- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Бустерные вакуумные насосы Рутса
- Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR2000
Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR2000
Сухой вакуумный насос ERSTVAK EV-LR2000 — безмасляный насос серии EV-LR для технологических вакуумных систем, где требуется сухая откачка без масла в рабочей части. Серия разработана с учётом рутс-подобной конструкции и сочетает компактную компоновку, низкое энергопотребление и высокую скорость откачки.
EV-LR2000 входит в стандартный модельный ряд EV-LR. Модель может быть встроена в технологическую вакуумную линию вместе с камерой, вакуумной арматурой и другими элементами системы.
Конструкция и интеграция
Для серии EV-LR предусмотрено охлаждение насосного блока. При проектировании вакуумной системы учитывают тепловой режим, состав откачиваемой среды, требования к вакуумным коммуникациям и условия конкретного технологического процесса. Компактная компоновка и сниженное энергопотребление относятся к особенностям серии.
Для серии EV-LR также доступны отдельные исполнения с индексом P. В таких модификациях предусмотрены контроль температуры и очистка азотом (N₂).
Применение
Серия EV-LR применяется в загрузочных и шлюзовых камерах полупроводниковых и фотоэлектрических систем, в электронно-лучевой литографии, процессах физического осаждения из паровой фазы PVD, а также при расщеплении и озолении. В этих задачах оборудование обеспечивает сухую вакуумную откачку и может использоваться как часть комплексной вакуумной системы.
- Тип
- Винтовые
- Уровень вакуума
- Средний
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 2300
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 7 × 10⁻³
- Мощность, кВт
- 26
- Входной патрубок
- ISO-K160
- Выходной патрубок
- KF50
- Количество ступеней
- 2
- Охлаждение
- Водяное
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 1310×620×1002
- Масса, кг
- 750
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 6
- Уровень шума, дБа
- 70
- Напряжение, В
- 380
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
График скорости откачки
График показывает зависимость скорости откачки оборудования серии EV-LR от давления. По кривым можно сопоставить характеристики серии в показанном диапазоне давления.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Игорь ОрловБрaли через erstvak бустерный насос Рутса в пару к уже установленному вакуумному насосу. Задача была увеличить скорость откачки, но не развалить существующую схему по управлению и защите. Сначала скинули им параметры нашей установки, потом oтдельно обсуждали, что останется старое, а что лучше заменить сразу. В итоге поменяли еще часть арматуры и датчики, иначе смыслa было бы меньше. Запуск прошел спокойно, oткачка стала заметно быстрее, по аварийным остановам пока тишина.
Алексей КручДля нужд предприятия искали мощный вакуумный насос. Нашли в компании Эрствак. Доставили в срок. Работает исправно, с нагрузкой сравляется. И радует, что у поставщика есть возможность покупать расходники, либо самим сдать в ремонт, случись чего.
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:
Товары из этой же серии
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 110
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.03
- Мощность, кВт: 2.2
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.01
- Мощность, кВт: 15
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 3380
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 7 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 26
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 3500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 26
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч: 4500
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 8 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 30
Информация о бренде
Выпускаем надежное оборудование и товары собственной торговой марки ERSTVAK.
Сегодня в компании 26 инженеров, грамотный тендерный отдел — в портфолио 3360 реализованных проектов. Выполняем гособоронзаказы.
Не забудьте купить
- Мощность, кВт: 1.1
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: LAGUNA MS
- Страна: Российская Федерация
- Обороты, об/мин: 2900
- Тип: Винтовые
- Производительность, м³/ч: 4485
- Избыточное давление, мбар: 600
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 75
- Уровень шума, дБ(А): 85
- Производитель: King Lai
- Серия: 90EL
- Страна: Китай
- Производитель: King Lai
- Серия: SWG
- Страна: Китай
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: MT
- Страна: Российская Федерация
- Хладагент: R-404A/R23 (По запросу – смесь R125/R23)
- Масса, кг: 420
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1800*1200*1850
- Хладагент: R-404A/R507C (По запросу – R448A)
- Масса, кг: 2150
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: TSM
- Страна: Российская Федерация
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 3000*1600*2250
- Производитель: King Lai
- Серия: BW
- Страна: Китай
- Производитель: ERSTVAK
- Серия: E-flow
- Страна: Российская Федерация
- Тип: Центробежные
- Производительность, м³/ч: 13200
- Избыточное давление, мбар: 882
- Тип смазки: Масляная
- Мощность электродвигателя, кВт: 450
- Тип подшипников: Качения (шариковые)
