- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы
- Турбомолекулярные насосы EBARA
- Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT
На этой странице вы можете выбрать турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT для создания высокого вакуума в технологических и исследовательских установках.
Оборудование применяется в полупроводниковом производстве, вакуумном напылении, аналитических приборах, лабораторных камерах и чистых процессах.
Серия EBT обеспечивает безмасляную откачку, высокую скорость работы и стабильность давления. Насосы подходят для систем, где критичны чистота рабочей среды, надежность и совместимость с автоматизированным управлением.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT для создания высокого вакуума в технологических и исследовательских установках.
Оборудование применяется в полупроводниковом производстве, вакуумном напылении, аналитических приборах, лабораторных камерах и чистых процессах.
Серия EBT обеспечивает безмасляную откачку, высокую скорость работы и стабильность давления. Насосы подходят для систем, где критичны чистота рабочей среды, надежность и совместимость с автоматизированным управлением.
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁸
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT
Являемся эксклюзивным дилером продукции EBARA на территории России и стран СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию EBARA с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания. Изготовление оборудования происходит в Японии, которая славится своей культурой производства.
Серия EBT представлена турбомолекулярными насосами с керамическими подшипниками с консистентной смазкой.
Эти насосы обеспечивают высокую скорость откачки и могут быть использованы в условиях частого напуска атмосферы (шлюзовые камеры). В конструкции применена интегрированная молекулярная ступень.
Особенности и преимущества
- Любая ориентация при установке
- Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа
- Непревзойденная надежность
- Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы
- Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам
- Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры
- Низкое энергопотребление
- Опционально коррозионностойкое исполнение
- Водяное или воздушное охлаждение
- Компактные размеры
- Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов
Области применения
- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленность
- Плазмохимическое травление
- Производство оптических элементов
- Вакуумные печи
- Производство композитных материалов
- Научно-исследовательские установки
О компании EBARA
Компания EBARA Technologies Inc. является признанным мировым лидером по производству вакуумного оборудования для различных областей науки и техники. В линейке компании представлены турбомолекулярные насосы, сухие форвакуумные насосы, скрубберы для утилизации вредных газов в производстве, оборудование для микроэлектроники и оптической промышленности.
Скачать каталог
