Лабораторные зондовые станции с расширенным функционалом SEMISHARE серии E

Описание

Ручная зондовая станция серии E с расширенным набором функций производства компании SEMISHARE представляет собой лабораторный комплекс для прецизионных исследований и контроля параметров полупроводниковых пластин, кристаллов и микроэлектронных компонентов на этапах НИОКР, опытного производства и входного контроля. Станция особо эффективна при тестировании устройств с контактной площадкой (PAD) от 1 мкм при работе с оборудованием различного назначения (тестирование на уровне пластины, MEMS, оптоэлектронные испытания и т.п.).

Особенности

1. Модульная конструкция UPStar обеспечивает настройку конфигурации под задачи Заказчика, что позволяет адаптировать систему с минимальными затратами, включая интеграцию решений для ВЧ/КВЧ-тестирования (до 67 ГГц), анализа дефектов, тестирования MEMS и оптоэлектронных устройств.
2. Линейка имеет расширенную совместимость с образцами. Она представлена моделями E4, E6, E8 и E12, поддерживающими работу со стандартными подложками диаметром от 4 до 12 дюймов, что охватывает потребности как современных, так и перспективных производственных процессов.
3. Станция оснащена высокоточными механизмами перемещения:
   • Плавное безлюфтовое перемещение стола по осям X-Y с точностью позиционирования 10 мкм
   • Точная угловая ориентация образца с возможностью грубого поворота на 360° и точной юстировки с шагом 0,002°.
   • Широкий выбор держателей зондов с механической точностью позиционирования от 0,7 мкм до 10 мкм.
4. Комплексная система фиксации и электрических измерений:
   • Многоканальная вакуумная система фиксации образца с независимым управлением каналами.
   • Электрически изолированный держатель с вынесенным разъемом типа банан, позволяющий использовать его в качестве заднего электрода.
   • Поддержка коаксиальных и трехосных интерфейсов для измерений сверхмалых токов (до 100 фА) и высоких напряжений (до 3 кВ).
5. Расширенный оптико-визуальный комплекс:
   • Базовая комплектация включает металлографический микроскоп с увеличением до 2000X для работы с объектами размером от 1 мкм.
   • Опциональная установка лазерного модуля для проведения анализа дефектов и лазерной резки.
   • Высококачественные ССD/CMOS камеры (до 6,5 Мп) с интерфейсами HDMI и SD-карты для документирования результатов.
6. Адаптивное изолирующее основание станции с повышенной эластичностью опор обеспечивает оптимальное сочетание жесткости и грузоподъемности, что улучшает стабильность испытаний.
7. Усиленная несущая платформа U-образной конфигурации, изготовленная из легированной стали, позволяет устанавливать до десяти держателей зондов.
8. Пневматический быстрый подъем микроскопа обеспечивает легкий доступ для смены микроскопа и оснастки держателя образца.

Таблица поддерживаемых тестов и измерений

Основные составляющие станции

Микроскоп

• Совместим с металлографическим микроскопом/моноокулярным видеомикроскопом с объективом высокого увеличения и высокого разрешения для работы на уровне микрон/субмикрон.
• Светодиодное коаксиальное /кольцевое освещение, высокая контрастность. Возможность установки лазера для анализа дефектов/лазерной резки.
• Пневматический быстрый подъем микроскопа и координатный столик (X-Y) позволяют перемещать микроскоп в плоскости X-Y в диапазоне 2×2" с точностью 1 мкм (ход 50 мм). Однокнопочное быстрое управление для легкой и быстрой замены микроскопа и оснастки для зондовых карт. Возможна кастомизация опции наклонного подъема.

Держатель образца

• Для фиксации образца используется центральное и многоконтурное вакуумное крепление, каждый вакуумный канал управляется независимо.
• Держатель имеет электрически независимую подвеску с разъемом типа банан и может использоваться в качестве заднего электрода.
• Опционально: многопористый вакуумный держатель, система с термостатом (высокотемпературный/низкотемпературный); доступны коаксиальные/трехосные/позолоченные держатели

Переключатель управления многоступенчатым вакуумным каналом держателя

• Централизованное расположение и независимое управление разными каналами вакуумных отверстий.

Регулировка хода держателя образца

• На столе держателя образца предусмотрена возможность регулировки по осям X-Y. Ход держателя образца в направлении X-Y составляет 5 мм, точность 10 мкм, все оси оснащены фиксирующими ручками.
• Столик держателя может работать в режиме быстрой регулировки в направлениях X-Y в соответствии с размером держателя с точностью 1 мкм; все оси имеют стопорные винты.
• Ось X-Y держателя образца перемещается без зазора, а линейное перемещение при каждом повороте составляет 1 мм.
• Угол поворота держателя: 360°, точная регулировка угла ±8° с точностью настройки 0,002°.

CCD-камера

• Камера высокого разрешения CCD/CMOS с интерфейсом C/CS-mount на выбор: 2 млн /5 млн /камеры HD-класса (~1.2 Мп).
• Разрешение до 1920×1080 (Full HD) и выше.
• Разъем для SD-карты для сохранения изображений и видео.
• В комплекте HDMI-кабель, что позволяет подключать камеру к ПК для наблюдения в реальном времени.

Различные варианты микропозиционеров

• Магнитное или вакуумное крепление.
• Ход перемещения по осям X-Y-Z составляет 12 мм по каждой оси.
• Регулируемый угол точечного измерения 0–30°.
• 3 варианта держателей зондов с разной точностью: 0,1 мкм; 0,7 мкм; 10 мкм.
• Коаксиальное крепление 10 пA, трехосевое крепление 100 фA (опционально).
• Зонды производства GGB (США).

U-образная платформа для держателей зондов

• Широкое пространство для установки держателей зондов.
• Изготовлена из высококачественной легированной стали повышенной толщины, обладает хорошей жесткостью и обеспечивает стабильное крепление.
• Никелевое покрытие, нанесенное по новой технологии обработки, увеличивает адгезию по сравнению с хромированными аналогами.
• Возможность установки крепления для зондовой карты.

Адаптивная виброизолирующая основа POMater

Технические характеристики