Предназначение вакуумного откачного поста
Данная установка предназначена для создания вакуума в печи роста монокристаллов (LiCaAlF6, LiIF6 и CaF2).
Для обеспечения надёжной работы с коррозионно-активными продуктами химического процесса в камере пост оснащён специальными ловушками, а в вакуумных насосах используется особое химически стойкое масло.
Технические характеристики вакуумного откачного поста
Рабочее давление в камере, не более |
1,3х10-4 мбар |
Предельное остаточное давление, не более |
1х10-5 мбар |
Время достижения предельного вакуума, не более |
40 мин |
Мощность |
3 кВт |
Габаритные размеры (ДхШхВ) |
750х800х1125 мм |
Масса |
100 кг |
Особенности откачного поста
- Двухступенчатый пластинчато-роторный насос в специальном химически стойком исполнении.
- Компактная передвижная рамная конструкция.
- Высоконадёжная вакуумная арматура с пневматическим приводом для обеспечения минимального времени открытия/закрытия клапанов и затворов.
- Пост является полностью автономным (требуется только подвод электроэнергии) благодаря наличию системы воздушного охлаждения и системы подачи сжатого воздуха на элементы арматуры с пневматическим приводом.
- Высокая степень защиты от коррозии и химически активных веществ.
- Автоматическая система управления выполняет следующие функции.
- Ввод и распределение питания на указанное оборудование.
- Управление средствами форвакуумной и высоковакуумной откачки.
- Подключение датчиков давления по RS485, питание датчиков 24V.
- Управление электропневматическими клапанами и затворами.
- Световая и звуковая сигнализация аварий.
Более подробную информацию о проекте, а также этапах разработки и производства откачного поста запрашивайте у инженеров компании.
