EBARA Corp. – мировой лидер по производству высокотехнологичного оборудования для полупроводниковой промышленности, в состав которого входит несколько подразделений. Наша компания представляет в России подразделение Precision Machinery Company, занимающееся изготовлением безмасляных вакуумных насосов, оборудованием для полупроводниковой промышленности, системами озонирования и очистки для чистых помещений, а также скрубберами.
Корпорация EBARA
Является членом Международной организации полупроводникового оборудования и материалов, Американского вакуумного общества, Американской ассоциации изготовителей вакуумного оборудования.
Весь ассортимент продуктов EBARA разрабатывается и производится в полном соответствии со стандартными требованиями Американского национального института стандартов (ANSI), Международной организации по стандартизации (ISO), Американского общества контроля качества (ASQC), систем качества США и Японии.
Компания EBARA – мировой лидер по изготовлению сухих вакуумных насосов большой производительности: ей принадлежит более 60% мирового рынка промышленных безмасляных вакуумных насосов, а в технологических производствах таких стран, как Япония, США, Тайвань и Китай, доля насосов этой компании превышает 80%.
Их основной показатель – исключительная надежность.
В том числе в самых «тяжелых» применениях:
- Ионная имплантация.
- Эпитаксия и травление.
- Высокая степень чистоты создаваемого вакуума.
- Большие скорости откачки.
- Рекордно низкое энергопотребление и компактность.
- Низкий уровень вибраций.
- Низкие затраты на эксплуатацию и самая низкая стоимость владения.
Не имеющая себе равных локальная и глобальная сеть центров поддержки клиентов и технического обслуживания обеспечивает высочайший стандарт надежности, максимальное время безотказной работы при низких эксплуатационных издержках.
Все производство безмасляных насосов сосредоточено в Японии. Истинное японское качество выпускаемой продукции, расширенная гарантия до 7 лет на высоковакуумные насосы, использование самого современного производственного оборудования, инновационных технологий и высококачественных материалов позволяет компании Ebara Precision Machinery Company выпускать оборудование, полностью соответствующее требованиям современного производства, и уверенно зарекомендовать себя как лидера в данном сегменте.
Модельный ряд насосов Ebara постоянно расширяется. Последние серии насосов – EV-S, EV-M и EV-L.
Насосы, выпускаемые компанией Ebara, стали хитами и лидерами продаж в своем сегменте благодаря рекордным характеристикам по низкому энергопотреблению и компактности.
Компания Ebara уверенно занимает первую строчку среди изготовителей оборудования на рынке вакуумного оборудования для полупроводниковой промышленности, оставаясь крупнейшей в мире компанией, специализирующейся на производстве сухих форвакуумных насосов подобного класса.
Винтовые насосы Ebara являются одними из самых стойких к попаданию загрязнений в виде мелкодисперсной пыли. Они могут изготавливаться как в стандартном исполнении, так и для откачки агрессивных газов — в коррозионностойком исполнении с покрытием проточной части насоса никелем.
Сухие насосы компании EBARA сохраняют работоспособность в процессах с высокой степенью загрязнения, таких как:
- Химическое осаждение из газовой фазы при низком давлении (LPCVD).
- Плазменно-химическое осаждение из газовой фазы (PECVD).
- Химическое осаждение из газовой фазы (CVD) и др.
Сухие насосы компании EBARA используются в областях, где присутствие паров масла недопустимо:
- Производство полупроводников.
- Стенды испытаний космической техники.
- Биотехнологии.
- Ускорители элементарных частиц.
- Масс-спектрометрия.
Компания EBARA предлагает широкую линейку продуктов с большим спектром моделей. В наличии на нашем складе в Москве представлена вся линейка насосов Ebara.
Ждем ваших запросов, дорогие клиенты.
