- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Безмасляные вакуумные насосы
- Сухие вакуумные насосы ERSTVAK
Сухие вакуумные насосы ERSTVAK
На этой странице вы можете выбрать сухие вакуумные насосы ERSTVAK — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает сухие вакуумные насосы ERSTVAK для чистых, промышленных и технологически сложных вакуумных процессов. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.
EV-HClaw – когтевые сухие насосы для экстремальных условий эксплуатации. Серия устойчива к загрязнениям и коррозионным факторам, экономно расходует охлаждающую воду и применяется в процессах CVD, ALD и других вакуумных технологиях.
EV-LR – сухие насосы рутсового типа с высокой скоростью откачки и низким энергопотреблением. Они подходят для шлюзовых камер, PVD, электронно-лучевой литографии и процессов, где важны компактность и стабильный вакуум.
EV-MR – сухие вакуумные насосы для процессов травления оксидов, кремния и металлов. Серия рассчитана на технологические установки, где требуется надежная откачка агрессивных сред и устойчивость к высоким нагрузкам.
EV-SL – сухие насосы для высокочистых вакуумных процессов. Низкий уровень шума, бесперебойная работа и предельный вакуум до 0,005 мбар делают серию подходящей для фотолитографии, биомедицины и фармацевтики.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает сухие вакуумные насосы ERSTVAK для чистых, промышленных и технологически сложных вакуумных процессов. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.
EV-HClaw – когтевые сухие насосы для экстремальных условий эксплуатации. Серия устойчива к загрязнениям и коррозионным факторам, экономно расходует охлаждающую воду и применяется в процессах CVD, ALD и других вакуумных технологиях.
EV-LR – сухие насосы рутсового типа с высокой скоростью откачки и низким энергопотреблением. Они подходят для шлюзовых камер, PVD, электронно-лучевой литографии и процессов, где важны компактность и стабильный вакуум.
EV-MR – сухие вакуумные насосы для процессов травления оксидов, кремния и металлов. Серия рассчитана на технологические установки, где требуется надежная откачка агрессивных сред и устойчивость к высоким нагрузкам.
EV-SL – сухие насосы для высокочистых вакуумных процессов. Низкий уровень шума, бесперебойная работа и предельный вакуум до 0,005 мбар делают серию подходящей для фотолитографии, биомедицины и фармацевтики.
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 220
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 7.5
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 510
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 11
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 680
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 12
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 1250
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 12
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 1850
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 12
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 3300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 18.5
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 4480
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 18.5
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 5500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 18.5
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 1800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 12
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 1800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 12
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 3300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 18.5
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 4480
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 18.5
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 5500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 18.5
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 210
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 1.9
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 610
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 3.8
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 1050
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 3.8
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 110
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.03
- Мощность, кВт: 2.2
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.01
- Мощность, кВт: 15
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 2300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 7 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 26
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 3380
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 7 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 26
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 3500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 26
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 4500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 8 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 30
