- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Бустерные вакуумные насосы Рутса
- Бустерные насосы Рутса EBARA
- Бустерные насосы Рутса EBARA серии EV-A
Бустерные насосы Рутса EBARA серии EV-A
На этой странице вы можете выбрать бустерные насосы Рутса EBARA серии EV-A — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает бустерные насосы Рутса EBARA серии EV-A для увеличения скорости откачки вакуумных систем. Насосы работают в связке с форвакуумным оборудованием и применяются в полупроводниковом производстве, вакуумных печах, напылении, сушке, дегазации и технологических камерах.
Серия EV-A помогает быстро проходить переходные режимы, поддерживать производительность на средних давлениях и повышать общую эффективность вакуумного комплекса.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает бустерные насосы Рутса EBARA серии EV-A для увеличения скорости откачки вакуумных систем. Насосы работают в связке с форвакуумным оборудованием и применяются в полупроводниковом производстве, вакуумных печах, напылении, сушке, дегазации и технологических камерах.
Серия EV-A помогает быстро проходить переходные режимы, поддерживать производительность на средних давлениях и повышать общую эффективность вакуумного комплекса.
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 15
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 0.35
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 36
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 0.55
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 36
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 0.55
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 15
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 0.35
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 60
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 1.1
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 60
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.02
- Мощность, кВт: 1.1
Бустерные насосы Рутса EBARA серии EV-A
Серия EV-A представлена сухими вакуумными насосами с воздушным охлаждением. Многоступенчатая конструкция разработана для откачки больших потоков газа. Отличительной особенностью данной серии является высокая производительность при атмосферном давлении. Типичные сферы применения серии EV-A: аналитические исследования, электронная микроскопия, PVD-технологии, криостаты больших объемов, физическое и химическое осаждение тонких пленок, масс-спектрометрия.
Особенности и преимущества
- Получение полностью безмасляного вакуума в откачиваемом объеме
- Максимальная скорость откачки водяного пара среди всех насосов с воздушным охлаждением — до 500 г/час
- Идеальны для откачки больших потоков газа при повышенном давлении
- Компактность и низкий уровень шума — идеальны для лабораторного применения
- Дополнительно оснащаются глушителями шума
- Газобалластный клапан
Комплектация
Насосы данной серии могут поставляться с различными аксессуарами:
- газобалластный клапан
- пульт управления
- глушитель
Применение
Серия насосов EV-A подойдет для замены масляных насосов, в т. ч. пластинчато-роторных за счет широкого диапазона скоростей откачки и низкого предельного остаточного давления.
Основные области применения:
- Электронная микроскопия
- Загрузочные шлюзы и транспортные камеры
- Физическое осаждение тонких пленок
- Жидкостная хромато-масс-спектрометрия
- Масс-спектрометрия с индуктивно-связанной плазмой
- Системы кислородной плазмы
- PVD-процессы
- Эксплуатация аналитических приборов
- Криостатное оборудование
