Системы для получения высокого и сверхвысокого вакуума ERSTEVAK
Описание
Откачной пост - это модульная высоковакуумная система для получения высокого и сверхвысокого вакуума, состоящая из форвакуумного и высоковакуумного насосов, автоматизированной системы управления процессом откачки, охлаждения и питания, датчиков контроля параметров вакуумирования, соединительных элементов и др.
ООО «ЭРСТВАК» осуществляет поставки вакуумных откачных постов по территории РФ и СНГ, производит ремонт турбомолекулярных насосов и откачных стендов. Инженеры компании бесплатно подберут высоковакуумную систему по характеристикам и применению, свяжитесь с нами.
Вакуумный откачной пост PT 50
Система собрана и готова к подключению к вакуумной системе.
Настольная версия PT 50 включает в себя:
- Турбомолекулярный вакуумный насос TURBOVAC 50.
- Электронный преобразователь частоты NT 10.
- Форвакуумный насос TRIVAC D 2,5 E - пластинчато-роторный двухступенчатый насос.
- Система управления форвакуумным и высоковакуумным насосами, измерительными приборами, системой питания и вентиляции (опционально) с поворотным переключателем.
- Сетевой шнур 230 В, 50 Гц.
- Все необходимые соединительные каналы и элементы для герметизации.
Таблица 1. Откачной пост PT 50 - технические характеристики.
| Технические характеристики | ||||
| Турбомолекулярный насос | - | TURBOVAC 50 | TURBOVAC 50 | TURBOVAC 50 |
| Высоковакуумный фланец | DN |
40 KF |
63 ISO-K |
63 CF |
| Скорость откачки по N2 | л/с |
33 |
55 |
55 |
| Степень сжатия N2/H2 | - |
2×107/102 |
1×107/102 |
1×107/102 |
| Скорость вращения ротора TURBOVAC | об/мин |
72 000 |
72 000 |
72 000 |
| Двухступенчатый пластинчато-роторный насос | - | TRIVAC D 2,5 E | TRIVAC D 2,5 E | TRIVAC D 2,5 E |
|
Скорость откачки |
м3/ч |
2,7 |
2,7 |
2,7 |
|
Форвакуумное давление |
мбар |
10-3 |
10-3 |
10-3 |
| Конечное остаточное давление | - | - | - | - |
|
С витоновым уплотнением |
мбар |
10-7 |
10-7 |
10-7 |
|
С алюминиевым или медным уплотнением |
мбар |
- | - |
10-9 |
| Размер | мм | 430x456x420 | 430x456x420 | 430x456x420 |
| Вес | кг | 27 | 27 | 27 |
Высоковакуумные системы PT 151/361
Система готова к подключению.
Конфигурация на передвижной тележке включает в себя следующие позиции оборудования:
- Турбомолекулярный насос TURBOVAC 151 или TURBOVAC 361.
- Электронный преобразователь частоты NT 20.
- Двухступенчатые пластинчато-роторный вакуумный насос TRIVAC D 4 B или D 16 B в качестве форвакуумного.
- Система управления питанием и поворотный переключать.
- Система готова к установке любых дополнительных компонентов.
Таблица 2. Откачной пост PT 151 - технические характеристики.
| Технические характеристики | |||
| Турбомолекулярный насос | - | TURBOVAC 151 | TURBOVAC 151 |
|
Высоковакуумный фланец |
DN |
100 ISO-K |
100 CF |
|
Скорость откачки по N2 |
л/с |
145 |
145 |
|
Степень сжатия N2/H2 |
- |
>109 |
8,5×102 |
|
Скорость вращения ротора TURBOVAC |
об/мин |
50 000 |
50 000 |
| Двухступенчатый пластинчато-роторный насос | - | TRIVAC D 4 B | TRIVAC D 4 B |
|
Скорость откачки |
м3/ч |
4,8 |
4,8 |
|
Фланец на выходе |
DN |
16 KF |
16 KF |
| Конечное остаточное давление | - | - | - |
|
С витоновым уплотнением |
мбар |
10-8 |
10-8 |
|
С медным уплотнением |
мбар |
- |
10-10 |
| Расход охлаждающей воды | л/с | 20 | 20 |
| Мощность | кВ | 0,7 | 0,7 |
| Размер | мм | 500x890x484 | 500x890x484 |
| Вес | кг | 45 | 45 |
Таблица 3. Откачной пост PT 361 - технические характеристики.
| Технические характеристики | |||
| Турбомолекулярный насос | - | TURBOVAC 361 | TURBOVAC 361 |
|
Высоковакуумный фланец |
DN |
100 ISO-K |
100 CF |
|
Скорость откачки по N2 |
л/с |
345 |
345 |
|
Степень сжатия N2/H2 |
- |
>109 |
3,5×103 |
|
Скорость вращения ротора TURBOVAC |
об/мин |
50 000 |
50 000 |
| Двухступенчатый пластинчато-роторный насос | - | TRIVAC D 4 B | TRIVAC D 4 B |
|
Скорость откачки |
м3/ч |
18,9 |
18,9 |
|
Фланец на выходе |
DN |
25 KF |
25 KF |
| Конечное остаточное давление |
- |
- | - |
|
С витоновым уплотнением |
мбар |
10-8 |
10-8 |
|
С медным уплотнением |
мбар |
- |
10-10 |
| Расход охлаждающей воды | л/с | 20 | 20 |
| Мощность | кВ | 1,5 | 1,5 |
| Размер | мм | 500x890x484 | 500x890x484 |
| Вес | кг | 62 | 62 |
PT 70 с мембранным насосом на форвакуумной линии
Таблица 4. Откачной пост PT 70 - технические характеристики.
| Технические характеристики | ||||
| Турбомолекулярный насос | - | TW 70 H | TW 70 H | |
| Высоковакуумный фланец |
DN |
63 ISO-K |
63 CF |
|
|
Скорость откачки по N2 |
л/с |
60 |
60 |
|
| Мембранный насос | - | DIVAC 0,8 VT | DIVAC 0,8 VT | |
|
Скорость откачки |
м3/ч |
0,6 |
0,6 |
|
|
Форвакуумное давление |
мбар |
<3 |
<3 |
|
| Конечное остаточное давление | мбар | 10-7 | 10-8 | |
| Размер | мм | 430x456x420 | 430x456x420 | |
| Вес | кг | 20 | 20 | |
Таблица 5. Откачные посты PT 70 B-Compact, PT 70 F-Compact - технические характеристики.
| Технические характеристики | PT 70 B-Compact | PT 70 F-Copmpact | ||
| Турбомолекулярный насос | - | TW 70 H | TW 70 H | |
|
Высоковакуумный фланец |
DN |
63 ISO-K/63 CF |
63 ISO-K/63 CF 60 |
|
| Скорость откачки по N2 | л/с |
60 |
60 |
|
| Мембранный насос | - | DIVAC 0,8 VT | DIVAC 0,8 VT | |
|
Скорость откачки |
м3/ч |
0, |
0,7 |
|
| Форвакуумное давление |
мбар |
3 |
3 |
|
| Конечное остаточное давление | мбар | 10-7/10-8 | 10-7/10-8 | |
| Время выхода на режим | мин | 1,5 | 1,5 | |
| Размер | мм | 255x355x355 | 255x355x355 | |
| Вес | кг | 14,5 | 14,5 | |
PT 300 и PT 301
Таблица 6. Откачной пост PT 300 - технические характеристики.
| Технические характеристики | ||||
| Турбомолекулярный насос | - | TW 300 H | TW 300 H | |
|
Высоковакуумный фланец |
DN |
100 ISO-K |
100 CF |
|
|
Скорость откачки по N2 |
л/с |
240 |
240 |
|
| Мембранный насос | - | DIVAC 2,5 VT | DIVAC 2,5 VT | |
|
Скорость откачки |
м3/ч |
2,5 |
2,5 |
|
|
Форвакуумное давление |
мбар | 3 | 3 | |
| Конечное остаточное давление | мбар | 10-7 | 10-9 | |
| Размер | мм | 500x887x425 | 500x887x425 | |
| Вес | кг | 44 | 44 | |
Таблица 7. Откачной пост PT 301 - технические характеристики.
| Технические характеристики | ||||
| Турбомолекулярный насос |
|
TW 300 H | TW 300 H | |
| Высоковакуумный фланец |
DN |
100 ISO-K |
100 CF |
|
| Скорость откачки по N2 | л/с |
240 |
240 |
|
| Мембранный насос |
- |
DIVAC 2,5 VT | DIVAC 2,5 VT | |
| Скорость откачки | м3/ч |
2,5 |
2,5 |
|
| Форвакуумное давление | мбар | 3 | 3 | |
| Конечное остаточное давление | мбар | 10-7 | 10-9 | |
| Размер | мм | 430x456x420 | 430x456x420 | |
| Вес | кг | 31 | 31 | |
Откачной пост TURBOLAB 80
TURBOLAB 80 компактны и готовы к подключению к камере, где необходимо создать глубокий вакуум.
Вакуумные стенды TURBOLAB 80 состоят из основных компонентов:
- Гибридный турбомолекулярный насос.
- Двухступенчатый мембранный форвакуумный насос DIVAC 0,8 T.
- Все необходимые соединительные элементы.
- Элементы для подключения дополнительного оборудования и датчиков.
Таблица 8. Откачной пост TURBOLAB 80 - технические характеристики.
| Технические характеристики | ||
| Высоковакуумный фланец | DN | 63 ISO-K/63 CF |
| Скорость откачки по N2 | л/с | 65 |
| Конечное остаточное давление | мбар | 10-7/10-8 |
| Время выхода на режим | мин | 1,5 |
| Скорость откачки форвакуумного насоса DIVAC 0,8 T | м3/ч | 0,7 |
| Форвакуумное давление | мбар | 3 |
| Размер | мм | 250x333x356 |
| Вес | кг | 14,5 |