Диапазон рабочего давления: 5,3•10-6 Па 1,2•105 Па
Максимальный перепад давления перед открытием затвора: 5•103 Па
Уровень течи: <1,3•10-7 Па∙л/с
Количество циклов до первого обслуживания: 100 000
Максимальная рабочая температура: 150°C
Позиция установки: любая
Напряжение питания: 220 В, 50 Гц, 6Вт или 24 В, 3 Вт
Сжатие воздуха: 0,5-0,7 МПа
Скорость срабатывания: <5 сек
Индикаторы положения: открыт/закрыт (магнитный)
Фланцы: CF/ISOK/ISOF
Размер A, мм: 197.9
Размер B, мм: 231.7
Размер C, мм: 30
Материал:
Алюминий
Вакуумное смотровое немагнитное окно на CF-фланцах из кварца Kurt J. Lesker VPZL-450EUTI
Тип:
Вакуумное
Производитель:
Kurt J. Lesker Company
Фланец: DN63CF (4.50" OD
Материал окна: Плавленый кварц
Материал фланца: Titanium (Grade 5)
Плоскостность:
λ/4 632 нм фронт волны
Шиберный затвор King Lai AGP-UHV-CF800 с пневматическим приводом, соленоидом и датчиками положения
Тип:
Шиберный
Привод: Электропневматический
Материал корпуса: AISI 304 нержавеющая сталь
Присоединительный фланец: CF160
Диапазон рабочего давления, Торр: от 10Е-10 до 760
Гибкий шланг King Lai MH-KF-25-1500L
Тип:
Гибкий
Длина, мм: 1500
Материал фланца: Нержавеющая сталь 304
Материал гибкого шланга: Нержавеющая сталь 304
Вращающийся фланец King Lai CF-BF-133x075R со сквозными отверстиями под болты
Тип:
Вращающийся
Рабочая температура, °С: От -190 до 450
Размер A, мм: 33.7
Размер B, мм: 16
Размер C, мм: 19.3
Шиберный затвор King Lai AGVM-UHV-CF275 с ручным приводом
Тип:
Шиберный
Привод: Ручной
Материал корпуса: AISI 304 нержавеющая сталь
Присоединительный фланец: CF40
Диапазон рабочего давления, Торр: от 10Е10 до 760
Хомут EVP KF16CLA-NP с никелевым покрытием
Тип:
Хомут
Производитель:
EVP
Рабочая температура, °С: от -10 до 150
Материал:
алюминий с никелевым покрытием
Предельное давление, торр: 10Е-8 торр
Фланец с резьбовым отверстием King Lai ISOF-BF-63
Тип:
Фланец
Рабочая температура, °С: От -20 до 150
Размер A, мм: 130
Размер B, мм: 61.9
Размер PCD, мм: 110