Описание
Многофункциональный контроллер IC6 обеспечивает наивысшую возможную точность измерений
Контроллер осаждения тонких пленок IC6 обеспечивает исключительные характеристики, сочетая проверенные технологии контроллеров тонких пленок INFICON с уникальными функциями, разработанными для того, чтобы вы могли добиться максимальной эффективности процесса нанесения тонких пленок. IC6 использует нашу систему измерения частоты ModeLock для обеспечения стабильности измерения скорости и толщины с лучшим разрешением в отрасли: 0,00433 Å/с, каждые 1/10 секунды. Ни один другой контроллер на кварцевом кристалле не обладает такими характеристиками, качеством и функциями, как IC6, что позволяет добиться повторяемости результатов.
Особенности
- Технология INFICON ModeLock обеспечивает наиболее стабильные измерения с высочайшим разрешением потолщиной даже при очень низких скоростях
- Система Auto Z улучшает точность измерения толщины за счет автоматического определения Z-коэффициента по мере нанесения материала
- Совместное осаждение до шести источников одновременно
- Цветной ЖК-дисплей позволяет легко рассмотреть, что происходит в вашем процессе
- Погрешность +/- 0,0035 Гц за 100 мс выборки
- USB-накопитель для снимков экрана, хранения рецептов и регистрации данных
- Мощный ввод-вывод с возможностью интеграции в простые или сложные системы (с использованием расширяемых входов (28) и выходов (24 реле, 14 TTL-выходов) и использования логических функций (100 логических операторов)
- 6 стандартных выходов ЦАП, 6 дополнительных опций для контроля источника, скорости или толщины
- Может обрабатывать до 50 процессов по 200 слоев в каждом, а процессы могут быть связаны друг с другом максимум до 10 000 слоев
- Усреднение по нескольким датчикам (до 8 датчиков)
- Опционально: кабель XIU, длиной 4 метра, позволяет использовать длинные кабели датчиков в вакууме для больших систем
- Опционально: протокол связи Ethernet
- Опционально: программное обеспечение редактора конфигурации IC6 (каталожный номер 781-620-G1) - программное обеспечение для Windows® на основе LabVIEW®, которое позволяет автономно создавать и редактировать файлы конфигурации IC6 и конвертировать файлы конфигурации IC / 5 в формат IC6
- Соответствие RoHS
Области применения
- Высококачественные оптические покрытия
Характеристики
|
Тип |
IC6 |
|---|---|
|
Характеристики измерений |
|
|
Разрешение по частоте |
±0.0035 Гц @ 6 MГц |
|
Разрешение / измерение толщины и скорости |
±0.00433 Å |
|
Диапазон частот измерения |
6.0 до 4.5 MГц (фиксированно) |
|
Точность измерения толщины (2) |
0.5% |
|
Интервал измерения |
0.10 с |
|
Усреднение по нескольким измерениям |
Разрешенные усреднения: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, и 30.0 сек |
|
Особые функции |
|
|
Auto Z |
да |
|
Autotone |
да |
|
Совместное осаждение |
да (до 6 источников) |
|
Рецепт процесса & управление данными |
|
|
Материальные программы |
32 |
|
Количество слоев (на 1 процесс) |
200 |
|
Процессы |
50 (процессы могут быть связаны вместе) |
|
USB-память |
да |
|
Запись данных |
да |
|
Аппаратные возможности |
|
|
Одиночный датчик |
8 |
|
Двойной датчик |
4 / 8 ( с реле CrystalTwo®) |
|
CrystalSix |
8 |
|
Crystal 12 |
8 |
|
Универсальный |
8 |
|
Количество источников |
до 6 |
|
Контроль напряжения источников |
0 +/-10 В, регулируемый |
|
Выходное разрешение |
15 бит во всем диапазоне (от 0 до 10 В) |
|
Позиции тиглей |
64 |
|
Входы |
14 стандартных, до 28 дополнительных; Совместимость логики TTL / CMOS или замыкание на землю |
|
Выходы |
8 стандартных, до 24 дополнительных программируемых реле SPST, рассчитанных на 30 В (DC) или 30 В (AC) среднеквадратичное значение или 42 В пиковое при 2,5 А; 14 дополнительных выходов TTL |
|
Выход на регистрируещее устройство (4) |
от 0 до +10 В, регулируемый |
|
Логические утверждения |
100 полностью программируемых; до 5 действий, 5 событий на утверждение |
|
Стандарт передачи |
RS232 |
|
Опционально |
Ethernet |
|
Дисплей |
|
|
Разрешение по толщине |
1 Å от 0 до 9.999 kÅ 10 Å от 10.00 до 99.99 kÅ 100 Å от 100.0 до 999.9 kÅ 1 kÅ от 1000 до 9999 kÅ |
|
Разрешение по скорости нанесения |
0.001 от 0 до 9.999 Å/с если время рейт-фильтра установлено 10 секунд или больше 0.01 от 0 до 99.99 Å/с 0.1 от 100 до 999.9 Å/с |
|
Эксплуатация |
|
|
Требования к питанию |
100 – 230 В (ac) +/- 15% 50 / 60 Гц +/- 3 Гц |
|
Температура эксплуатации |
0 до 50°C (32 до 122°F) |
|
Габаритные размеры без учета креплений (Ш x В x Д) |
5.25” x 19” x 13” (133 мм x 483 мм x 330 мм) |
|
Масса |
23 фунта (10.5 кг) |
Артикул
Аксессуары
|
Название |
Описание |
|---|---|
|
Одиночный датчик с загрузкой спереди |
|
|
Двойной датчик с загрузкой cпереди |
|
|
Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом |
|
|
Двойной датчик с охлаждаемым корпусом |
|
|
Двойной сенсор Easy Rate |
|
|
Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума |
|
|
ALD (АСО) Сенсор |
|
|
Датчик распыления |
|
|
Датчик Crystal Six |
|
|
Одиночный сенсор Easy Rate |
|
|
Датчик Crystal 12 |
|
|
Поворотный датчик RSH-600 |
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
755-262-G1 |
Портативный контроллер мощности (для ручного контроля мощности) |
|
779-220-G1 |
Коммутатор CrystalTwo®, 15.2 см (6 дюйм.) BNC Кабели |
|
779-220-G2 |
Коммутатор CrystalTwo®, 50.8 см (20 дюйм.) BNC Кабели |
|
Комплект осцилляторов
|
|
|
781-611-G15 |
XIU PKG с кабелем 4,6 м (15 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3 |
|
781-611-G30 |
XIU PKG с кабелем 9,1 м (30 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3 |
|
781-611-G50 |
XIU PKG с кабелем длиной 15,2 м (50 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3 |
|
781-611-G100 |
XIU PKG с кабелем 30,5 м (100 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3 |
|
781-612-G15 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 4,6 м (15 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-612-G30 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 9,1 м (30 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-612-G50 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 15,2 м (50 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-612-G100 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 30,5 м (100 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и кабель BNC (от XIU к коммутатору) 6 дюймов - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-613-G15 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 4,6 м (15 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-613-G30 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 9,1 м (30 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-613-G50 |
4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 15,2 м (50 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-613-G100 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 30,5 м (100 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
Только осциллятор
|
|
|
781-600-G1 |
XIU (осциллятор) - Для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 15 до 183 см (от 6 до 72 дюймов) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-600-G2 |
XIU (осциллятор) - для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 3 до 4 м (от 118 до 157 дюймов) - для использования с Cygnus 2 или IC6 |
|
Кабели |
|
|
600-1261-P100 |
Кабель 30,5 (100 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |
|
600-1261-P15 |
Кабель 4,6 м (15 футов), контроллер Cgynus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |
|
600-1261-P30 |
Кабель 9,1 м (30 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |
|
600-1261-P50 |
Кабель длиной 15,2 м (50 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |
|
755-257-G6 |
Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), XIU для вакуумного ввода |
|
ПО редактора конфигурации |
|
|
781-620-G1 |
ПО IC6 - программное обеспечение Windows® на базе LabVIEW®, которое позволяет автономно создавать и редактировать файлы конфигурации IC6 и конвертирует файлы конфигурации IC/5 в формат IC6. |