Поток газа продувки N2, ст. л/мин |
0~12 |
7~100 |
7~100 |
4~50 |
4~50 |
4~12 |
|
Разъем источника питания |
HAN 3-40A |
H2MK-100A |
H2MK-100A |
H2MK-100A |
HAN-100A |
H2MK-100A |
|
Масса, кг |
60 |
350 |
750 |
820 |
820 |
900 |
|
Шум, дБ (А) |
<60 |
<70 |
<70 |
<70 |
<75 |
<80 |
|
Габариты (ДхШхВ), мм |
444x239x285 |
1310x620x682 |
1310x620x1002 |
1310x620x1002 |
1310x620x1002 |
1310x620x1002 |