- Главная
- Производители
- Каталог оборудования INFICON
- Системы контроля толщины тонких пленок во время напыления INFICON
- Контроллеры осаждения тонких пленок INFICON
- Контроллер осаждения тонких пленок INFICON серии IC6
Контроллер осаждения тонких пленок INFICON серии IC6
Описание Многофункциональный контроллер IC6 обеспечивает наивысшую возможную точность измерений Контроллер осаждения тонких пленок IC6 обеспечивае...
Контроллер осаждения тонких пленок INFICON серии IC6
Описание
Многофункциональный контроллер IC6 обеспечивает наивысшую возможную точность измерений
Контроллер осаждения тонких пленок IC6 обеспечивает исключительные характеристики, сочетая проверенные технологии контроллеров тонких пленок INFICON с уникальными функциями, разработанными для того, чтобы вы могли добиться максимальной эффективности процесса нанесения тонких пленок. IC6 использует нашу систему измерения частоты ModeLock для обеспечения стабильности измерения скорости и толщины с лучшим разрешением в отрасли: 0,00433 Å/с, каждые 1/10 секунды. Ни один другой контроллер на кварцевом кристалле не обладает такими характеристиками, качеством и функциями, как IC6, что позволяет добиться повторяемости результатов.
Особенности
- Технология INFICON ModeLock обеспечивает наиболее стабильные измерения с высочайшим разрешением потолщиной даже при очень низких скоростях
- Система Auto Z улучшает точность измерения толщины за счет автоматического определения Z-коэффициента по мере нанесения материала
- Совместное осаждение до шести источников одновременно
- Цветной ЖК-дисплей позволяет легко рассмотреть, что происходит в вашем процессе
- Погрешность +/- 0,0035 Гц за 100 мс выборки
- USB-накопитель для снимков экрана, хранения рецептов и регистрации данных
- Мощный ввод-вывод с возможностью интеграции в простые или сложные системы (с использованием расширяемых входов (28) и выходов (24 реле, 14 TTL-выходов) и использования логических функций (100 логических операторов)
- 6 стандартных выходов ЦАП, 6 дополнительных опций для контроля источника, скорости или толщины
- Может обрабатывать до 50 процессов по 200 слоев в каждом, а процессы могут быть связаны друг с другом максимум до 10 000 слоев
- Усреднение по нескольким датчикам (до 8 датчиков)
- Опционально: кабель XIU, длиной 4 метра, позволяет использовать длинные кабели датчиков в вакууме для больших систем
- Опционально: протокол связи Ethernet
- Опционально: программное обеспечение редактора конфигурации IC6 (каталожный номер 781-620-G1) - программное обеспечение для Windows® на основе LabVIEW®, которое позволяет автономно создавать и редактировать файлы конфигурации IC6 и конвертировать файлы конфигурации IC / 5 в формат IC6
- Соответствие RoHS
Области применения
- Высококачественные оптические покрытия
Характеристики
|
Тип |
IC6 |
|---|---|
|
Характеристики измерений |
|
|
Разрешение по частоте |
±0.0035 Гц @ 6 MГц |
|
Разрешение / измерение толщины и скорости |
±0.00433 Å |
|
Диапазон частот измерения |
6.0 до 4.5 MГц (фиксированно) |
|
Точность измерения толщины (2) |
0.5% |
|
Интервал измерения |
0.10 с |
|
Усреднение по нескольким измерениям |
Разрешенные усреднения: 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, и 30.0 сек |
|
Особые функции |
|
|
Auto Z |
да |
|
Autotone |
да |
|
Совместное осаждение |
да (до 6 источников) |
|
Рецепт процесса & управление данными |
|
|
Материальные программы |
32 |
|
Количество слоев (на 1 процесс) |
200 |
|
Процессы |
50 (процессы могут быть связаны вместе) |
|
USB-память |
да |
|
Запись данных |
да |
|
Аппаратные возможности |
|
|
Одиночный датчик |
8 |
|
Двойной датчик |
4 / 8 ( с реле CrystalTwo®) |
|
CrystalSix |
8 |
|
Crystal 12 |
8 |
|
Универсальный |
8 |
|
Количество источников |
до 6 |
|
Контроль напряжения источников |
0 +/-10 В, регулируемый |
|
Выходное разрешение |
15 бит во всем диапазоне (от 0 до 10 В) |
|
Позиции тиглей |
64 |
|
Входы |
14 стандартных, до 28 дополнительных; Совместимость логики TTL / CMOS или замыкание на землю |
|
Выходы |
8 стандартных, до 24 дополнительных программируемых реле SPST, рассчитанных на 30 В (DC) или 30 В (AC) среднеквадратичное значение или 42 В пиковое при 2,5 А; 14 дополнительных выходов TTL |
|
Выход на регистрируещее устройство (4) |
от 0 до +10 В, регулируемый |
|
Логические утверждения |
100 полностью программируемых; до 5 действий, 5 событий на утверждение |
|
Стандарт передачи |
RS232 |
|
Опционально |
Ethernet |
|
Дисплей |
|
|
Разрешение по толщине |
1 Å от 0 до 9.999 kÅ 10 Å от 10.00 до 99.99 kÅ 100 Å от 100.0 до 999.9 kÅ 1 kÅ от 1000 до 9999 kÅ |
|
Разрешение по скорости нанесения |
0.001 от 0 до 9.999 Å/с если время рейт-фильтра установлено 10 секунд или больше 0.01 от 0 до 99.99 Å/с 0.1 от 100 до 999.9 Å/с |
|
Эксплуатация |
|
|
Требования к питанию |
100 – 230 В (ac) +/- 15% 50 / 60 Гц +/- 3 Гц |
|
Температура эксплуатации |
0 до 50°C (32 до 122°F) |
|
Габаритные размеры без учета креплений (Ш x В x Д) |
5.25” x 19” x 13” (133 мм x 483 мм x 330 мм) |
|
Масса |
23 фунта (10.5 кг) |
Артикул
Аксессуары
|
Название |
Описание |
|---|---|
|
Одиночный датчик с загрузкой спереди |
|
|
Двойной датчик с загрузкой cпереди |
|
|
Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом |
|
|
Двойной датчик с охлаждаемым корпусом |
|
|
Двойной сенсор Easy Rate |
|
|
Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума |
|
|
ALD (АСО) Сенсор |
|
|
Датчик распыления |
|
|
Датчик Crystal Six |
|
|
Одиночный сенсор Easy Rate |
|
|
Датчик Crystal 12 |
|
|
Поворотный датчик RSH-600 |
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
755-262-G1 |
Портативный контроллер мощности (для ручного контроля мощности) |
|
779-220-G1 |
Коммутатор CrystalTwo®, 15.2 см (6 дюйм.) BNC Кабели |
|
779-220-G2 |
Коммутатор CrystalTwo®, 50.8 см (20 дюйм.) BNC Кабели |
|
Комплект осцилляторов
|
|
|
781-611-G15 |
XIU PKG с кабелем 4,6 м (15 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3 |
|
781-611-G30 |
XIU PKG с кабелем 9,1 м (30 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3 |
|
781-611-G50 |
XIU PKG с кабелем длиной 15,2 м (50 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3 |
|
781-611-G100 |
XIU PKG с кабелем 30,5 м (100 футов) - для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC / 3 |
|
781-612-G15 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 4,6 м (15 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-612-G30 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 9,1 м (30 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-612-G50 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 15,2 м (50 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-612-G100 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 30,5 м (100 футов) - Включает 4-метровый вакуумный кабель и кабель BNC (от XIU к коммутатору) 6 дюймов - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-613-G15 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 4,6 м (15 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-613-G30 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 9,1 м (30 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-613-G50 |
4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 15,2 м (50 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-613-G100 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 30,5 м (100 футов) - Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
Только осциллятор
|
|
|
781-600-G1 |
XIU (осциллятор) - Для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 15 до 183 см (от 6 до 72 дюймов) - Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
781-600-G2 |
XIU (осциллятор) - для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 3 до 4 м (от 118 до 157 дюймов) - для использования с Cygnus 2 или IC6 |
|
Кабели |
|
|
600-1261-P100 |
Кабель 30,5 (100 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |
|
600-1261-P15 |
Кабель 4,6 м (15 футов), контроллер Cgynus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |
|
600-1261-P30 |
Кабель 9,1 м (30 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |
|
600-1261-P50 |
Кабель длиной 15,2 м (50 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |
|
755-257-G6 |
Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), XIU для вакуумного ввода |
|
ПО редактора конфигурации |
|
|
781-620-G1 |
ПО IC6 - программное обеспечение Windows® на базе LabVIEW®, которое позволяет автономно создавать и редактировать файлы конфигурации IC6 и конвертирует файлы конфигурации IC/5 в формат IC6. |
Готовы подобрать идеальное решение для своего производства?
