Лабораторная зондовая станция SEMISHARE M4

Производитель SEMISHARE
Серия M
Страна Китай
Диаметр пластины, мм 100
Размер стола держателя образца, мм 101.6
Тип держателя образца (опционально) Держатель для высоких мощностей с термостабилизацией
Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях) Да, держатель образца электрически изолирован
Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм 100 × 100
Точность перемещения платформы держателя образца, мкм 10

В корзину

Описание

Характеристики

Дополнительные характеристики

Модель	M4
Масса, кг	45
Питание, В, Гц	220, 50-60
Крепление образца (при нормальных условиях)	Кольцевая вакуумная адсорбция (доступна опция пористой адсорбции)
Материал стола держателя образца	Нержавеющая сталь 316 / опционально: медь с никелевым или золотым покрытием
Функция быстрого подъема платформы для перемещения держателя образца	Не поддерживается
Система быстрого извлечения держателя образца	Не поддерживается
Управление платформой для перемещения держателя образца	Точная ручная регулировка
Крепление зондов	Магнитное или вакуумное
Микроскоп	Стандартный стерео (опционально видео)
Угол позиционирования микроскопа, град.	360
Ход микроскопа по оси Z, мм	50,8
Настройка точности перемещения микроскопа	Не поддерживается
Настройка способа переключения линз микроскопа	Не поддерживается
Механическая точность зонда, мкм	10 /2 /0,7 (опционально)
Точность измерения тока утечки (Коаксиальный) при 25°C, (экранированная заземленная среда, точка росы ниже -40°C), пА/В	1
Точность измерения тока утечки (Трехосный) при 25°C, (экранированная заземленная среда, точка росы ниже -40°C), фА/В	100
Точность измерения тока утечки (Трехосный) при 3 кВ (25°C), (экранированнная заземленная среда, точка росы ниже -40°C), пА	10
Интерфейсы	Разъемы типа банан/крокодил/коаксиальный/трехосный

Производитель: SEMISHARE

Серия: M

Страна: Китай

Диаметр пластины, мм: 100

Размер стола держателя образца, мм: 101.6

Тип держателя образца (опционально): Держатель для высоких мощностей с термостабилизацией

Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях): Да, держатель образца электрически изолирован

Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм: 100 × 100

Точность перемещения платформы держателя образца, мкм: 10

Минимальный шаг позиционирования, мкм: 1

Угол поворота платформы для держателя образца (грубая регулировка), ±град: 45

Диапазон точной настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, ±град: 8

Точность настройки угла поворота платформы для перемещения держателя образца, град: 0.01

Длина платформы для крепления зондов, мм: 540

Ширина платформы для крепления зондов, мм: 310

Рабочее расстояние (от верхней поверхности держателя образца до нижней поверхности платформы), мм: 8

Максимальное количество устанавливаемых зондов: 6

Подъем платформы для крепления зондов: Не поддерживается

Микроскоп: Стандартный стерео (опционально видео)

Минимальное увеличение микроскопа, раз: 16

Максимальное увеличение микроскопа, раз: 100

Камера микроскопа (опционально), Мп: 8 (цифр.)

Ход зонда по осям X-Y-Z, мм: 12 × 12 × 12

Повторяемость держателя образца по XY, ±мкм: 3

Длина, мм: 650

Высота, мм: 620

Ширина, мм: 490

Производитель SEMISHARE
Серия M
Страна Китай
Диаметр пластины, мм 100
Размер стола держателя образца, мм 101.6
Тип держателя образца (опционально) Держатель для высоких мощностей с термостабилизацией
Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях) Да, держатель образца электрически изолирован
Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм 100 × 100
Точность перемещения платформы держателя образца, мкм 10