Производитель: Stanford Research Systems
Предел обнаружения на входе CDEM (1 бар), ppm: 1
Время отклика, < мс: 200
Производитель: Stanford Research Systems
Предел обнаружения на входе CDEM (1 бар), ppm: 1
Время отклика, < мс: 200
Производитель: Stanford Research Systems
Предел обнаружения на входе CDEM (1 бар), ppm: 1
Время отклика, < мс: 200
Производитель: Stanford Research Systems
Предел обнаружения на входе CDEM (1 бар), ppm: 1
Время отклика, < мс: 200
Тип входа: Капилляры из нержавеющей стали и PEEK, два дополнительных порта CF 40
Макс. скорость потока (при атмосферном давлении), мл: 10
Производитель: Stanford Research Systems
Предел обнаружения на входе CDEM (1 бар), ppm: 1
Время отклика, < мс: 200
Тип входа: Капилляры из нержавеющей стали и PEEK, два дополнительных порта CF 40
Макс. скорость потока (при атмосферном давлении), мл: 10
Производитель: Stanford Research Systems
Предел обнаружения на входе CDEM (1 бар), ppm: 1
Время отклика, < мс: 200
Тип входа: Капилляры из нержавеющей стали и PEEK, два дополнительных порта CF 40
Макс. скорость потока (при атмосферном давлении), мл: 10
Описание
Настольные масс-спектрометры серий UGA и ULT обеспечивают точный анализ газовых сред в диапазоне от давлений выше атмосферного до сверхвысокого вакуума. Независимо от задачи — будь то контроль следов примесей, мониторинг растворителей, углеводородных соединений, хладагентов или коррозионно-активных газов — эти системы демонстрируют высокую эффективность оперативного анализа.
Область применения анализаторов UGA чрезвычайно широка: от контроля технологических газов в полупроводниковой индустрии и анализа состава атмосферы в перчаточных боксах до исследований в области энергетики (топливные элементы), детектирования фреонов, решения задач экологического надзора и проведения научных экспериментов в вакууме.
Ключевым преимуществом данных систем является их эксплуатационная простота. Конструктивное исполнение позволяет устанавливать прибор как в вертикальном, так и в горизонтальном положении, поддерживается управление с передней панели или с компьютера. Серия ULT представляет собой упрощенную конструкцию для менее требовательных применений.
Сравнение характеристик серий UGA и ULT
|
Параметр |
UGA |
UGA LT |
|
Диапазон давления пробы |
10 Торр – 2 атм или выше:
• 30 Торр ~ 10 Торр |
10 Торр – 2 атм:
• 30 Торр ~ 10 Торр |
|
Снижение давления |
Двухступенчатое (капилляр + мембранный насос) |
Двухступенчатое (капилляр + мембранный насос) |
|
Основная система откачки |
Конструкция с двумя мембранными насосами: 1 байпасный насос, 1 форвакуумный насос для турбомолекулярного насоса |
Один мембранный насос: возможен обратный поток легких газов (водород, гелий) в основную камеру |
|
Опция турбомолекулярного насоса для непрерывного отбора проб с высокой концентрацией водорода |
Доступна |
Недоступно |
|
Система отборных клапанов |
Система из двух клапанов (отборный клапан и байпасный клапан) |
— |
|
Опция продувочного клапана |
Доступна |
Доступна |
|
Опция многоканального ввода |
16-канальный ввод |
Недоступно |
|
Опция подогреваемого капилляра |
Подогрев до 105 °C для предотвращения конденсации влаги внутри капилляра |
Недоступно |
|
Прокачка камеры (до 120 °C) |
Стандартная функция |
Недоступно |
|
Режим щелевой течеискания |
Доступен |
Недоступно |
Принцип работы
Специализированное ПО UGA для ОС Windows предоставляет графический интерфейс для продвинутого построения графиков и обработки информации. Эта программа также дает возможность удаленного управления клапанами, нагревательными элементами и насосными агрегатами.
Система пробоподготовки: Для анализа газов при атмосферном давлении в UGA используется двухкаскадная система откачки. Газовый поток, после достижения уровня вакуума ~10-6 Торр, транспортируется в масс-анализатор SRS RGA для количественного определения концентраций необходимых компонентов.
Адаптеры для разных режимов:
- Вакуумный модуль ввода — для отбора проб в диапазоне 10-1 – 10-4 Торр.
- Прямой ввод — для работы в условиях сверхвысокого вакуума (<10-4 Торр).
Много-капиллярные входные линии (только для серии UGA)
Опциональный многоканальный узел отбора проб состоит из 16 клапанов, установленных на коллекторе, которые могут использоваться с капиллярами различного типа.
Термостатируемая камера (только для серии UGA)
Система UGA оснащена независимыми нагревателями для вакуумной камеры (включая масс-спектрометр), соединения турбомолекулярного насоса и узла вакуумного ввода. В режиме прокачки система может нагреваться до 120 °C.
Двухступенчатые мембранные насосы (только для серии UGA)
Два автономных мембранных насоса (байпасный и форвакуумный) обеспечивают работу с коррозионными газами (хлор, фтор), предотвращая их воздействие на турбомолекулярный насос и масс-спектрометр, и практически исключают обратный поток. Система также подойдет для измерения высоких концентраций легких газов (водород, гелий).
Продувка турбомолекулярного насоса (UGA и ULT)
Возможна продувка сухим азотом, предусмотрен опциональный клапан и вход для подключения к выходному патрубку турбомолекулярного насоса. Это защищает насос от влаги и других загрязнений, содержащихся в воздухе.
Эксплуатация анализатора UGA
Управление анализатором UGA происходит непосредственно с устройства или дистанционно с ПК, с поддержкой ручного и автоматического управления компонентами системы.
Специализированное программное обеспечение для Windows с интуитивным графическим интерфейсом обеспечивает быстрое проведение измерений, сбор и визуализацию данных в реальном времени , либо их запись может быть запланирована на определенное время. Функционал включает:
- Аналоговое и гистограммное сканирование
- Тренды давления во временной развертке
- Алгоритм обнаружения утечек
- Встроенную библиотеку газов
- Онлайн-справку
Параметры масс-спектрометра (RGA) также могут контролироваться и отслеживаться с помощью высокоуровневого набора ASCII-команд. В качестве канала связи с ПК используются стандартные интерфейсы RS-232 и Ethernet.
Технические характеристики
|
Серия |
UGA |
ULT |
|---|---|---|
|
Тип масс-спектрометра |
Квадрупольный |
|
|
Детектор масс-спектрометра |
Чаша Фарадея и электронный умножитель |
|
|
Массовый диапазон, а.е.м. |
100/200/300 |
|
|
Минимальное разрешение масс-спектрометра (на уровне 10% высоты пика), а.е.м. |
0,5 |
|
|
Минимальный предел обнаружения, ppm |
1 млн -1 |
|
|
Рабочее давление, Торр |
5×10-6 |
|
|
Высоковакуумный насос |
Гибридный турбомолекулярный |
|
|
Мембранный насос |
Усовершенствованный, низкого давления |
|
|
Материалы конструкции |
Нержавеющая сталь SS304 и SS316 |
|
|
Материалы изоляторов |
Окись алюминия, керамика |
|
|
Материалы уплотнений |
Витон®, буна-N, нитрил-бутилкаучук, медная прокладка |
|
|
Время выхода на режим из полностью выключенного состояния, мин |
8 |
|
|
Максимальная температура окружающей среды, °C |
35 |
|
|
Максимальная температура откачки, °C |
120 |
|
|
Стабилизация температуры откачки |
есть |
нет |
|
Питание |
85–264 В AC или 120–370 В DC, 47–63 Гц или AC, 720 Вт |
|
|
Габариты (Ш×В×Г), см |
30.5 × 27.9 × 68.6 |
|
|
Масса, кг |
38.6 |
34 |
|
Гарантия |
Бесплатный ремонт и замена деталей в течение одного года в случае производственного брака. На уплотнения насоса и мембраны гарантия - 90 дней |
|
|
Минимальное давление на входе (зависит от подключаемых портов и капилляра), мбар |
10-4 |
|
|
Тип входа |
Капилляры из нержавеющей стали и PEEK, два дополнительных порта CF 40 дюйма |
|
|
Скорость потока на входе (при атмосферном давлении), мл/мин |
1 - 10 |
|
|
Тип входа при давлении от 1 мбар до 1 бар |
Фитинг ¼" Ultra-Torr® |
|
|
Тип входа при давлении <10-1 Торр |
CF 40 |
|
|
Интерфейс связи с ПК |
RS-232, Ethernet |
|