Насосы EBARA серии ESA

Описание Вакуумные насосы серии ESA идеально подходят для откачки камер больших объемов в таких областях, как производство LCD дисплеев, PV батарей, C...

Получить консультацию по Насосы EBARA серии ESA

Оставьте контактный номер и с вами свяжется наш инженер Нажимая кнопку, я соглашаюсь с условиями Политики обработки данных

Описание серии

Описание

Вакуумные насосы серии ESA идеально подходят для откачки камер больших объемов в таких областях, как производство LCD дисплеев, PV батарей, CVD, PVD, SEM и MEMS технологий.

Основной насос дополнен двухроторным насосом РУТС для повышения скорости откачки. На насосах установлена интеллектуальная система управления вращением роторов, что позволяет регулировать скорость откачки и повысить энергоэффективность работы насоса.

Особенности и преимущества

Высокая скорость откачки в широком диапазоне давлений.
Использование эффективных двигателей постоянного тока.
Возможность работы насоса при высоких температурах.
Низкое потребление электроэнергии, азота, охлаждающей воды.

Технические характеристики

Характеристики моделей		ESA25D	ESA70WD	ESA200W	ESA300W	ESA500W
Быстрота действия, м³/ч		150	420	1200	1800	3000
Предельное остаточное давление, Па		2	0,27	0,53	0,53	1
Потребляемая мощность (макс/ при p_ост), кВт		3,7/2,6	5,9/3,6	7,5/3,4	12,5/7,3	24,1/6,7
Размер фланцев (вход/выход)		KF50/KF50	KF50/KF50	ISO100/NW40	ISO100/NW40	ISO100/NW50
Расход азота на продувку, л/мин		11-13	14-16	10	5	6
Габаритные размеры, мм	Длина	1074	985	920	1100
	Ширина	394	400	400	620
	Высота	520	770	760	905
Масса, кг		240	300	410	700	750