Вакуумный насос EBARA EST500WN
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар:
0.004
Производитель: Ebara
Мощность, кВт: 4.6
Вакуумный насос EBARA EST300WN
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар:
0.004
Производитель: Ebara
Мощность, кВт: 4.5
Вакуумный насос EBARA EST200WN
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар:
0.004
Производитель: Ebara
Мощность, кВт: 3.2
Вакуумный насос EBARA EST100WN
Тип: Винтовой
Производитель: Ebara
Предельное остаточное давление, мбар:
0.0053
Производитель: Ebara
Мощность, кВт: 3.2
Насосы серии EST являются передовыми винтовыми насосами, специально сконструированными для работы в тяжелых условиях. Подходят для откачки химически активных и конденсируемых газов, а также умеренно запылённых сред.
Обладают прекрасной характеристикой производительности и высокой стабильностью при откачке больших газовых объемов. Применяются в CVD технологиях, химическом и ионно-плазменном травлении подложек, установках удаления фоторезиста.
Особенности и преимущества
- Широкий диапазон скорости откачки для различных применений.
- Применение высокоэффективных двигателей постоянного тока.
- Применение надёжных систем контроля работы.
Применение
- CVD-процессы и процессы травления.
- Откачка камер больших объёмов.
Технические характеристики
| Характеристики моделей | EST10N | EST25N | EST100WN | EST200WN | EST300WN | EST500WN | |
| Быстрота действия, м3/ч | 60 | 150 | 600 | 1200 | 1800 | 3000 | |
| Предельное остаточное давление, Па | 2,67 | 2,67 | 0,4 | 0,4 | 0,4 | 0,4 | |
| Потребляемая мощность (макс/ при pост), кВт | 3,5/2,3 | 5,5/3,0 | 7,7/3,8 | 7,8/3,9 | 9,5/4,5 | 11,3/4,6 | |
| Размер (вход/выход) | NW40/NW40 | NW40/NW40 | NW50/NW40 | ISO100/NW40 | ISO160/NW40 | ISO160/NW40 | |
| Водяное охлаждение, л/мин | 5-8 | 5-8 | 5-8 | 5-8 | 5-8 | 5-8 | |
| Расход азота на продувку, л/мин | 8-11 | 8-10 | 14-17 | 14-17 | 14-17 | 16-18 | |
| Габаритные размеры, мм | Длина | 1100 | 990 | 990 | 990 | 990 | |
| Ширина | 410 | 410 | 410 | 410 | 520 | ||
| Высота | 532 | 501 | 851 | 851 | 873 | ||
| Масса, кг | 260 | 300 | 420 | 450 | 500 | 550 | |