Сухие вакуумные насосы ERSTVAK EV-LR

Описание Серия сухих винтовых насосов EV-LR разработана с учетом конструкции «Рутс», что обеспечивает низкое энергопотребление, компактные...

Получить консультацию по Сухие вакуумные насосы ERSTVAK EV-LR

Оставьте контактный номер и с вами свяжется наш инженер Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики обработки данных

Описание серии

Описание

Серия сухих винтовых насосов EV-LR разработана с учетом конструкции «Рутс», что обеспечивает низкое энергопотребление, компактные габариты и высокую скорость откачки.

Применения

Загрузочные и шлюзовые камеры в полупроводниковых и фотоэлектрических системах
Электронно-лучевая литография
Нанесение покрытия осаждением паров (PVD)
Расщепление/Озоление

Модель	EV-LR120	EV-LR500	EV-LR2000	EV-LR3000	EV-LR3500	EV-LR5000
Макс. скорость откачки, м³/ч	110	500	2300	3380	3500	4500
Предельный вакуум, мбар	0.03	0.01	0.007	0.007	0.005	0.008
Входной диаметр	ISO63	ISO63	ISO160	ISO160	ISO160	ISO160
Выходной диаметр	NW25	NW50	NW50	NW50	NW50	NW50
Напряжение источника питания, В	208/380	208/380	208/380	208/380	380	380
Номинальная мощность, кВт	2.2	15	26	26	26	30
Рабочая мощность, кВт	0.45	5.7	6.7	6.7	9.5	7.5
Расход охлаждающей жидкости, л/мин	1.5	6	6	6	6	6
Поток газа продувки N2, ст. л/мин	0~12	7~100	7~100	4~50	4~50	4~12
Разъем источника питания	HAN 3-40A	H2MK-100A	H2MK-100A	H2MK-100A	HAN-100A	H2MK-100A
Масса, кг	60	350	750	820	820	900
Шум, дБ (А)	<60	<70	<70	<70	<75	<80
Габариты (ДхШхВ), мм	444x239x285	1310x620x682	1310x620x1002	1310x620x1002	1310x620x1002	1310x620x1002