Зондовая станция с функциями нагрева и охаждения SEMISHARE C6

Производитель

SEMISHARE CO., LTD.

Минимальная рабочая температура, °C

-100

Максимальная рабочая температура, °C

300

Размер стола держателя образца, мм

152.4

Диаметр пластины, мм

150

Тип держателя образца (опционально)

Высоковольтный держатель для высоких и низких температур

Функция проверки заднего электрода держателя образца (при нормальных условиях)

Да, держатель образца электрически изолирован

Перемещение по X-Y платформы держателя образца, мм

150 × 150

Точность перемещения платформы держателя образца, мкм

1

Минимальный шаг позиционирования, мкм

0.5

Угол поворота платформы для держателя образца (грубая регулировка), ±град

360

Максимальное количество устанавливаемых зондов

8

Микроскоп

Опционально: стереоскопический, видео микроскоп, металлографический микроскоп с большим рабочим расстоянием GX-6

Минимальное увеличение микроскопа, раз

16

Максимальное увеличение микроскопа, раз

100

Камера микроскопа (опционально), Мп

5 (цифр.)

Ход перемещения координатного столика микроскопа (XY), мм

50.8

Ход зонда по осям X-Y-Z, мм

8 × 8 × 8

Точность контроля температуры, °C

0.01

Повторяемость держателя образца по XY, ±мкм

1.5

Длина, мм

860

Ширина, мм

850

Высота, мм

700