- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Безмасляные вакуумные насосы
- Сухие вакуумные насосы ERSTVAK
- Сухие вакуумные насосы ERSTVAK серии EV-MR
Сухие вакуумные насосы ERSTVAK серии EV-MR
На этой странице вы можете выбрать сухие вакуумные насосы ERSTVAK серии EV-MR — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает сухие вакуумные насосы серии EV-MR для промышленной откачки без масляного загрязнения.
Оборудование предназначено для процессов, где важны чистая рабочая среда, надежность и стабильное давление при длительной эксплуатации.
Серия EV-MR используется в упаковке, дегазации, вакуумной сушке, лабораторных системах, электронике и технологических линиях. Насосы помогают снизить обслуживание, избежать контакта масла с процессом и повысить экологичность участка.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает сухие вакуумные насосы серии EV-MR для промышленной откачки без масляного загрязнения.
Оборудование предназначено для процессов, где важны чистая рабочая среда, надежность и стабильное давление при длительной эксплуатации.
Серия EV-MR используется в упаковке, дегазации, вакуумной сушке, лабораторных системах, электронике и технологических линиях. Насосы помогают снизить обслуживание, избежать контакта масла с процессом и повысить экологичность участка.
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 210
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 1.9
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 610
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 3.8
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 1050
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 3.8
Сухие вакуумные насосы ERSTVAK серии EV-MR
Серия сухих насосов EV-MR имеют новую интегрированную структуру «Рутс», которая обладает такими преимуществами, как широкий диапазон регулирования азота и температуры, высокая коррозионная стойкость и низкое энергопотребление. Серия EV-MR представлена как новейшая разработка для суровых условий работы в полупроводниковой промышленности.
Применения
- Процесс травления оксида
- Процесс травления кремния
- Металлическое травление