- Быстрота действия: 2200 л/с по воздуху
- Входной фланец: 250 ISO-K (LF)
250 ISO-F
250 ISO-CF
- Выходной фланец: KF-40
- Степень сжатия: для N2 10^7
- Предельное давление 2х10^-7 Па
- Магнитный подшипник
- Скорость вращения ротора 30000 (об/мин)
- Время старта - 8 мин
- Уровень вибрации на фланце: менее 0,05 мкм
- Рекомендуемый форвакуумный насос - 15 л/с
- Тип охлаждения: водяной
- Позиция установки: любая
- Вес 58 кг
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 220
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-8
Время выхода на режим, мин: 1
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GEN40SH
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Производительность по азоту, л/с: 5 000
Производительность по водороду, л/с: 10 000
Скорость откачки по аргону, л/с: 4 500
Скорость откачки по парам воды, л/с: 16 000
Время охлаждения, мин: 150
Производительность по азоту, л/с: 340
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3