- Главная
- Производители
- EBARA
- Вакуумные насосы EBARA
- Винтовые насосы EBARA
- Насосы EBARA серии ESR
Насосы EBARA серии ESR
Описание Насосы серии ESR прекрасно подходят для многих применений от откачки шлюзовых камер и электронной микроскопии до химического осаждения CVD и...
Насосы EBARA серии ESR
Описание
Насосы серии ESR прекрасно подходят для многих применений от откачки шлюзовых камер и электронной микроскопии до химического осаждения CVD и откачки химически-активных газов. При этом являются одними из самых энергоэффективных сухих насосов на современном рынке вакуумного оборудования. Подходят для работы в чистых помещениях. Роторы насосов сделаны из специальных коррозионностойких. Насосы данной серии предназначены для применения в процессах высокотемпературной обработки, осаждения тонких плёнок, ионно-плазменного травления, а также откачки вакуумных камер большого объёма Для применения в «чистых» технологических процессах продувка азотом не требуется. Отличительной чертой данной серии является очень высокая химическая стойкость.
Технические характеристики
| Характеристики моделей | ESR20N | ESR30N | ESR80WN | ESR100WN | ESR200WN | ESR300WN | ESR500WN |
| Быстрота действия, м3/ч | 78-120 | 180 | 240-510 | 600 | 600-1200 | 1800 | 2760 |
| Предельное остаточное давление, Па | 0,67 | 0,67 | 0,2 | 0,2 | 0,13 | 0,2 | 0,2 |
| Потребляемая мощность (макс/ при pост), кВт | 2,5/0,55 | 3,5/1,7 | 4,5/0,8 | 4,5/1,0 | 5,0/0,8 | 7,5/2,9 | 7,9/3,1 |
| Размер фланцев (вход/выход) | NW40/NW40 | NW50/NW40 | NW50/NW40 | ISO100/NW40 | ISO100/NW40 | NW100/NW40 | NW100/NW40 |
| Водяное охлаждение, л/мин | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 3,5 | 3,5-8 |
| Расход азота на продувку, л/мин | 2-12 | 2-12 | 2-12 | 2-12 | 2-12 | 2-12 | 2-12 |
| Габаритные размеры, мм | 635х280х320 | 760х400х458 | 660х380х655 | 704х380х705 | 790х380х644 | 825х460х880 | 1092х460х955 |
| Масса, кг | 90 | 190 | 180 | 180 | 250 | 390 | 500 |
Скачать каталог
Товары серии ESR
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 716.4
- Избыточное давление, мбар: 1000
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 37
- Уровень шума, дБ(А): 110
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 1668.6
- Избыточное давление, мбар: 1000
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 75
- Уровень шума, дБ(А): 110
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 493.2
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 18.5
- Уровень шума, дБ(А): 110
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 126
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 5.5
- Уровень шума, дБ(А): 110
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 306.6
- Избыточное давление, мбар: 1000
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 18.5
- Уровень шума, дБ(А): 110
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 186
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 7.5
- Уровень шума, дБ(А): 110
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 2463
- Избыточное давление, мбар: 600
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 75
- Уровень шума, дБ(А): 110
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 3559.2
- Избыточное давление, мбар: 1000
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 160
- Уровень шума, дБ(А): 110
