Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1402 CF200

Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY CXF-200/1402 CF200 относится к серии CXF с магнитным подвесом ротора и предназначен для получения высокого и сверхвысокого вакуума. Турбомолекулярная ступень передаёт импульс молекулам газа быстро вращающимся ротором, а магнитная система подвеса уменьшает механический контакт в опорном узле. Такая конструкция подходит для длительных режимов, где одновременно требуются высокая скорость откачки, чистый газовый тракт и стабильность работы.

Безмасляный принцип делает насос подходящим для технологических камер, чувствительных к углеводородному загрязнению. Исполнение CF200 рассчитано на высоковакуумное фланцевое соединение соответствующего типоразмера. При проектировании системы турбомолекулярный насос используют совместно с подходящей форвакуумной ступенью, которая обеспечивает допустимое давление на стороне выпуска и условия для разгона высоковакуумной ступени.

Конструкция и особенности

Магнитный подвес уменьшает контактные нагрузки на роторный узел, что особенно важно при высокой частоте вращения и продолжительной работе. Для серии CXF характерны высокая быстрота откачки и ориентация на крупные высоковакуумные системы с заметным газовым потоком. Рабочие характеристики зависят от рода газа: скорость откачки и коэффициент сжатия для тяжёлых и лёгких газов существенно различаются.

Технические характеристики

• скорость откачки по аргону — 4680 м³/ч;
• скорость откачки по водороду — 2952 м³/ч;
• скорость откачки по гелию — 3960 м³/ч;
• коэффициент сжатия по азоту и аргону — 10⁸;
• коэффициент сжатия по водороду — 10³;
• коэффициент сжатия по гелию — 10⁴.

Применение

CXF-2001402 CF200 используют в PVD и вакуумном напылении, полупроводниковом производстве, ионных и электронно-лучевых установках, научном оборудовании и других системах, где нужен чистый высокий вакуум при большой газовой нагрузке. Серия также применяется в технологиях нанесения покрытий, производстве солнечных элементов и электротехническом оборудовании. При подборе форвакуумной ступени и режима работы учитывают фактический состав газа и требования технологической камеры.