Полуавтоматическая зондовая станция SEMISHARE X6

Тип

Полуавтоматическая

Производитель

SEMISHARE

Серия

X

Страна

Китай

Максимальная рабочая температура, °C

300

Диаметр пластины, мм

150

Точность контроля температуры, ±°C

0.1

Размер стола держателя образца, мм

152.4

Тип держателя образца (опционально)

Трехкоаксиальный

Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм

350 × 365

Точность перемещения платформы держателя образца, мкм

±2

Минимальный шаг позиционирования, мкм

0.1

Микроскоп

Микроскоп с увеличением 15:1 (трехскоростной), может одновременно отображать изображения при малом, среднем и высоком увеличении

Максимальная скорость перемещения держателя образца по XY, мм/с

70

Максимальная скорость перемещения держателя образца по Z, мм/с

20

Повторяемость держателя образца по XY, ±мкм

1.5

Рабочий ход держателя образца по Z, мм

20

Минимальная рабочая температура, °C

-60