Лабораторные зондовые станции SEMISHARE серии M

Описание

Ручная зондовая станция серии M производства компании SEMISHARE представляет собой лабораторный комплекс для прецизионного электрического контроля и измерения параметров полупроводниковых пластин, кристаллов и микроэлектронных компонентов на этапах НИОКР, опытного производства и входного контроля. Измерительная станция серии M сочетает в себе компактность, мобильность и интуитивно понятное управление. Благодаря оптимальному соотношению точности измерений и цены, эта модель находит широкое применение в исследовательских проектах и научных лабораториях. Станция особо эффективна при тестировании устройств с контактной площадкой (PAD) от 30 мкм для оборудования различного назначения (DC, RF частоты 67 ГГц, MEMS и т.п.)

Особенности

1. Конфигурация стола обеспечивает работу со стандартными подложками диаметром 100 мм (4"), 150 мм (6") и 200 мм (8").
2. Оснащена микрометрическими винтовыми механизмами (с шагом резьбы до 700 витков на дюйм) ручного позиционирования манипуляторов, что гарантирует плавное и точное (с точностью до единиц микрон) подведение зондов к контактным площадкам без риска повреждения.
3. Станция построена по модульному принципу. Базовая комплектация включает виброизолированный стол, манипуляторы и держатель пластины. Конфигурация может быть расширена за счет установки дополнительных манипуляторов (для 4-точечных измерений, измерения RF-параметров), термостата для температурных испытаний (-70°C ... +300°C) или перчаточного бокса для работы с чувствительными к загрязнениям образцами.
4. Модульная конструкция UPStart позволяет настраивать конфигурацию под конкретные задачи. Доступны различные опции: столы-держатели, держатели зондов, зонды и микроскопы. Опционально: система виброзащиты и защитный бокс.
5. Адаптивное изолирующее основание станции с повышенной эластичностью опор, обеспечивает оптимальное сочетание жесткости и грузоподъемности, что улучшает стабильность испытаний.
6. Устанавливается на стандартный лабораторный стол в условиях чистого помещения (Class 1000/10000) или в обычной лаборатории без чистой зоны.

Таблица поддерживаемых тестов и измерений

Основные составляющие станции

Стереомикроскоп

• Увеличение окуляра: в 20х
• Коэффициент увеличения объектива: от 0,8 до 5х
• Механизм фокусировки микроскопа: ход перемещения по оси Z 50,8 мм
• Увеличение: 16 … 100х
• Видеомикроскоп (опционально)
• Интерфейс с креплением 0,5х; 1х (опционально)
• Микроскоп сконструирован таким образом, чтобы иметь возможность вращения вокруг стойки обеспечивая быстрое перемещение на 360°

Держатель образца

• 2 вида адсорбции для крепления образцов (петлевая и пористая адсорбции)
• Центральное отверстие для адсорбции стандартного держателя имеет диаметр 1 мм, который может быть изменен в соответствии с техническим заданием Заказчика
• Держатель имеет независимый подвес и разъём типа «банан» для использования в качестве заднего электрода

Регулятор вакуумного прижима

• Каждый вакуумный канал держателя может управляться независимо

Регулировка хода держателя

• На столе держателя предусмотрена удобная возможность регулировки по осям X/Y. Ход держателя в направлении X/Y составляет 4 дюйма, точность: 10 мкм. Все оси оснащены фиксирующими ручками
• Ось X/Y держателя перемещается без зазора, а линейное перемещение при каждом повороте составляет 1 мм
• Угол поворота держателя ±45°, точность регулировки 0,01°

CCD-камера

• Интерфейс HDMI, высокая четкость изображения (2 млн пикселей)
• Разрешение до 1920×1080
• Частота кадров 60 кадров в секунду
• Разъем для SD-карты, позволяет сохранять изображения в формате BMP
• В комплекте HDMI-кабель, что дает возможность подключать камеру к ПК для наблюдения в реальном времени

Различные варианты микропозиционеров

• Магнитное крепление с магнитным выключателем
• Ход перемещения по осям X-Y-Z составляет 12 мм по каждой оси
• Линейное перемещение с помощью микрометрического винта высокой точности
• Регулируемый угол точечного измерения 0–30°
• 3 варианта держателей зондов с разной точностью: 0,1 мкм; 0,7 мкм; 10 мкм

Крепление зонда (опционально)

• Коаксиальное крепление 10 пA,
• Дополнительное трехосевое крепление 100 фA
• Зонды производства GGB (США)

Платформа для микропозиционеров

• Возможность установки до 6-8 микропозиционеров постоянного тока
• Материал из толстой легированной стали обеспечивает стабильность при использовании
• Никелевое покрытие, нанесенное по новой технологии обработки, увеличивает адгезию по сравнению с хромированными аналогами.
• Зонд изготовлен из утолщенной легированной стали, что повышает точность и стабильность тестирования
• Адаптивная виброизолирующая основа POMater

Технические характеристики