В состав установки входит камера печи с двойными стенками для охлаждения, вакуумная система, система контроля и управления процессом и система водоохлаждения с замкнутым контуром.
С целью ускорения процесса охлаждения садки печь оснащена системой ускоренного охлаждения на базе центробежного вентилятора и теплообменника
Технические характеристики печи (вертикальная, элеваторная)
- Максимальная температура: 1350°С
- Материал нагревателей: углерод-углеродный композиционный материал
- Предельное остаточное давление (после дегазации): 1×10-5 мм. рт. ст.
- Размеры рабочего пространства: диаметр – 400 мм, высота – 600 мм
- Равномерность температурного поля в объеме рабочего пространства (после установления теплового равновесия в диапазоне температур от 800 до 1300 °С): ± 5°С
- Максимальная масса садки: 200 кг
- Рабочий газ: аргон/азот/гелий
- Давление газа: до 1,5 бар
