Успеть или "как получится"?

Оборудование

Криогенные насосы SHI

Получить
Картинка Криогенные насосы
Фильтры
По серии
По типу

Криогенные насосы

Вакуумный насос SHI Marathon CP-16 ISO 400 мм

Тип: Криогенный
Производитель: SHI Cryogenics Group
Производительность по водороду, л/с: 12000
Производительность по воздуху, л/с: 4800
Заказать

Вакуумный насос SHI Marathon CP-8 CF200

Тип: Криогенный
Производитель: SHI Cryogenics Group
Производительность по водороду, л/с: 2300
Производительность по воздуху, л/с: 1500
Заказать

Вакуумный насос SHI Marathon CP-20 ISO 500 мм

Тип: Криогенный
Производитель: SHI Cryogenics Group
Производительность по водороду, л/с: 14000
Производительность по воздуху, л/с: 9700
Заказать

Вакуумный насос SHI Marathon CP-8 Basic ISO 200мм

Тип: Криогенный
Производитель: SHI Cryogenics Group
Производительность по водороду, л/с: 2300
Производительность по воздуху, л/с: 1500
Заказать

Наше объединение ООО «ЭРСТВАК» в качестве официального дилера компании SHI Cryogenics специализируется на поставках криогенного вакуумного оборудования промышленным предприятиям в страны СНГ и Россию.

Мы являемся официальным дилером известного холдинга SHI Cryogenics, одного из мировых лидирующих производителей вакуумного оборудования, использующего собственные инновационные разработки по криогенным технологиям охлаждения для различных промышленных установок и научных целей.

Предлагаем ознакомиться с подробным каталогом продукции компании SHI Cryogenics, изданном на русском языке. Вы можете заказать у нас бумажный экземпляр. Мы отправим его экспресс-почтой с бесплатной доставкой для получателя.

Компания SHI Cryogenics производит насосы серий Marathon CP восьми моделей, в которых отдельным рядом представлены две разновидности изделий серии SICERA.

Для подключения к вакуумным установкам насосы снабжены фланцами с диаметрами от 200 до 500 мм и типоразмерами:

  • ISO.
  • ANSI.
  • CF.

Криогенные насосы SHI Cryogenics

Компания SHI предлагает эксклюзивные решения для откачек больших объемов ксенона на основе встраиваемых конструкций криогенных насосов повышенной производительности. Благодаря примененной системы охлаждения, питающейся от одноступенчатой мощной криомашины, они создают быстродействие откачки до 100000 л/с и выше.

Такие изделия снабжены распространенным фланцем DN200, что позволяет устанавливать их на любую вакуумную конструкцию. Но, для их работы необходимо смонтировать внутри вакуумной камеры сорбирующую пластину.

2 главных преимущества крионасосов SHI

  • Пониженная стоимость изделия на единицу быстродействия по сравнению со всеми аналогами других производителей.
  • Возможность регенерации ксенона, позволяющая проводить длительные эксперименты для научных изысканий.

В проекте на вакуумную систему вы можете заказать любой вид управления:

  • Ручной.
  • Полностью автоматический.

Криосорбционные насосы серии Marathon CP

Они специально сконструированы для универсального использования в высоковакуумных установках при эксплуатации в массовых промышленных производствах или маленьких научных лабораториях.

Криосорбционные насосы серии Marathon CP

Благодаря своей высокой эффективности и надежности в сочетании с минимальными эксплуатационными затратами они широко применяются в производстве:

  1. Полупроводниковых приборов.
  2. Солнечных батарей.
  3. Плоских дисплеев.
  4. Напылительного оборудования.
  5. Испытательных установок.

Во всех этих производственных сферах крионасосы Marathon CP пользуются популярностью благодаря:

  1. Простоте обслуживания.
  2. Отсутствию необходимости разрыва вакуума.
  3. Выполнению откачек без демонтажа насосов с вакуумных камер.
  4. Бесперебойной работе.
  5. Максимальной продуктивности.
  6. Пониженной эксплуатационной стоимости.

Насосы серии SICERA™ Cryopump

Эти модели с мощностью 0,9 кВт отличаются экономным потреблением электроэнергии. Они работают по инверторной технологии, запатентованной компанией и снижают затраты до 30%.

Разработанная в SHI конструктивная система разрешает на одном компрессоре эксплуатировать до шести насосов без снижения общей производительности вакуумной установки.

Эта серия насосов выпускается с размерами фланцев 300 или 200 мм и обладают полностью автоматическим циклом регенерации, который максимально оптимизирует продолжительность продуктивной работы. Благодаря этому:

  1. Экономится электроэнергия.
  2. Увеличивается производственная эффективность.

Насосы SICERA идеально подходят для производства плоскопанельных дисплеев, полупроводниковых пластин и подобной продукции.

Полностью подготовленные к работе установки системы SICERA содержат в своем комплекте компрессор и мобильный контроллер. Такая конструкция полностью отлажена, прошла всесторонние испытания по эксплуатационным требованиям для самых сложных условий вакуумных технологий. Один микроконтроллер способен управлять десятью крионасосами и двумя компрессорами собственной системы.

При этом обеспечивается постоянный контроль режимов криокуллера и компрессора, что придает системе SICERA:

  1. Экономию потребления электроэнергии.
  2. Большую стабильность температурных режимов.
  3. Высокий уровень создаваемого вакуума.

Контроллер Marathon® Cryopump

Контроллеры MCC позволяют автоматизировать работу насосов Marathon на основе применения хост-компьютера со стандартизованным в промышленности протоколом. Причем к нему поставляется дополнительное программное обеспечение, позволяющее использовать обычный персональный компьютер под управлением операционной системой Windows.

Контроллер Marathon® Cryopump

Совместная работа крионасосов Marathon под руководством контроллеров MCC обеспечивает:

  1. Значительно сокращение периодов простоя оборудования между технологическими циклами.
  2. Улучшение продолжительности производственного процесса.
  3. Повышения общей эффективности откачки.

Технические характеристики

Таблица 1. Технические характеристики насосов серии Marathon CP.

Модель CP-8 CP-8LP CP-250LP CP-12 CP-16 CP-20 SICERA 8" SICERA 12"
Входной фланец ANSI 6" 6" - 10" - 20" - -
ISO 200 мм 200 мм 250 мм 320 мм 400 мм 500 мм - -
Conflat 10" 10" - - - - 253 -
CVC - - - 10" 10" - - -
Скорости откачки, л/сек Вода 4200 4200 6300 9560 17300 29100 4000 9500
Водород 2300 3000 5000 7300 12000 14000 2200 6000
Воздух 1500 1800 3060 3600 4800 9700 1500 3300
Аргон 1250 1500 2500 3100 4100 8300 1200 2700
Пропускная способность Аргон (тор-л/сек) 11.0 11.0 11.0 12.6 11.4 11.3 8.9 8.9
Аргон(см3/ мин) 870 870 870 1000 900 900 700 700
Емкость(стан-дартные литры) Водород при 5x10-6 торp 25 25 25 50 50 33 12 30
Аргон при 1x10-6 торp 1200 1600 1600 3100 5500 6000 1000 2000
Параметр включения в работу, Торр-литры - 220 220 220 650 500 400 150 150
Время захолаживания, мин - 75 110 110 90 135 190 120 150

Таблица 2 подбора компрессора для криогенного насоса.

  CP-8 CP-8LP CP-250LP CP-12 CP-16 CP-20 SICERA 8"/12"
CSBT-61D             +
F-70 + + + + + +  
HC-4E1 + + +        
HC-8E4 + + + + +    

Оформить заказ

Для оформления заказа заполните форму и наш инженер свяжется с вами в ближайшее время!
Введите символы с картинки*
WhatsApp