- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы
- Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-3203002 ISO-F320
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-320/3002E
Безмасляные турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе позволяют добиться минимального шума и вибраций турбомолекулярного насоса. Магнитные подшипники полностью исключают механический износ и необходимость в обслуживании.
Насосы KYKY серии CXF отлично подходят для процессов, где недопустимо наличие паров углеводородов. Также магнитный подвес позволяет устанавливать эти турбомолекулярные насосы в произвольном положении в пространстве. Высокая производительность позволяет применять насосы для откачки вакуумных камер больших объемов.
Применение
- нанесение оптических покрытий;
- микроэлектроника;
- установки имитации космического пространства;
- передвижные вакуумные посты и течеискатели;
- установки для осаждения распылением;
- ионные источники и электронно-лучевые испарители;
- газовая эпитаксия;
- газовая хроматография;
- производство полупроводников и микроэлектроники;
- биотехнологии;
- исследования в области ядерной физики и ускорителей заряженных частиц.
Особенности и преимущества
- отличное соотношение скорости откачки к цене;
- в комплект поставки входят контроллер, насос, кабели, защитный экран и система охлаждения;
- стандартная гарантия на 2 года с возможностью продления;
- доступны ISO/CF фланцы;
- полностью безмасляная система откачки;
- контроль качества до отгрузки — 48 часовой тест на работоспособность;
- простота технического обслуживания и эксплуатации.
Доступны версии с химостойким, противоударным и другими вариантами исполнений.
Технические характеристики
| Скорость откачки по аргону, м3/ч | Скорость откачки по водороду, м3/ч | Скорость откачки по гелию, м3/ч | Подшипник | Коэффициент сжатия по азоту | Коэффициент сжатия по водороду | Коэффициент сжатия по гелию | Коэффициент сжатия по аргону |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 10440 | 6228 | 2550 | Магнитный | 109 | 103 | 104 | 109 |
- Тип
- Турбомолекулярные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный
- Скорость откачки, м³/ч
- 108
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1 × 10⁻⁹
- Мощность, кВт
- 1.5
- Частота вращения, об/мин
- 24000
- Входной патрубок
- ISO-F320
- Выходной патрубок
- KF40
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Водяное
- Масса, кг
- 76
- Производитель
- KYKY
- Серия
- CXF
- Страна
- Китай
- Длина, мм
- 337
- Высота, мм
- 417
- Ширина, мм
- 322
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 337×322×417
- Расход рабочей жидкости, л/мин
- 3
- Время выхода на режим, мин
- 10
- Температура охлаждающей воды
- +5 — +20
- Напряжение, В
- 220