Автоматические зондовые станции SEMISHARE серии A

Описание Зондовая станция серии A производства SEMISHARE — это полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для тестирования...

Получить консультацию по Автоматические зондовые станции SEMISHARE серии A

Оставьте контактный номер и с вами свяжется наш инженер Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики обработки данных

Автоматические зондовые станции SEMISHARE серии A

Описание серии

Описание

Зондовая станция серии A производства SEMISHARE — это полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для тестирования 6-, 8- и 12-дюймовых пластин. Диапазон рабочих температур для таких станций варьируется от -45 до +200°C (опционально доступен расширенный диапазон от -55°C/-60°C до +300°C) и поддерживает определение характеристик пластин с диапазоном измерения до 3 кВ (трехосный интерфейс) /10 кВ (коаксиальный интерфейс) по высокому напряжению и до 500 А по току.

Станция может быть укомплектована манипулятором типа «Бернулли» для бережной транспортировки сверхтонких пластин или пластин, обработанных по технологии «Тайко» (с кольцевым торцом). Оборудование отличается простотой управления при высоком уровне механической стабильности.

Особенности

Интеграция собственного модуля предварительного выравнивания позволяет осуществлять автоматическую загрузку и выгрузку пластин без повреждений, обеспечивая круглосуточное непрерывное тестирование.
Максимальная скорость перемещения по осям XY достигает 250 мм/с.
Автоматизирования система перемещения подложки с микронной точностью
Оптическая система позиционирования с использованием новейших программных алгоритмов обработки изображений для обеспечения точного автоматического контакта зондов.
Манипулятор может работать с различными типами пластин: сверхтонкие /деформированные /Тайко и т.п.
Интегрированная шарнирная конструкция для работы с любыми измерительными приборами.
Компактный и легкий дизайн, низкий уровень вибраций и шума (модель A8).
Конструкция подвижной платформы держателя с низким центром тяжести для более стабильной работы.

Области применения для тестирования

По типу образца	По применению
Тестирование пластин	RF-тестирование
Тестирование силовых приборов	Высоко- и низкотемпературные испытания
Тестирование солнечных элементов	Тестирование сверхмалых токов на уровне 100 фемтоампер
Измерение поверхностного сопротивления материалов	Тестирование ВАХ / CВХ / ИК-характеристик
	Тестирование высокого напряжения и тока

Основные функции

Трехосный держатель образца для измерений токов утечки на уровне пикоампер (пA).
Поддержка манипулятора Бернулли для бережной работы с ультратонкими пластинами.
Система автоматической замены пробных карт.
Изолированное пространство в загрузчике с контролируемой чистотой (класс чистоты ISO 3-5), обеспечивающее защиту от частиц пыли, которые могут повредить микроструктуры.
Система автоматического считывания идентификаторов с контейнеров (FOUP) и самих пластин с помощью радиочастотных меток (RFID) или штрих-кодов обеспечивает точное отслеживание материалов.
Функция построения и отображения в реальном времени карты измеряемых параметров по всей пластине.
Автоматический подвод зондов.
Оптическое распознавание символов для считывания серийных номеров, нанесенных лазером на торец пластины. Резервная или основная система идентификации.
Автоматический контроль меток от зондов: система автоматически проверяет размер, глубину и расположение меток, оставленных зондами на контактных площадках, что гарантирует качество контакта и предотвращает повреждение пластин.
Просмотр журналов работы станции. ПО, позволяющее удаленно управлять станцией, мониторить ее статус и выполнять диагностику через сетевое соединение.
Система удаленного управления.
Редактор устройств (DUT) и рецептов (Recipe) для настройки тестов:
• DUT Editor: инструмент для настройки параметров тестируемого устройства — определение контактов, пределов измерений.
• Recipe Editor: программа для создания и управления технологическими рецептами — последовательностей операций тестирования для разных продуктов.

Технические характеристики

Модель	A8	A12	A12S
Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм	260x450	X: ±165, Y: -180...+500	X: ±165, Y: -175...+605
Максимальная скорость перемещения держателя образца по XY (шарико-винтовая передача), мм/с	250	250
Максимальная скорость перемещения держателя образца по XY (линейный двигатель), мм/с	500		500
Повторяемость держателя образца по XY, мкм	±1	±1	±0,5
Разрешение держателя образца по XY, мкм	0,1	0,1	0,05
Рабочий ход держателя образца ход по Z, мм	0~80	0~80	0~40
Максимальная скорость перемещения держателя образца по Z, мм/с	80	80	80
Повторяемость держателя образца по Z, мкм	±1	±1	±1
Разрешение держателя образца по Z, мкм	0,1	0,1	0,1
Угол поворота держателя образца по оси θ (вращение), град.	±10	±10	±5
Разрешение держателя образца по оси θ (вращение), град.	0,0001	0,0004	0,0004
Время индексации держателя образца, мс	280/ 200 Условия тестирования: Линейное перемещение Размер кристалла: 10/5 мм Высота отрыва: 200/300 мкм	280 Условия тестирования: Линейное перемещение Размер кристалла: 10 мм Высота отрыва: 300 мкм	200 Условия тестирования: Линейное перемещение Размер кристалла: 10 мм Высота отрыва: 300 мкм
Размер кассеты автозагрузчика, мм	152,4	203,2	203,2
Размер пластины автозагрузчика, мм	203,2	304,8	304,8
Температура, °C	от -45 до +200 (опционально от -55/-60 до +300)
Монитор	15-дюймовый LCD высокого разрешения
Требование к электропитанию, Гц/ В	50/60, 220
Требование к уровню вакуума, кПа	от -70 до -90
Требование к сжатому воздуху, МПа	От 0,55 до 0,7
Габариты (Ш×Г×В), мм	1124x1158x955	1467x1768x1400