- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы
- Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT1400F-CWB
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT1400F-CWB
product-card
Насосы серии EBT представляют собой турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Данная серия является высокоэффективным и бюджетным решением для создания высокого и сверхвысокого вакуума.
Все модели насосов EBT имеют прочную и надежную механическую конструкцию керамического подшипника, не загрязняя откачиваемую среду, обеспечивают безотказную работу для создания вакуума в производстве полупроводников, фотогальванических элементов и нанесении тонких пленок.
Насосы серии EBT могут быть установлены в любом положении в пространстве и идеальны для мобильных применений. Данные насосы обладают высокими скоростями откачки и высоким коэффициентом сжатия по легким газам, что делает их идеальными для использования в системах сверхвысокого вакуума и аналитического оборудования.
Особенности и преимущества
- стойкость к прорыву атмосферы;
- монтаж в любом положении в пространстве;
- компактность;
- низкий уровень вибрации;
- водяное или воздушное охлаждение;
- способность выдерживать большие газовые нагрузки без потери производительности;
- продувка газом для уменьшения вероятности загрязнения насоса;
- защитный экран входит в комплект поставки;
- коммуникационная связь через последовательные порты RS-232, RS-485 и др.
Применение
- установки удаления верхнего слоя с поверхности детали (травление);
- установки имитации космического пространства;
- передвижные вакуумные посты и течеискатели;
- установки для осаждения распылением;
- ионные источники и электронно-лучевые испарители;
- газовая эпитаксия;
- газовая хроматография;
- производство полупроводников и микроэлектроники;
- биотехнологии.
- Тип
- Турбомолекулярные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1 × 10⁻⁸
- Входной патрубок
- CF200
- Выходной патрубок
- CF200
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Воздушное
- Масса, кг
- 30
- Производитель
- Ebara
- Серия
- EBT
- Страна
- Япония
- Длина, мм
- 280
- Высота, мм
- 319
- Ширина, мм
- 272
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 280×272×319
- Время выхода на режим, мин
- 5.5
Товары из этой же серии
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 1.512
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4.788
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
Не забудьте купить
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: VCS
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Производительность, м³/ч: 400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5
- Масса, кг: 582
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: E-VAK
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Водокольцевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Скорость откачки, м³/ч: 165
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 33
- Мощность, кВт: 4
- Частота вращения, об/мин: 1440
В корзину
1
- Мощность, кВт: 0.75
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LAGUNA EC
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 895 × 360 × 477
В корзину
1
- Производитель: King Lai
- Серия: SWG
- Страна: Китай
В корзину
1
- Мощность, кВт: 2.2
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LAGUNA ECHP
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 2820
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.01
- Мощность, кВт: 5.1
В корзину
1
- Производитель: RigorPower
- Серия: RG
- Страна: Индия
В корзину
1
- Масса, кг: 3000
- Производитель: CME
- Серия: KRD17
- Длина, мм: 1250
- Страна: Китай
- Высота, мм: 1600
В корзину
1
- Мощность, кВт: 1.1
- Масса, кг: 16
- Серия: АИР
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 310x214x176
- Высота оси ротора, мм: 80
В корзину
1
Вы смотрели
- Тип: Пластинчато-роторные
- Производительность, м³/ч: 40.2
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): -600
- Частота вращения, об/мин: 1420
- Мощность электродвигателя, кВт: 1.85
В корзину
1
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 21600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Охлаждение: Водяное
В корзину
1
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Масса, кг: 300
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-PLASMA-L
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 29.988
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Серия: EMVG
- Страна: Китай
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 7400 × 3800 × 4500
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: PSV
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Количество ступеней: Многоступенчатый
В корзину
1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: EV-6
- Страна: Российская Федерация
В корзину
1
- Тип: Криогенные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 14400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Охлаждение: Водяное
В корзину
1
