Автоматические зондовые станции SEMISHARE серии A

Автоматические зондовые станции SEMISHARE серии A

Зондовая станция серии A производства SEMISHARE — это полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для тестирования 6-, 8- и 12-дюймовых пластин. Диапазон рабочих температур для таких станций варьируется от -45 до +200°C (опционально доступен расширенный диапазон от -55°C/-60°C до +300°C) и поддерживает определение характеристик пластин с диапазоном измерения до 3 кВ (трехосный интерфейс) /10 кВ (коаксиальный интерфейс) по высокому напряжению и до 500 А по току.

Станция может быть укомплектована манипулятором типа «Бернулли» для бережной транспортировки сверхтонких пластин или пластин, обработанных по технологии «Тайко» (с кольцевым торцом). Оборудование отличается простотой управления при высоком уровне механической стабильности.

Особенности

• Интеграция собственного модуля предварительного выравнивания позволяет осуществлять автоматическую загрузку и выгрузку пластин без повреждений, обеспечивая круглосуточное непрерывное тестирование.
• Максимальная скорость перемещения по осям XY достигает 250 мм/с.
• Автоматизирования система перемещения подложки с микронной точностью
• Оптическая система позиционирования с использованием новейших программных алгоритмов обработки изображений для обеспечения точного автоматического контакта зондов.
• Манипулятор может работать с различными типами пластин: сверхтонкие /деформированные /Тайко и т.п.
• Интегрированная шарнирная конструкция для работы с любыми измерительными приборами.
• Компактный и легкий дизайн, низкий уровень вибраций и шума (модель A8).
• Конструкция подвижной платформы держателя с низким центром тяжести для более стабильной работы.

Основные функции

• Трехосный держатель образца для измерений токов утечки на уровне пикоампер (пA).
• Поддержка манипулятора Бернулли для бережной работы с ультратонкими пластинами.
• Система автоматической замены пробных карт.
• Изолированное пространство в загрузчике с контролируемой чистотой (класс чистоты ISO 3-5), обеспечивающее защиту от частиц пыли, которые могут повредить микроструктуры.
• Система автоматического считывания идентификаторов с контейнеров (FOUP) и самих пластин с помощью радиочастотных меток (RFID) или штрих-кодов обеспечивает точное отслеживание материалов.
• Функция построения и отображения в реальном времени карты измеряемых параметров по всей пластине.
• Автоматический подвод зондов.
• Оптическое распознавание символов для считывания серийных номеров, нанесенных лазером на торец пластины. Резервная или основная система идентификации.
• Автоматический контроль меток от зондов: система автоматически проверяет размер, глубину и расположение меток, оставленных зондами на контактных площадках, что гарантирует качество контакта и предотвращает повреждение пластин.
• Просмотр журналов работы станции. ПО, позволяющее удаленно управлять станцией, мониторить ее статус и выполнять диагностику через сетевое соединение.
• Система удаленного управления.
• Редактор устройств (DUT) и рецептов (Recipe) для настройки тестов: • DUT Editor: инструмент для настройки параметров тестируемого устройства — определение контактов, пределов измерений. • Recipe Editor: программа для создания и управления технологическими рецептами — последовательностей операций тестирования для разных продуктов.