Масс-спектромические системы SRS

О масс-спектрометрических системах SRS

Настольные масс-спектрометры серий UGA и ULT обеспечивают точный анализ газовых сред в диапазоне от давлений выше атмосферного до сверхвысокого вакуума. Независимо от задачи — будь то контроль следов примесей, мониторинг растворителей, углеводородных соединений, хладагентов или коррозионно-активных газов — эти системы демонстрируют высокую эффективность оперативного анализа.

Область применения анализаторов UGA чрезвычайно широка: от контроля технологических газов в полупроводниковой индустрии и анализа состава атмосферы в перчаточных боксах до исследований в области энергетики (топливные элементы), детектирования фреонов, решения задач экологического надзора и проведения научных экспериментов в вакууме.

Ключевым преимуществом данных систем является их эксплуатационная простота. Конструктивное исполнение позволяет устанавливать прибор как в вертикальном, так и в горизонтальном положении, поддерживается управление с передней панели или с компьютера. Серия ULT представляет собой упрощенную конструкцию для менее требовательных применений.

Сравнение характеристик серий UGA и ULT

Принцип работы

Специализированное ПО UGA для ОС Windows предоставляет графический интерфейс для продвинутого построения графиков и обработки информации. Эта программа также дает возможность удаленного управления клапанами, нагревательными элементами и насосными агрегатами.

Система пробоподготовки: Для анализа газов при атмосферном давлении в UGA используется двухкаскадная система откачки. Газовый поток, после достижения уровня вакуума ~10^-6 Торр, транспортируется в масс-анализатор SRS RGA для количественного определения концентраций необходимых компонентов.

Адаптеры для разных режимов:

• Вакуумный модуль ввода — для отбора проб в диапазоне 10^-1 – 10^-4 Торр.
• Прямой ввод — для работы в условиях сверхвысокого вакуума (<10^-4 Торр).

Много-капиллярные входные линии (только для серии UGA)

Опциональный многоканальный узел отбора проб состоит из 16 клапанов, установленных на коллекторе, которые могут использоваться с капиллярами различного типа.

Термостатируемая камера (только для серии UGA)

Система UGA оснащена независимыми нагревателями для вакуумной камеры (включая масс-спектрометр), соединения турбомолекулярного насоса и узла вакуумного ввода. В режиме прокачки система может нагреваться до 120 °C.

Двухступенчатые мембранные насосы (только для серии UGA)

Два автономных мембранных насоса (байпасный и форвакуумный) обеспечивают работу с коррозионными газами (хлор, фтор), предотвращая их воздействие на турбомолекулярный насос и масс-спектрометр, и практически исключают обратный поток. Система также подойдет для измерения высоких концентраций легких газов (водород, гелий).

Продувка турбомолекулярного насоса (UGA и ULT)

Возможна продувка сухим азотом, предусмотрен опциональный клапан и вход для подключения к выходному патрубку турбомолекулярного насоса. Это защищает насос от влаги и других загрязнений, содержащихся в воздухе.

Эксплуатация анализатора UGA

Управление анализатором UGA происходит непосредственно с устройства или дистанционно с ПК, с поддержкой ручного и автоматического управления компонентами системы.

Специализированное программное обеспечение для Windows с интуитивным графическим интерфейсом обеспечивает быстрое проведение измерений, сбор и визуализацию данных в реальном времени , либо их запись может быть запланирована на определенное время. Функционал включает:

• Аналоговое и гистограммное сканирование.
• Тренды давления во временной развертке.
• Алгоритм обнаружения утечек.
• Встроенную библиотеку газов.
• Онлайн-справку.

Параметры масс-спектрометра (RGA) также могут контролироваться и отслеживаться с помощью высокоуровневого набора ASCII-команд. В качестве канала связи с ПК используются стандартные интерфейсы RS-232 и Ethernet.