- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Винтовые насосы EBARA
- Винтовые насосы EBARA серии EV-PA
Винтовые насосы EBARA серии EV-PA
На этой странице вы можете выбрать винтовые насосы EBARA серии EV-PA — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает винтовые насосы EBARA серии EV-PA для сухой откачки технологических камер и вакуумных линий.
Оборудование подходит для полупроводникового производства, напыления, химических процессов, лабораторных установок и чистых промышленных систем.
Серия EV-PA отличается безмасляной рабочей камерой, стабильной производительностью и готовностью к длительным циклам. Насосы помогают поддерживать чистоту процесса и снижать риск загрязнения продукции.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает винтовые насосы EBARA серии EV-PA для сухой откачки технологических камер и вакуумных линий.
Оборудование подходит для полупроводникового производства, напыления, химических процессов, лабораторных установок и чистых промышленных систем.
Серия EV-PA отличается безмасляной рабочей камерой, стабильной производительностью и готовностью к длительным циклам. Насосы помогают поддерживать чистоту процесса и снижать риск загрязнения продукции.
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 13.8
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 0.24
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 30
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 0.27
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 3
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 2
- Мощность, кВт: 0.23
Винтовые насосы EBARA серии EV-PA
Универсальные винтовые вакуумные насосы серии EV-PA — это надежное решение для отраслей, где предъявляются высокие требования к чистоте вакуума, таких как полупроводниковая промышленность, процессы нанесения тонких пленок, фотолитография, биомедицинская и фармацевтическая промышленность. Агрегаты EV-PA не требуют ежегодного технического обслуживания, так как не имеют в рабочей камере пар трения и обеспечивают низкую стоимость эксплуатации.
Данная серия насосов может контролироваться удаленно, благодаря встроенному интерфейсу удаленного доступа. Насосы винтовой конструкции одни из самых стойких к загрязнениям и отлично подойдут для замены спиральных и роторно-пластинчатых насосов.
Особенности и преимущества
- Компактные габаритные размеры и минимальная масса
- Большой межсервисный интервал
- Воздушное охлаждение
- Низкий уровень шума
- Энергоэффективность
- Встроенный обратный клапан на выходе
- Встроенный LCD дисплей
- Возможность удаленного управления
Области применения
Насосы подойдут для широкого спектра применений за счет своей универсальности и неприхотливости. А безмасляный принцип сжатия подойдет для «чистых» лабораторных и научных применений.
- Научные исследования
- Электронная микроскопия
- Различные аналитические установки
- «Чистые» вакуумные применения
- Масс-спектрометры
- Течеискатели
- Анализаторы поверхностей
- Ускорители частиц
- Вакуумные камеры небольшого объема
