- Быстрота действия: 2200 л/с по воздуху
- Входной фланец: 250 ISO-K (LF)
250 ISO-F
250 ISO-CF
- Выходной фланец: KF-40
- Степень сжатия: для N2 10^7
- Предельное давление 2х10^-7 Па
- Магнитный подшипник
- Скорость вращения ротора 30000 (об/мин)
- Время старта - 8 мин
- Уровень вибрации на фланце: менее 0,05 мкм
- Рекомендуемый форвакуумный насос - 15 л/с
- Тип охлаждения: водяной
- Позиция установки: любая
- Вес 58 кг
Производительность по азоту, л/с: 400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 2000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-9
Время выхода на режим, мин: <3
Турбомолекулярный вакуумный насос KYKY FF-160/620FE
Тип:
Турбомолекулярный
Производитель:
KYKY Technology Co. Ltd.
Производительность по азоту, л/с: 600
Время выхода на режим, мин: 7
Производительность по азоту, л/с: 2400
Поток откачки по азоту, мбар*л/с: 3000
Предельное остаточное давление, мбар: 10^-10
Время выхода на режим, мин: <5
Криогенный вакуумный насос Cryo H&I GENW40A
Тип:
Криогенный
Производитель:
Cryo H&I
Скорость откачки по парам воды, л/с: 10 000
Время охлаждения, мин: 30