Вакуумные вводы вращения UHV Design

Компания ООО «ЭРСТВАК» готова предложить к поставке следующую продукцию:

• Вводы вращательного движения
• Вводы линейного перемещения
• Системы перемещения образца
• Манипуляторы для перемещения образца Y, XY, XYZ и XYZT
• Вакуумные пинцеты
• Заслонки на смотровые окна
• Системы нагрева образца, включая блоки питания систем нагрева
• Системы управления (контроллеры, шаговые двигатели)
• Устройства для точной регулировки положения фланцев
• Системы точного позиционирования на базе пьезоэлектрического эффекта

Вводы вращательного движения

Производства вакуумных вводов вращательного движения позволяет передавать вращение в вакуумную систему с помощью жесткого магнитного уплотнения. Без сильфонов, жидкостей или динамических уплотнений. Обеспечивает надежную и герметичную работу в сверхвысоком вакууме.

Особенности:

• Надежная конструкция с магнитным уплотнением
• Корпус ввода сделан для работ в высоковакуумных системах
• Ввод может использоваться в магниточувствительных средах за счет магнитного экранирования
• Отсутствие скользящих уплотнений
• Рабочая температура до 250ºC
• Высокое отношение крутящего момента к размеру манипулятора
• Полые валы позволяют размещать концентрические приводы друг на друга

Вводы линейного перемещения

Мы предлагаем вводы линейного перемещения как с сильфонным уплотнением, так и с магнитной связью для решения широкого спектра задач как производственных, так и лабораторных. Мы можем предложить различные варианты вводов линейного перемещения: моторизированные; с пневматическим приводом; нестандартные валы; широкий выбор энкодеров; высокоскоростные вводы, использующие шарико-винтовую передачу для достижения скорости до 100 м/с.

Особенности:

• Конфигурации с сильфонным и магнитным уплотнениями
• Возможность создания ввода конкретно под задачу
• Широкий диапазон рабочих давлений

Системы перемещения образца

Системы для перемещения образцов позволяют надежно переносить образцы в сверхвысоком вакууме. Системы включают в себя подъемный и двухосевой PowerProbe, предназначенные для переноса специальных стандартных держателей образцов с использованием различных методов приведения в действие.

Особенности:

• Надежная передача образцов
• Прочное магнитное уплотнение
• Высокая жесткость при радиальном перемещении
• Рабочая температура до 250 °C

Манипуляторы для перемещения образца Y, XY, XYZ и XYZT

Мы предлагаем проверенный на практике ассортимент точных манипуляторов, которые могут использоваться отдельно или в сочетании с механизмами линейного сдвига и поворотными приводами для создания сложных манипуляторов с шестью осями независимого движения.

Особенности:

• Доступно множество вариантов для удовлетворения требований к перемещению по осям X, Y и Z.
• Гарантированный минимальный расчетный срок службы сильфона 10 000 рабочих циклов
• Монтаж в любой положении
• Многие устройства могут быть переоборудованы под уже имеющиеся установки в зависимости от необходимости

Вакуумные пинцеты

Вакуумные пинцеты представляет собой модульную концепцию для взаимодействия с образцом в вакуумной среде. Магнитное уплотнение устраняет необходимость в длинных сварных сильфонных элементах, обычно используемых в традиционных конструкциях.

Это снижает риск утечек, особенно в таких областях применения, как MBE, где твердые частицы или осаждение между витками сильфона могут сократить срок службы или привести к немедленному отказу.

У нас есть ряд вакуумных пинцетов, специально разработанных для распространенных систем Омикрон.

Особенности:

• Различные версии исполнения манипулятора с наклоном +/-22°
• Нагрев до 250°C без необходимости демонтажа внешнего магнита.
• Большой выбор держателей образцов.

Заслонки на смотровые окна

Наш ассортимент заслонок на смотровые окна основан на серии MagiDrive с магнитным уплотнением. Включает в себя различные опции: широкий выбор фланцев подключения, а также различные значения крутящего момента.

Особенности:

• Использование поворотных приводов с магнитным уплотнением
• Широкий диапазон размеров фланцев и значений крутящего момента
• Рабочая температура до 250°C

Системы нагрева образца, включая блоки питания систем нагрева

Отличное решение для нагрева образцов с использованием проверенной передовой технологии нагрева. Система состоит из нагревательных элементов, обработанных методом CVD, упакованных в корпуса из огнеупорного металла.

В дополнение к комплексным решениям по нагреву образцов, мы также предлагаем ряд отдельных нагревательных модулей, которые могут быть включены в уже рабочие системы нагрева.

Непосредственно горячая зона, удерживающая элемент, изготовлена из тугоплавких металлов и не включает никаких других материалов, которые могут ухудшить характеристики системы при высокой температуре. Поэтому эти модули особенно хорошо подходят для применения в сверхвысоком вакууме.

Особенности:

• Высокая точность нагрева, а также поддержание заданного значения при температуре до 1200 °С
• Возможность работы при более низких температурах, чем у обычных металлических нагревателей
• Горячая зона сделана из тугоплавкого металла, что в свою очередь дает огромную производительность при высоких температурах

Устройства для точной регулировки положения фланцев

Устройства для точной регулировки положения фланца позволяют регулировать расстояние и угловое соотношение между двумя фланцами, где неподвижный фланец поддерживает три равноудаленных резьбовых вала, а параллельно подвижный фланец имеет регулируемые плавающие крепления. Типичное применение - окончательное выравнивание кронштейнов для переноса образцов.

Особенности:

• Монтаж в любом положении
• Осевая регулировка в пределах +/- 5 мм
• Угловое смещение +/- 3°
• Сильфонное уплотнение обеспечивает сохранение сверхвысокого вакуума
• Рабочая температура до 250 °С

Системы точного позиционирования на базе пьезоэлектрического эффекта.

Система высокоточного позиционирования на базе пьезоэлектрического эффекта используется для сверхточного перемещения образца по осям, движущимся независимо, друг относительно друга. Точность позиционирование в таких системах достигает нескольких микрометров. Системы бывают различного конструктивного исполнения, все зависит от задачи и рабочей среды.

Поворотные оси

На основе технологии пьезопривода мы предлагаем поворотные оси и платформы. Их можно легко комбинировать друг с другом для создания более сложных систем. Поворотные оси обеспечивают непрерывное и механически неограниченное вращение. Они отличаются силой блокировки, рабочей скоростью и внешними размерами, а также доступными опциями, когда речь идет о встроенных датчиках положения и совместимости с вакуумом.

Манипуляторы линейного позиционирования

Портфель продукции нашей компании включает в себя широкую линейку манипуляторов линейного позиционирования. Данные манипуляторы идеально подойдут под задачи, где важна точность линейного позиционирования, т. к. точность перемещения достигает нескольких микрометров. Манипуляторы могут быть выполнены в различных вариантах по степеням свободы, все зависит от поставленной задачи.