Описание
Улучшенный контроль скорости для одного или нескольких слоев
Контроллер напыления тонких пленок XTC/3 обеспечивает высокоточный контроль скорости осаждения и толщины покрытия, возможность нанесения практически любого количества слоев, простоту установки и чрезвычайно высокую надежность для обеспечения высокой производительности.
Вне зависимости от ваших потребностей, будь это производство, исследование или разработка Вам подойдет контроллер INFICON XTC/3.
Особенности
- Доступны модели для нанесения однослойных и многослойных покрытий.
- Запатентованная технология ModeLock снижает погрешности в измерении толщины пленки, вызванные скачкообразным изменением мод.
- Поддерживает INFICON Crystal 12 ® , Crystal Six ® и автоматическое переключение кристаллов с двумя датчиками для максимальной производительности .
- Многоуровневая модель XTC/3M поддерживает до 99 процессов, 999 слоев, 32 пленки, 2 датчика и два источника.
- Однослойная модель XTC/3S поддерживает до 9 пленок, 2 датчика и два источника
- Легко читаемые графические TFT LCD дисплеи
- Пленкам и процессам можно присвоить уникальные имена для легкого поиска.
- Доступно Ethernet-соединение
- Автономное (компьютер не требуется) или дополнительное программное обеспечение Windows ® для работы с ПК
- Замена Plug-and-play для контроллеров INFICON XTC/2 (ограничено функциями XTC/2 и набором команд)
Области применения
- Высококачественные оптические покрытия
Хактеристики
|
Тип |
XTC3/S |
XTC3/M |
|---|---|---|
|
Разрешение по частоте |
±0.028 Гц на 6 MГц |
±0.028 Гц на 6 MГц |
|
Диапазон частот измерения |
6.0 до 5.0 MГц (фиксированно) |
6.0 до 5.0 MГц (фиксированно) |
|
Интервал измерения |
0.25 секунды |
0.25 секунды |
|
Толщина и разрешающая способность по скорость / Измерение (1) |
±0.034 Å |
±0.034 Å |
|
Технология измерения |
ModeLock |
ModeLock |
|
Количество процессов |
1 |
99 |
|
Количество слоев |
1 |
999 |
|
Количество прогамм (или пленок) |
9 |
32 |
|
Количество входов датчиков |
2 |
2 |
|
Поддержка датчиков CrystalSix / Crystal 12 |
Да |
Да |
|
Поддержка коммутатора XTAL 2 |
Да |
Да |
|
Количество выходов источника |
2 |
2 |
|
Компьютерные коммуникации |
RS232 стандартно, Ethernet TCP/IP опционально |
RS232 стандартно, Ethernet TCP/IP опционально |
|
Макс. скорость передачи дагнных RS232 |
115.2 KBaud |
115.2 KBaud |
|
Автоматическое реле (кристалл) |
Да |
Да |
|
Количество реле |
12, Не назначается по событию |
12, Назначается по событию |
|
Количество программируемых функций реле |
1 |
1 |
|
Функции на реле |
1 |
1 |
|
Напряжение на реле |
30 В (DC) или 30 В (AC) (среднеквадратичное значение) или 42 В в пике при 2,5 А |
30 В (DC) или 30 В (AC) (среднеквадратичное значение) или 42 В в пике при 2,5 А |
|
Количество входов |
8 TTL, 24 В (DC) Макс |
8 TTL, 24 В (DC) Макс |
|
Количество программируемых функций ввода |
1, Не назначается по событию |
1, Назначается по событию |
|
Количество выходов для записывающего устройства |
1 |
1 |
|
Ручной контроллер питания / ручной контроллер |
Да |
Да |
|
Вытяжной вентилятор |
Нет |
Нет |
|
Режим тестирования |
Да |
Да |
|
Задержка затвора |
Да |
Да |
|
Вторичный инструмент |
Да |
Да |
|
Размеры корпуса |
пол стойки, высота 2U |
пол стойки, высота 2U |
|
Разрешение по скорости и толщине |
0.1 Å/с от 0.0 до 99.9 Å/с, |
0.1 Å/c от 0.0 до 99.9 Å/с, |
|
Выбор пленки через вход |
Да |
Нет |
|
Языки пользователя |
Английский, Китайский |
Английский, Китайский |
|
Цепи управления |
PID |
PID |
|
Программное обеспечение для работы с ПК |
Да |
Да |
|
Регистрация данных |
Да |
Да |
|
Функция качества и стабильности |
Да |
Да |
|
Образец и удержание (RateWatcher™) |
Да |
Да |
|
Выбор тигля |
Да |
Да |
|
Вход обратной связи тигля |
Да |
Да |
|
Выбор полярности управляющего напряжения |
Да, +/- 2.5, 5, 10 Вольт; 15-бит разрешение |
Да, +/- 2.5, 5, 10 Вольт; 15-бит разрешение |
|
Код блокировки программы |
Да |
Да |
|
Дисплей с графикой |
Да |
Да |
|
Процессы, помеченные пользователем (буквенно-цифровой ввод в стиле мобильного телефона) |
Нет |
Нет |
|
Маркированные пользователем пленки (буквенно-цифровой ввод в стиле мобильного телефона) |
Нет |
Нет |
|
Контроль датчика переноса |
Да |
Да |
|
Совместимость с XTC/2 RS232 |
Да (ограниченно) |
Да (ограниченно) |
Артикул
Аксессуары
|
Название |
Описание |
|---|---|
|
Одиночный датчик с загрузкой спереди |
|
|
Двойной датчик с загрузкой cпереди |
|
|
Одиночный датчик с охлаждаемым корпусом |
|
|
Двойной датчик с охлаждаемым корпусом |
|
|
Двойной сенсор Easy Rate |
|
|
Прогреваемый датчик сверхвысокого вакуума |
|
|
ALD (АСО) Сенсор |
|
|
Датчик распыления |
|
|
Датчик Crystal Six |
|
|
Одиночный сенсор Easy Rate |
|
|
Датчик Crystal 12 |
|
|
Поворотный датчик RSH-600 |
|
Каталожный номер |
Описание |
|---|---|
|
780-700-G1 |
Компьютерный коммуникационный модуль Ethernet |
|
755-262-G1 |
Портативный контроллер мощности (для ручного контроля мощности) |
|
780-702-G1 |
Комплект для монтажа в стойку для одного устройства - предоставляет все необходимые материалы для установки одного устройства XTC/3 в стандартную 19-дюймовую стойку. |
|
780-702-G2 |
Комплект для монтажа в стойку для двух устройств - предоставляет все необходимые материалы для монтажа двух устройств XTC/3 бок о бок в стандартной 19-дюймовой стойке. |
|
779-220-G1 |
Коммутатор CrystalTwo®, кабели BNC 15,2 см (6 дюймов) |
|
779-220-G2 |
Коммутатор CrystalTwo®, кабели BNC 50,8 см (20 дюймов) |
|
Комплект осцилляторов |
(Включая осцилятор и кабели) |
|
780-611-G15 |
XIU PKG с кабелем длиной 15 футов (4,6 м) — для использования с XTC/3 |
|
780-611-G30 |
XIU PKG с кабелем 30 футов (9,1 м) — для использования с XTC/3 |
|
780-611-G50 |
XIU PKG с кабелем 50 футов (15,2 м) — для использования с XTC/3 |
|
780-611-G100 |
XIU PKG с кабелем 100 футов (30,5 м) — для использования с XTC/3 |
|
780-612-G15 |
4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 15 футов (4,6 м) — Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) — Для использования с XTC/3 |
|
780-612-G30 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 30 футов (9,1 м) — Включает 4-метровый вакуумный кабель и кабель BNC (от XIU к коммутатору) 6 дюймов — Для использования с XTC/3 |
|
780-612-G50 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 50 футов (15,2 м) — Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) — Для использования с XTC/3 |
|
780-612-G100 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 100 футов (30,5 м) — Включает 4-метровый вакуумный кабель и 6-дюймовый кабель BNC (от XIU к коммутатору) — Для использования с XTC/3 |
|
780-613-G15 |
4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 15 футов (4,6 м) — Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) — Для использования с XTC/3 |
|
780-613-G30 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 30 футов (9,1 м) — Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) — Для использования с XTC/3 |
|
780-613-G50 |
4м XIU PKG с кабелем XIU длиной 50 футов (15,2 м) — Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) — Для использования с XTC/3 |
|
780-613-G100 |
4м XIU PKG с кабелем XIU 100 футов (30,5 м) — Включает 3,5-метровый вакуумный кабель и кабель 20 дюймов BNC (от XIU к коммутатору) — Для использования с XTC/3 |
|
Только осциллятор |
(Кабели в комплект не входят) |
|
780-600-G1 |
XIU (осциллятор) — Для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 15 до 183 см (от 6 до 72 дюймов) — Для использования с Cygnus 2, IC6 или XTC/3 |
|
780-600-G2 |
XIU (осциллятор) — для кабелей XIU и сенсорной головки, длиной от 3 до 4 м (от 118 до 157 дюймов) — для использования с Cygnus 2 или IC6 |
|
Кабели |
|
|
755-257-G6 |
Кабель BNC 15,2 см (6 дюймов), XIU для вакуумного ввода |
|
600-1261-P15 |
Кабель 4,6 м (15 футов), контроллер Cgynus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |
|
600-1261-P30 |
Кабель 9,1 м (30 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |
|
600-1261-P50 |
Кабель длиной 15,2 м (50 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |
|
600-1261-P100 |
Кабель 30,5 (100 футов), контроллер Cygnus 2, IC6 или XTC/3 к XIU |