Мембранно-емкостный вакуумметр INFICON SKY CDG025D 500 … 10 Торр

Мембранно-емкостный датчик INFICON SKY CDG025D 500 … 10 Торр — модель линейки SKY. Оборудование предназначено для технологических процессов, в которых важны воспроизводимость, долговременная стабильность и минимальная зависимость результата от состава газа.

Принцип измерения

Давление воздействует на чувствительную мембрану и вызывает изменение электрической емкости. Электроника преобразует это изменение в значение давления. В отличие от теплопроводностных вакуумметров, мембранно-емкостный принцип практически не зависит от молекулярной массы и теплопроводности газа, поэтому подходит для процессов с различными газовыми смесями.

Чувствительный элемент

В серии применяется керамический сенсор с повышенной коррозионной стойкостью. Керамика обеспечивает стабильные механические свойства и подходит для процессов, где измерительная часть контактирует с химически активными или коррозионными средами.

Температурная стабильность

Температурная компенсация уменьшает влияние нагрева и охлаждения оборудования на результат. Это особенно важно при длительных технологических циклах и точном регулировании давления. Серия отличается хорошей долговременной стабильностью, поэтому снижает потребность в частой корректировке показаний.

Эксплуатационные особенности

• быстрое восстановление измерений после напуска атмосферы;
• удобная установка нулевого значения;
• широкий выбор диапазонов давления в рамках семейства;
• стабильное абсолютное измерение;
• коррозионностойкий керамический сенсор;
• пригодность для точного регулирования процесса;
• низкая зависимость показаний от состава газа.

Практическое назначение

Вакуумметр может использоваться не только для наблюдения за давлением, но и как основной измерительный элемент контура регулирования. По его сигналу система управления поддерживает заданное давление с помощью клапанов и подачи газа.

Области применения

Серия используется в полупроводниковом производстве, плазменных и химических процессах, при работе с коррозионными газами, в вакуумном нанесении тонких пленок и другом оборудовании, где точность давления напрямую влияет на параметры и качество продукции.