- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Вакуумные насосы 10 Па
Вакуумные насосы 10 Па
На этой странице вы можете выбрать вакуумные насосы 10 Па — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
- Основы вакуумной техники
- Спиральные насосы вакуумные: принцип работы, спиральные форвакуумные насосы
- Системы вакуумного прессования с вакуумными мешками для шпонирования и других применений
- Заменили европейскую установку для печатного станка: индивидуальное решение
- Разработали испытательный стенд для электровакуумных излучателей для объектов «Росатома»
- Установили имитаторы космического пространства ERSTVAK для Аэрокосмического университета
ЭРСТВАК предлагает оборудование для создания и поддержания разрежения в промышленных, лабораторных и технологических системах. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.
VRD – двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы для глубокого форвакуума. Газобалласт и принудительная смазка рассчитаны на лабораторные установки, холодильную технику, сублимационную сушку и контроль герметичности.
VB – компактные двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы для мобильных и стационарных установок. Две ступени обеспечивают глубокий вакуум, а небольшие габариты удобны для сервиса и ограниченного монтажного пространства.
RC – двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы для глубокого форвакуума. Газобалласт помогает при паровой нагрузке; серия применяется в холодильной технике, кондиционировании и лабораторных системах.
RD – компактные двухступенчатые маслозаполненные насосы для вакуумирования холодильных и климатических систем. Моноблочная конструкция с ротором на валу двигателя уменьшает габариты и число промежуточных деталей.
RS – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для стабильной промышленной откачки. Внутренняя циркуляция масла обеспечивает смазку, герметизацию и теплоотвод в низком и среднем вакууме.
ESVP – сухие спиральные насосы без масла и воды в рабочей камере. Орбитальная спираль последовательно сжимает газ; серия применяется в лабораторных, медицинских и технологических установках и допускает работу с паровой нагрузкой.
2НВР – двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы с газобалластом и защитой от обратного всасывания масла. Работают самостоятельно и как форвакуумная ступень; применяются в сушке, металлургии и термовакуумных установках.
АВЗК – золотниковые насосы для низкого и среднего вакуума, способные работать самостоятельно или как предварительная ступень. Газобалласт допускает небольшую паровую нагрузку; серия используется в сушке, печах, напылении и дегазации.
ERVP – бустерные насосы Рутса для повышения быстроты откачки в многоступенчатых системах. Работают совместно с форвакуумной ступенью и подходят для больших газовых нагрузок, когда требуется ускорить прохождение рабочего диапазона давлений.
EUREKA – промышленные масляные винтовые насосы с частотно регулируемым приводом. Производительность изменяется под текущую нагрузку, а система управления автоматизирует поддержание режима в низковакуумных технологических системах.
PRM – маслозаполненные пластинчато-роторные насосы, работающие самостоятельно или как форвакуумная ступень. Масло герметизирует зазоры и отводит тепло; серия подходит для низкого и среднего вакуума и умеренной паровой нагрузки.
LARA – безмасляные двухроторные бустерные насосы Рутса для повышения производительности вакуумной системы. Серия работает вместе с подходящей форвакуумной ступенью и предназначена для высокоскоростной откачки значительных объёмов газа.
MP – сухие мембранные насосы для неагрессивных газов в лабораторных, аналитических и приборных системах. Мембрана отделяет газовый тракт от механизма привода, а многоступенчатая схема обеспечивает безмасляную откачку.
TECLA – сухие винтовые насосы с бесконтактным вращением роторов и водяным охлаждением. Масло находится вне камеры сжатия, поэтому серия подходит для общепромышленных систем, где нужна безмасляная откачка при переменной нагрузке.
VSP – сухие винтовые насосы с переменным шагом роторов и воздушным охлаждением. Масло не попадает в камеру сжатия; газовая продувка помогает работать с паровой нагрузкой в научных и технологических системах.
VBP – бустерные насосы Рутса для увеличения эффективной скорости откачки в среднем и низком диапазоне давлений. Рабочая ступень действует без трущихся уплотнительных поверхностей и включается совместно с форвакуумным насосом.
VBPi – бустерные насосы Рутса со встроенным частотным преобразователем. Плавный пуск и регулирование частоты помогают согласовать работу бустерной ступени с газовой нагрузкой и характеристиками форвакуумного насоса.
ESR – сухие безмасляные насосы для технологических процессов, включая коррозионно-активные среды. Серия сочетает высокую производительность с водяным охлаждением и азотной продувкой, которые учитываются при интеграции в установку.
EV-A – компактные многоступенчатые сухие насосы с воздушным охлаждением. Безмасляный тракт и высокая скорость откачки вблизи атмосферного давления удобны для циклической откачки камер и загрузочных шлюзов.
EV-M – сухие многоступенчатые насосы для высоконагруженных технологических процессов. Температурное управление рабочим трактом помогает уменьшать накопление конденсируемых продуктов реакции при производительной безмасляной откачке.
K-PUMP-EX – взрывозащищённые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для низкого и среднего вакуума. Исполнение K-PUMP A соответствует требованиям для работы во взрывоопасных средах и имеет замкнутый масляный контур.
EST – сухие винтовые насосы для высокой газовой нагрузки и процессов с реакционными побочными продуктами. Высокотемпературный режим уменьшает их осаждение, а коррозионностойкие исполнения рассчитаны на сложную процессную химию.
EV-PA – компактные сухие винтовые насосы небольшой производительности с воздушным охлаждением. Безмасляный газовый тракт подходит для аналитического, исследовательского и переносного оборудования, чувствительного к загрязнению.
EV-S – сухие многоступенчатые насосы для чистых и лёгких технологических процессов. Безмасляный газовый тракт и режим холостого хода помогают снизить потребление ресурсов, когда полная производительность не требуется.
EDP – сухие одноступенчатые винтовые насосы без масла и воды в камере сжатия. Бесконтактная схема подходит для процессов с механическими загрязнениями; для агрессивных и конденсируемых газов доступны специальные покрытия и уплотнения.
КВТ – высоковакуумные турбомолекулярные комплексы с насосом, преобразователем частоты и монтажными элементами. Комбинированное охлаждение и отсутствие ограничений по ориентации упрощают интеграцию в промышленные и исследовательские установки.
UD – герметичные двухступенчатые маслозаполненные роторно-пластинчатые насосы с магнитной передачей. Отсутствие динамического уплотнения вала делает серию подходящей для влажных и химически активных сред.
UDi – двухступенчатые герметичные роторно-пластинчатые насосы с магнитной муфтой и встроенным частотным регулированием. Производительность можно плавно менять под нагрузку при работе с влажными и химически активными средами.
EVD – масляные диффузионные насосы для высокого вакуума. Направленные струи паров рабочей жидкости переносят молекулы газа к форвакуумному выходу; серия используется как высоковакуумная ступень совместно с форвакуумным насосом.
2L – ионно-геттерные магниторазрядные насосы с разрядом Пеннинга для чистого сверхвысокого вакуума. Безмасляная схема подходит для ускорителей, электронной микроскопии, масс-спектрометрии и полупроводниковых систем.
3L – триодные ионно-геттерные насосы, рассчитанные в том числе на эффективную откачку инертных газов. Работают без масла и применяются в научных и технологических сверхвысоковакуумных установках.
GENCRYO – безмасляные криогенные насосы для сверхвысокого вакуума. Газы удаляются за счёт конденсации и сорбции на охлаждённых поверхностях, что подходит для научных и технологических установок с высокими требованиями к чистоте.
MARATHON CP – криогенные высоковакуумные насосы для интенсивной откачки различных газов и паров, включая лёгкие и инертные. Применяются в криогенных, научных и технологических системах, где требуется большая скорость откачки.
CryoVac EV-CTP – безмасляные криогенные насосы для высоковакуумных технологических камер. Газ улавливается на охлаждённых поверхностях за счёт конденсации и сорбции; по мере заполнения криопанелей выполняется регенерация.
CryoVac EV-ICTP – криогенные насосы со встроенным контроллером для автоматизированной безмасляной высоковакуумной откачки. Электроника управляет рабочими циклами и регенерацией, а криопанели удерживают газы при сверхнизких температурах.
NEXTorr – гибридные сверхвысоковакуумные насосы, объединяющие NEG-геттер и магниторазрядную ионную ступень. Откачивают активные и благородные газы без вращающихся узлов и масла в вакуумном тракте.
R5 – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для низкого и среднего вакуума. Масло уплотняет рабочие зазоры, смазывает механизм и отводит тепло при непрерывной технологической откачке.
LC – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для промышленного низкого и среднего вакуума. Подходят для самостоятельной откачки и централизованных систем, где требуется продолжительная производительная работа.
K-PUMP – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для непрерывного низкого и среднего вакуума. Замкнутый масляный контур и сепарация масляного тумана рассчитаны на производительную промышленную откачку.
RS Ox – специальные маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для кислородсодержащих газовых сред. В рабочем контуре применяется химически инертная жидкость PFPE, предназначенная для кислородно-совместимых вакуумных систем.
VM – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы, ориентированные на форвакуумную и вспомогательную откачку аналитического оборудования. Газобалласт и встроенный выхлопной фильтр подходят для приборных систем.
MPC – сухие мембранные насосы с многоступенчатой схемой для более глубокого вакуума. В линейке есть исполнения для паров растворителей, кислот и щелочей; при выборе учитывают химическую совместимость и возможность конденсации.
DB – компактные двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы для глубокого вакуума. Газобалласт и защита от обратного поступления масла делают серию подходящей для лабораторных систем и форвакуумной откачки.
DC – двухступенчатые пластинчато-роторные насосы с масляной смазкой для лабораторных и технологических систем. Газобалласт помогает работать с небольшим количеством конденсируемого пара, гидравлическая защита ограничивает возврат масла.
PRX – компактные двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы для глубокого вакуума. Газобалластный клапан помогает работать с водяным паром, а двухступенчатая схема обеспечивает низкое остаточное давление.
CRVPRO – двухступенчатые пластинчато-роторные насосы для лабораторного вакуума и агрессивных газов и паров. Контактирующие элементы выполнены из PTFE или имеют PTFE-покрытие; предусмотрена защита от обратного всасывания.
JZB – сухие высоковакуумные насосы прямого атмосферного впуска, рассчитанные на начало откачки от атмосферного давления. Водяное охлаждение и керамические подшипники используются в технологических и исследовательских системах.
ESA – сухие безмасляные насосы высокой производительности для быстрой откачки крупных объёмов и работы с лёгкими газами. Частотное управление помогает согласовать производительность с процессом; доступны коррозионностойкие исполнения.
EV-HClaw – сухие когтевые насосы для средней и высокой технологической нагрузки. Серия сочетает безмасляный газовый тракт, азотное уплотнение и водяное охлаждение и рассчитана на процессы с управляемым температурным режимом.
EV-LR – сухие насосы с рутс-подобной схемой для чистой форвакуумной откачки. Водяное охлаждение, лабиринтные уплотнения и двухсторонняя опора вала рассчитаны на стабильную длительную работу.
EV-MR – сухие насосы на интегрированной рутс-схеме, разработанные для полупроводниковых процессов травления. Регулирование подачи азота и температуры сочетается с коррозионной стойкостью и безмасляной рабочей частью.
EV-SL – двухступенчатые сухие насосы для высокочистых процессов с большой производительностью. Водяное охлаждение и азотная продувка поддерживают рабочий режим, а газ проходит обе ступени без контакта с маслом.
JFB – турбомолекулярные насосы для высокого и сверхвысокого вакуума. Роторные и статорные ступени направляют молекулы к форвакуумному выходу; серия работает в составе системы с предварительной откачкой.
MTP – турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора для высокого и сверхвысокого вакуума. Бесконтактная опора снижает вибрацию и исключает масляную смазку в узле подвеса; требуется подходящая форвакуумная ступень.
EBT – турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Предназначены для высокого и сверхвысокого вакуума в полупроводниковых, фотоэлектрических, тонкоплёночных и аналитических системах.
EMT – турбомолекулярные насосы с пятикоординатным магнитным подвесом ротора. Бесконтактная опора снижает механическое взаимодействие и подходит для высоковакуумных систем, работающих совместно с форвакуумной ступенью.
CXF – турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора для высокого и сверхвысокого вакуума. Безмасляный газовый тракт и уменьшенный механический контакт подходят для длительных чистых технологических процессов.
FF – турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником и штатным контроллером. Допускают произвольную ориентацию и воздушное или водяное охлаждение; используются как высоковакуумная ступень научных и технологических систем.
LB – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы с воздушным охлаждением. Встроенное маслоотделение и обратный клапан рассчитаны на непрерывную низковакуумную работу и защиту вакуумной линии после остановки.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает оборудование для создания и поддержания разрежения в промышленных, лабораторных и технологических системах. Краткое описание серий поможет вам сориентироваться в нашем каталоге.
VRD – двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы для глубокого форвакуума. Газобалласт и принудительная смазка рассчитаны на лабораторные установки, холодильную технику, сублимационную сушку и контроль герметичности.
VB – компактные двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы для мобильных и стационарных установок. Две ступени обеспечивают глубокий вакуум, а небольшие габариты удобны для сервиса и ограниченного монтажного пространства.
RC – двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы для глубокого форвакуума. Газобалласт помогает при паровой нагрузке; серия применяется в холодильной технике, кондиционировании и лабораторных системах.
RD – компактные двухступенчатые маслозаполненные насосы для вакуумирования холодильных и климатических систем. Моноблочная конструкция с ротором на валу двигателя уменьшает габариты и число промежуточных деталей.
RS – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для стабильной промышленной откачки. Внутренняя циркуляция масла обеспечивает смазку, герметизацию и теплоотвод в низком и среднем вакууме.
ESVP – сухие спиральные насосы без масла и воды в рабочей камере. Орбитальная спираль последовательно сжимает газ; серия применяется в лабораторных, медицинских и технологических установках и допускает работу с паровой нагрузкой.
2НВР – двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы с газобалластом и защитой от обратного всасывания масла. Работают самостоятельно и как форвакуумная ступень; применяются в сушке, металлургии и термовакуумных установках.
АВЗК – золотниковые насосы для низкого и среднего вакуума, способные работать самостоятельно или как предварительная ступень. Газобалласт допускает небольшую паровую нагрузку; серия используется в сушке, печах, напылении и дегазации.
ERVP – бустерные насосы Рутса для повышения быстроты откачки в многоступенчатых системах. Работают совместно с форвакуумной ступенью и подходят для больших газовых нагрузок, когда требуется ускорить прохождение рабочего диапазона давлений.
EUREKA – промышленные масляные винтовые насосы с частотно регулируемым приводом. Производительность изменяется под текущую нагрузку, а система управления автоматизирует поддержание режима в низковакуумных технологических системах.
PRM – маслозаполненные пластинчато-роторные насосы, работающие самостоятельно или как форвакуумная ступень. Масло герметизирует зазоры и отводит тепло; серия подходит для низкого и среднего вакуума и умеренной паровой нагрузки.
LARA – безмасляные двухроторные бустерные насосы Рутса для повышения производительности вакуумной системы. Серия работает вместе с подходящей форвакуумной ступенью и предназначена для высокоскоростной откачки значительных объёмов газа.
MP – сухие мембранные насосы для неагрессивных газов в лабораторных, аналитических и приборных системах. Мембрана отделяет газовый тракт от механизма привода, а многоступенчатая схема обеспечивает безмасляную откачку.
TECLA – сухие винтовые насосы с бесконтактным вращением роторов и водяным охлаждением. Масло находится вне камеры сжатия, поэтому серия подходит для общепромышленных систем, где нужна безмасляная откачка при переменной нагрузке.
VSP – сухие винтовые насосы с переменным шагом роторов и воздушным охлаждением. Масло не попадает в камеру сжатия; газовая продувка помогает работать с паровой нагрузкой в научных и технологических системах.
VBP – бустерные насосы Рутса для увеличения эффективной скорости откачки в среднем и низком диапазоне давлений. Рабочая ступень действует без трущихся уплотнительных поверхностей и включается совместно с форвакуумным насосом.
VBPi – бустерные насосы Рутса со встроенным частотным преобразователем. Плавный пуск и регулирование частоты помогают согласовать работу бустерной ступени с газовой нагрузкой и характеристиками форвакуумного насоса.
ESR – сухие безмасляные насосы для технологических процессов, включая коррозионно-активные среды. Серия сочетает высокую производительность с водяным охлаждением и азотной продувкой, которые учитываются при интеграции в установку.
EV-A – компактные многоступенчатые сухие насосы с воздушным охлаждением. Безмасляный тракт и высокая скорость откачки вблизи атмосферного давления удобны для циклической откачки камер и загрузочных шлюзов.
EV-M – сухие многоступенчатые насосы для высоконагруженных технологических процессов. Температурное управление рабочим трактом помогает уменьшать накопление конденсируемых продуктов реакции при производительной безмасляной откачке.
K-PUMP-EX – взрывозащищённые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для низкого и среднего вакуума. Исполнение K-PUMP A соответствует требованиям для работы во взрывоопасных средах и имеет замкнутый масляный контур.
EST – сухие винтовые насосы для высокой газовой нагрузки и процессов с реакционными побочными продуктами. Высокотемпературный режим уменьшает их осаждение, а коррозионностойкие исполнения рассчитаны на сложную процессную химию.
EV-PA – компактные сухие винтовые насосы небольшой производительности с воздушным охлаждением. Безмасляный газовый тракт подходит для аналитического, исследовательского и переносного оборудования, чувствительного к загрязнению.
EV-S – сухие многоступенчатые насосы для чистых и лёгких технологических процессов. Безмасляный газовый тракт и режим холостого хода помогают снизить потребление ресурсов, когда полная производительность не требуется.
EDP – сухие одноступенчатые винтовые насосы без масла и воды в камере сжатия. Бесконтактная схема подходит для процессов с механическими загрязнениями; для агрессивных и конденсируемых газов доступны специальные покрытия и уплотнения.
КВТ – высоковакуумные турбомолекулярные комплексы с насосом, преобразователем частоты и монтажными элементами. Комбинированное охлаждение и отсутствие ограничений по ориентации упрощают интеграцию в промышленные и исследовательские установки.
UD – герметичные двухступенчатые маслозаполненные роторно-пластинчатые насосы с магнитной передачей. Отсутствие динамического уплотнения вала делает серию подходящей для влажных и химически активных сред.
UDi – двухступенчатые герметичные роторно-пластинчатые насосы с магнитной муфтой и встроенным частотным регулированием. Производительность можно плавно менять под нагрузку при работе с влажными и химически активными средами.
EVD – масляные диффузионные насосы для высокого вакуума. Направленные струи паров рабочей жидкости переносят молекулы газа к форвакуумному выходу; серия используется как высоковакуумная ступень совместно с форвакуумным насосом.
2L – ионно-геттерные магниторазрядные насосы с разрядом Пеннинга для чистого сверхвысокого вакуума. Безмасляная схема подходит для ускорителей, электронной микроскопии, масс-спектрометрии и полупроводниковых систем.
3L – триодные ионно-геттерные насосы, рассчитанные в том числе на эффективную откачку инертных газов. Работают без масла и применяются в научных и технологических сверхвысоковакуумных установках.
GENCRYO – безмасляные криогенные насосы для сверхвысокого вакуума. Газы удаляются за счёт конденсации и сорбции на охлаждённых поверхностях, что подходит для научных и технологических установок с высокими требованиями к чистоте.
MARATHON CP – криогенные высоковакуумные насосы для интенсивной откачки различных газов и паров, включая лёгкие и инертные. Применяются в криогенных, научных и технологических системах, где требуется большая скорость откачки.
CryoVac EV-CTP – безмасляные криогенные насосы для высоковакуумных технологических камер. Газ улавливается на охлаждённых поверхностях за счёт конденсации и сорбции; по мере заполнения криопанелей выполняется регенерация.
CryoVac EV-ICTP – криогенные насосы со встроенным контроллером для автоматизированной безмасляной высоковакуумной откачки. Электроника управляет рабочими циклами и регенерацией, а криопанели удерживают газы при сверхнизких температурах.
NEXTorr – гибридные сверхвысоковакуумные насосы, объединяющие NEG-геттер и магниторазрядную ионную ступень. Откачивают активные и благородные газы без вращающихся узлов и масла в вакуумном тракте.
R5 – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для низкого и среднего вакуума. Масло уплотняет рабочие зазоры, смазывает механизм и отводит тепло при непрерывной технологической откачке.
LC – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для промышленного низкого и среднего вакуума. Подходят для самостоятельной откачки и централизованных систем, где требуется продолжительная производительная работа.
K-PUMP – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для непрерывного низкого и среднего вакуума. Замкнутый масляный контур и сепарация масляного тумана рассчитаны на производительную промышленную откачку.
RS Ox – специальные маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы для кислородсодержащих газовых сред. В рабочем контуре применяется химически инертная жидкость PFPE, предназначенная для кислородно-совместимых вакуумных систем.
VM – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы, ориентированные на форвакуумную и вспомогательную откачку аналитического оборудования. Газобалласт и встроенный выхлопной фильтр подходят для приборных систем.
MPC – сухие мембранные насосы с многоступенчатой схемой для более глубокого вакуума. В линейке есть исполнения для паров растворителей, кислот и щелочей; при выборе учитывают химическую совместимость и возможность конденсации.
DB – компактные двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы для глубокого вакуума. Газобалласт и защита от обратного поступления масла делают серию подходящей для лабораторных систем и форвакуумной откачки.
DC – двухступенчатые пластинчато-роторные насосы с масляной смазкой для лабораторных и технологических систем. Газобалласт помогает работать с небольшим количеством конденсируемого пара, гидравлическая защита ограничивает возврат масла.
PRX – компактные двухступенчатые маслозаполненные пластинчато-роторные насосы для глубокого вакуума. Газобалластный клапан помогает работать с водяным паром, а двухступенчатая схема обеспечивает низкое остаточное давление.
CRVPRO – двухступенчатые пластинчато-роторные насосы для лабораторного вакуума и агрессивных газов и паров. Контактирующие элементы выполнены из PTFE или имеют PTFE-покрытие; предусмотрена защита от обратного всасывания.
JZB – сухие высоковакуумные насосы прямого атмосферного впуска, рассчитанные на начало откачки от атмосферного давления. Водяное охлаждение и керамические подшипники используются в технологических и исследовательских системах.
ESA – сухие безмасляные насосы высокой производительности для быстрой откачки крупных объёмов и работы с лёгкими газами. Частотное управление помогает согласовать производительность с процессом; доступны коррозионностойкие исполнения.
EV-HClaw – сухие когтевые насосы для средней и высокой технологической нагрузки. Серия сочетает безмасляный газовый тракт, азотное уплотнение и водяное охлаждение и рассчитана на процессы с управляемым температурным режимом.
EV-LR – сухие насосы с рутс-подобной схемой для чистой форвакуумной откачки. Водяное охлаждение, лабиринтные уплотнения и двухсторонняя опора вала рассчитаны на стабильную длительную работу.
EV-MR – сухие насосы на интегрированной рутс-схеме, разработанные для полупроводниковых процессов травления. Регулирование подачи азота и температуры сочетается с коррозионной стойкостью и безмасляной рабочей частью.
EV-SL – двухступенчатые сухие насосы для высокочистых процессов с большой производительностью. Водяное охлаждение и азотная продувка поддерживают рабочий режим, а газ проходит обе ступени без контакта с маслом.
JFB – турбомолекулярные насосы для высокого и сверхвысокого вакуума. Роторные и статорные ступени направляют молекулы к форвакуумному выходу; серия работает в составе системы с предварительной откачкой.
MTP – турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора для высокого и сверхвысокого вакуума. Бесконтактная опора снижает вибрацию и исключает масляную смазку в узле подвеса; требуется подходящая форвакуумная ступень.
EBT – турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Предназначены для высокого и сверхвысокого вакуума в полупроводниковых, фотоэлектрических, тонкоплёночных и аналитических системах.
EMT – турбомолекулярные насосы с пятикоординатным магнитным подвесом ротора. Бесконтактная опора снижает механическое взаимодействие и подходит для высоковакуумных систем, работающих совместно с форвакуумной ступенью.
CXF – турбомолекулярные насосы с магнитным подвесом ротора для высокого и сверхвысокого вакуума. Безмасляный газовый тракт и уменьшенный механический контакт подходят для длительных чистых технологических процессов.
FF – турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником и штатным контроллером. Допускают произвольную ориентацию и воздушное или водяное охлаждение; используются как высоковакуумная ступень научных и технологических систем.
LB – одноступенчатые маслосмазываемые пластинчато-роторные насосы с воздушным охлаждением. Встроенное маслоотделение и обратный клапан рассчитаны на непрерывную низковакуумную работу и защиту вакуумной линии после остановки.
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 16
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.004
- Мощность, кВт: 0.75
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 20
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.5
- Мощность, кВт: 0.75
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 20
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.5
- Мощность, кВт: 0.75
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 100
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 2.2
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 65
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 1.5
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 40
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 1.3
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 275
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.004
- Мощность, кВт: 5.5
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 30
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.004
- Мощность, кВт: 1.1
- Тип: Спиральные
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 31.3
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.01
- Мощность, кВт: 0.75
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 60
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0006
- Мощность, кВт: 0.75
- Тип: Золотниковые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 72
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.006
- Мощность, кВт: 2.2
- Тип: Спиральные
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 7.2
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.06
- Мощность, кВт: 0.55
- Тип: Спиральные
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 15.5
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.026
- Мощность, кВт: 0.55
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 540
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0005
- Мощность, кВт: 2.2
- Тип: Золотниковые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 540
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.006
- Мощность, кВт: 15
- Тип: Золотниковые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 252
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.006
- Мощность, кВт: 7.5
- Тип: Бустерные типа Рутс
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 1080
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0005
- Мощность, кВт: 4
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 1285
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.3
- Мощность, кВт: 22
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 28
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 1.1
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.08
- Мощность, кВт: 7.5
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 22
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.0006
- Мощность, кВт: 0.75
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 24
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.004
- Мощность, кВт: 1.1
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Высокий
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 90
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.005
- Мощность, кВт: 3.7
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслосмазываемый
- Скорость откачки, м³/ч: 28
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.1
- Мощность, кВт: 1.1
Вакуумные насосы 10 Па — оборудование, способное создавать предельное остаточное давление до 10 Па. Такие насосы применяются в вакуумных системах, где требуется получить и поддерживать разрежение до указанного уровня. В каталоге ЭРСТВАК можно подобрать и купить вакуумный насос с предельным остаточным давлением 10 Па с учетом требуемой скорости откачки, объема вакуумной системы и условий эксплуатации.
Навигация по статье
Вакуумные насосы 10 Па
Предельное остаточное давление — один из основных параметров вакуумного насоса. Значение 10 Па означает, что при определенных условиях эксплуатации насос способен снизить давление в вакуумируемом объеме до 10 Па. Чем ниже предельное давление, тем более глубокий вакуум способен создавать насос.
Возможность достижения 10 Па зависит не только от конструкции насоса, но и от состояния вакуумной системы, герметичности соединений, объема откачиваемого пространства, газовыделения материалов и других факторов. Поэтому паспортное предельное давление насоса и фактическое рабочее давление в системе могут отличаться.
Как выбрать вакуумный насос на 10 Па
При выборе вакуумного насоса с предельным давлением 10 Па необходимо учитывать требования технологического процесса и характеристики вакуумной системы. Само соответствие насоса значению 10 Па не определяет его пригодность для конкретной установки.
Основные параметры выбора:
- Предельное остаточное давление — должно соответствовать требуемой глубине вакуума;
- Скорость откачки — определяет время снижения давления и должна соответствовать объему вакуумируемой системы и газовой нагрузке;
- Рабочий диапазон давления — показывает, при каких давлениях насос способен эффективно работать;
- Тип насоса — выбирается с учетом требований к вакууму, рабочей среде и режиму эксплуатации;
- Состав откачиваемой среды — учитывают наличие влаги, паров, аэрозолей и химически активных компонентов;
- Режим эксплуатации — принимают во внимание продолжительность непрерывной работы и частоту включений;
- Совместимость с вакуумной системой — учитывают объем камеры, присоединительные размеры и характеристики других элементов установки.
Если требуется получить давление 10 Па в конкретной вакуумной системе, насос необходимо подбирать с учетом не только его паспортного предельного давления, но и скорости откачки, объема системы и газовой нагрузки. Специалисты ЭРСТВАК помогут подобрать вакуумный насос с требуемыми характеристиками и определить подходящее исполнение для конкретной задачи.