Вакуумные откачные посты EBARA

Оборудование предназначено для вакуумирования замкнутых объемов из нержавеющей стали

• Турбомолекулярный насос EMT2200MK-BWB (EBARA Corp., Япония)
• Форвакуумный насос EV-S50P (EBARA Corp., Япония)
• Пневматический шиберный затвор HVA 21712-1003R
• Комплект вакуумный датчиков MTM9D
• Комплект вакуумный датчиков MTP4D
• АСУ на базе ПЛК Siemens
• Комплект для подключения (шланги, кабели, переходники);
• Воздушный безмасляный компрессор с обвязкой
• Чиллер для охлаждения.
• Транспортная тележка, на которой будет устанавливаться оборудование, входящее в состав поста.

Технические характеристики основного оборудования

• Входной фланец: ISO-B 250;
• Выходной фланец: ISO-KF40;
• Электропитание: 1 ф.,200…240 В, 50/60 Гц;
• Максимальный ток 5,3 А (при 170 В);
• Максимальное электропотребление: не более 0.9 кВА;
• Ток короткого замыкания 5000 А;
• Водяная охлаждающая система;
• Подшипниковая система – 5 координатная магнитная;
• Цифровой интерфейс Parallel I/o ver. 1
• Объемная скорость потока без защитной сетки, не менее:
  По азоту – 2200 л/с
  По водороду 1800 л/с
• Максимальная степень сжатия, не менее:
  По азоту –2х108 Па
  По водороду 3х103
• Предельное остаточное давление: не более 2х10-7 Па (3,8х10-9 Торр)
• Максимальный поток, не менее:
  По азоту – 8110 Па∙л/сек
  По аргону – 4970 Па∙л/сек
• Максимальное форвакуумное давление: не менее 0,75 Торр (100 Па);
• Максимальное продолжительное рабочее давления при откачке азота, не более – 220 Па (1,65 Торр);
• Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса не менее 2000 л/мин;
• Частота вращения 27000 об. В минуту
• Время выхода на рабочий режим/остановки, не более 10 мин/ 10 мин;
• Допустимая температура на фланце не более 120
• Максимальный уровень вибрации на фланце: не более 0.01 μm;
• Масса, не более 62 кг;
• Рабочее положение – любое;
• Скорость потока охлаждающей жидкости, 3÷5 л/мин
• Температура охлаждающей жидкости - 15÷30℃
• Максимальное давление рабочей жидкости, не более 0,6 МПа;
• Допустимая температура окружающей среды 10÷40℃
• Уровень загрязнения окружающей среды - 2
• Уровень шума не более 65 дБ
• Уровень защиты IP54
• Встроенный в корпус контроллер

• Тип насоса - Безмасляный насос.
• Конструкция типа многоступенчатый Рутс. Применение винтовых ступеней не допускается
• Применение: для откачки газообразных сред
• Исполнение: коррозионностойкое
• Подключение к системе удаленного сетевого мониторинга Ebara net
• Быстрота действия, м3/час Не менее 300
• Встроенный частотный регулятор вращения.
• Предельное остаточное давление, Па. Не более 0.5
• Давление охлаждающей жидкости МПа Не более 0,4
• Поток охлаждающей жидкости л/мин. В диапазоне 2 – 3
• Температура охлаждающей жидкости оС Не более 30
• Мощность установленного двигателя кВт. Не более 3.6
• Максимальный ток А. Не более 20
• Полная мощность кВА. Не более 4,8
• Потребляемая мощность при работе на давлениях, близких к предельному кВт. Не более 0.55
• Охлаждение Водяное. Применение воздушного охлаждения не допускается
• Наличие продувки рабочей полости азотом.
• Расход азота на продувку Па*м^3/c. Не более 20
• Расход азота в режиме нулевой продувки Па*м^3/c. Не более 2,4
• Количество смазочного масла л. Не более 0,1
• Марка масла для подшипников BARRIERTA J100ES, BARRIERTA J100
• Диаметр впускного фланца насоса тип ISO: мм Не более 50 мм
• Подключение управляющего сигнала RS-232C, D-sub 15 Pin + D-sub 25 Pin
• Диаметр выпускного фланца насоса: тип ISO мм. Не более 25 мм
• Уровень шума дБА. Не более 57
• Габаритные размеры, Длина х Ширина х Высота мм. Не более 472х230х570
• Масса кг не более 100
• Электрическое питание 1 фаза 230В переменного тока
• Контроллер с LCD-дисплеем на лицевой панели;
• Тумблер мотор-автомата электрической защиты на передней панели
• Интерфейс для удаленной работы на лицевой панели.
• Розетка для кабеля питания на лицевой панели;
• Глушитель на выпускном фланце;
• Колеса и регулируемые опоры с виброизолятором.
• Газобалласт

• Диапазон измерения давления, не хуже: 1000 – 1х10-4 мбар;
• Максимальное избыточное давление, не менее: 5 бар абсолютного давления;
• Предел основной допустимой погрешности:
• - в диапазоне 1000 - 20 мбар, не более 30%;
• - в диапазоне 20 – 2х10-3 мбар, не более 10%;
• - в диапазоне <2х10-3 мбар, не более 30%.
• Предел погрешности относительно повторных измерений:
• в диапазоне 20 – 1х10-3 мбар, не более 2%
• Время отклика, не более: 100 мс;
• Габаритные размеры электронного вакуумметра:
  - длина – 139 (±1) мм;
  - ширина – 69 (±1) мм;
  - высота – 48 (±1) мм.
  
• Максимальная потребляемая мощность, не более: 2,5 Вт
• Напряжение питания: 24 В (постоянный ток).
• Максимальная температура прогрева, не менее: 125 ºС на фланце (с отсоединенной электроникой);
• Выходной сигнал в диапазоне: 0 … 10 В (постоянный ток);
• Интерфейс: RS485
• Реле переключения: 2 реле, 50 VAC/ 2A, 30 VDC/ 2A, макс. 60 VA
• Фланец подключения: ISO KF16 или KF 25;
• Степень защиты: не хуже IP 40;
• Масса: 200 (±10) г.
• Материал корпуса: нержавеющая сталь.
• Возможность снятия показаний с вакуумметра через беспроводной Bluetooth-адаптер.
• Вакуумметр должен быть внесен в реестр СИ РФ.

• Диапазон измерений, не хуже: 1000 – 5х10^ (10–9) мбар;
• Максимальное избыточное давление, не менее: 5 бар абс.;
• Предел основной допустимой погрешности в диапазоне:
  1000 - 10 мбар, не более 30%;
  0 – 2х10^(-3) мбар, не более 10%;
  2x10^-3 - 1х10^(-8) мбар, не более 25%;
  1х10^(-8) мбар, не более 30%.
• Предел погрешности относительно повторных измерений в диапазоне:
  10 – 1х10^-2 мбар, не более 2%
  1х10^-2 – 1х10^-8 мбар, не более 7%
• Время отклика, не более: 100 мс;
• Давление переключения между форвакуумным датчиком и высоковакуумным, не более: 10-3 мбар.
• Напряжение на катоде, не более: 2,5 кВ;
• Максимальная потребляемая мощность, не более: 3 Вт
• Напряжение питания 20-30 VDC
• Разъем питания: SubD 15, «папа».
• Диапазон рабочей температуры, в пределах: 5 .. 60 ºС;
• Максимальная температура прогрева, не менее: 160 ºС на фланце (с отсоединенной электроникой);
• Выходной сигнал в диапазоне: 0 - 10VDC;
• Интерфейс: RS485, в диапазоне от 9,6 кБод до 115 кБод:
• Реле переключения: 2 реле, 50 VAC/ 2A, 30 VDC/ 2A, макс. 60 VA
• Фланец подключения: ISO KF25-KF40;
• Степень защиты, не хуже: IP40- IP40;
• Масса, не более: 500 г.
• Материал корпуса: нержавеющая сталь.
• Возможность снятия показаний с вакуумметра через беспроводной Bluetooth-адаптер.
• Вакуумметр должен быть внесен в Госреестр СИ РФ. Свидетельство об утверждении типов СИ должно быть заверено ГНМЦ МО РФ.

Технические характеристики:

• - Проходной диаметр 250 мм
• - Материал затвора: AISI 304 нержавеющая сталь;
• - Материал корпуса: AISI 304 нержавеющая сталь;
• - Сварное сильфонное уплотнение вала - AM-350
• - Пневматический привод
• - Электромагнитный клапан 220 В
• - Датчик положения: герметизированный магнитоуправляемый контакт
• - Уплотняющий материал – Витон
• - Уровень негерметичности по гелию: не более 2*10-9 торр * л/сек
• - Минимальное давление не хуже 10-9 мБар
• - Максимальный перепад давления в закрытом положении – 1 Бар
• - Максимальный перепад давления перед открытом ≤ 30 mbar
• - Максимальная температура корпуса клапана в открытом положении - 200°C
• - Максимальная температура корпуса клапана в закрытом положении - 150°C
• - Максимальная температура крышки (Эластомер) - 150°C
• - Максимальная температура привода 60°C
• - Рабочее давление воздуха не ниже 80 psi
• - Время открытия/закрытия не более 5 сек.
• - Ориентация при установке: любая;
• - Количество циклов срабатывания: не менее 1000 000;
• - Присоединительные фланцы: ISO-F250:
• - Пропускная способность: не менее 12 000 л/с
• - Вес не более 75 кг
• Габаритные размеры:
  Высота корпуса не более: 1220 мм
  Длина корпуса не более: 540 мм
  Ширина корпуса не более 310 мм

• Электропитание: 230В
• Уровень шума не более: 59 дБ
• Производительность не менее: 105 л/мин
• Объем ресивера, не менее: 5 литров
• Максимальное давление, не менее: 6–8 Бар
• Воздушное соединение: Внутренняя резьба G1/4
• Масса не более: 20 кг
• Габаритные размеры ДхШхВ, не более: 400х400х400 мм

• Тележка предназначается для размещения на ней оборудования входящего в состав вакуумного откачного поста, кроме чиллера охлаждения.
• Габариты и конструкция подлежит согласованию.
• Материал: конструкционная сталь
• Покрытие: порошковая покраска
• Тележка оснащена поворотными колёсами со стопорным механизмом.

Система управления выполнена на базе программируемого логического контроллера сенсорным экраном 7. Функционал распределение электричества на всё входящее в состав установки электрооборудование. Пуск и останов насосов в соответствии с прописанными технологическими алгоритмами. Возможность перехода на ручное управление. Отражать информацию о состоянии входящего оборудования на мнемосхеме. Наличие световой сигнализация аварий ТМН. Наличие защиты от включения ТМН, если не достигнуто определенное давление. Наличие вывода показаний датчиков давления на экран. Наличие защиты установки при падении давления в пневмосистеме.