- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы
- Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT1100F-BAB-60
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT1100F-BAB-60
Насосы серии EBT представляют собой турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Серия является высокоэффективным и бюджетным решением для создания высокого и сверхвысокого вакуума.
Все модели насосов EBT имеют прочную и надёжную механическую конструкцию с керамическим подшипником, не загрязняют откачиваемую среду и обеспечивают безотказную работу при создании вакуума в процессах производства полупроводников и фотогальванических элементов, а также нанесения тонких плёнок.
Насосы серии EBT могут быть установлены в любом положении в пространстве и подходят для мобильных применений. Они обладают высокой скоростью откачки и высоким коэффициентом сжатия по лёгким газам, что делает их подходящими для использования в системах сверхвысокого вакуума и аналитическом оборудовании.
Особенности и преимущества
- стойкость к прорыву атмосферы;
- монтаж в любом положении в пространстве;
- компактность;
- низкий уровень вибрации;
- водяное или воздушное охлаждение;
- способность выдерживать большие газовые нагрузки без потери производительности;
- продувка газом для уменьшения вероятности загрязнения насоса;
- защитный экран входит в комплект поставки;
- связь через последовательные порты RS-232, RS-485 и др.
Применение
- установки удаления верхнего слоя с поверхности детали (травление);
- установки имитации космического пространства;
- передвижные вакуумные посты и течеискатели;
- установки для осаждения распылением;
- ионные источники и электронно-лучевые испарители;
- газовая эпитаксия;
- газовая хроматография;
- производство полупроводников и микроэлектроники;
- биотехнологии.
- Тип
- Турбомолекулярные
- Уровень вакуума
- Сверхвысокий
- Тип смазки
- Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч
- 3960
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.)
- 1.0E-8
- Входной патрубок
- ISO-F200
- Выходной патрубок
- ISO-F200
- Количество ступеней
- Многоступенчатый
- Охлаждение
- Воздушное
- Масса, кг
- 28
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм
- 250×281×306
- Серия
- EBT
- Время выхода на режим, мин
- 7
Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов
Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.
Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.
Юрий БычковС компанией ЭРСТВАК сотрудничаем около двух лет. Начиналось всё с турбомолекулярного насоса для нашей лаборатории в МГУ. Компетентные сотрудники быстро предложили различные варианты, а коммерческое предложение оказалось интереснее, чем у прочих поставщиков. С тех пор регулярно вакуумное оборудование, которое всегда приходит в срок, а часто есть в наличии на складе. Работой компании довольны.
1serga2Был необходим вакуумный откачной пост для откачки камеры на базе форвакуумного насоса + ТМН. Хотелось бы выразить благодарность конструкторскому отделу за качественное проектирование установки, сервисным инженерам, менеджеру Александру за ведение этого непростого проекта. Оборудование уже введено в эксплуатацию и исправно работает. Однозначно могу рекомендовать Эрствак, как надежного поставщика
Дмитрий П.Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.
Александр ИзмайловКонсультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично
Еще больше отзывов о нас читайте на площадках:
Товары из этой же серии
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Количество ступеней: Многоступенчатый
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Количество ступеней: Многоступенчатый
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Количество ступеней: Многоступенчатый
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Количество ступеней: Многоступенчатый
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Количество ступеней: Многоступенчатый
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Количество ступеней: Многоступенчатый
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Количество ступеней: Многоступенчатый
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 270
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Количество ступеней: Многоступенчатый
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 864
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5.0E-9
- Количество ступеней: Многоступенчатый
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 864
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5.0E-9
- Количество ступеней: Многоступенчатый
Не забудьте купить
- Скорость откачки, м³/ч: 70
- Мощность, кВт: 2.2
- Охлаждение: Воздушное
- Масса, кг: 90.5
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 850×288×545
- Производитель: ERSTVAK
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 13.56
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.002
- Мощность, кВт: 0.75
- Производитель: King Lai
- Страна: Китай
- Серия: 45ELT
- Тип конструкции: С ременной передачей
- Тип: Роторные (Рутса)
- Производительность, м³/ч: 4026
- Избыточное давление, мбар: 800
- Тип смазки: Безмасляная (сухая)
- Мощность электродвигателя, кВт: 132
- Хладагент: R-404A/R508B (По запросу – смесь R125/R23/14)
- Масса, кг: 240
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 550*700*1750
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: TSM
- Внутренние габариты (ШхГхВ), мм: 1000 × 1000 × 1000
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: EVCLIM-КД
- Краткое название: Камера дождя ERSTVAK EVCLIM-КД-1000-IP1/2/3/4/5/6
- Мощность, кВт: 37
- Масса, кг: 440
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1400 × 590 × 540
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: LAGUNA EW
- Производитель: King Lai
- Страна: Китай
- Серия: MB
- Длина, мм: 130
- Мощность, кВт: 90
- Масса, кг: 920
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1820 × 720 × 730
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: LAGUNA EW
- Производитель: King Lai
- Страна: Китай
- Серия: ZL
- Ширина, мм: 12.7
Вы смотрели
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 4320
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 6.0E-8
- Мощность, кВт: 0.75
- Масса, кг: 600
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: EV-PLASMA-I
- Масса, кг: 900
- Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 1200 × 1100 × 2000
- Производитель: Suzhou Second New Energy Technology
- Страна: Китай
- Серия: SEC
- Производительность, н.м³/час: 180
- Чистота азота, %: 98
- Давление на выходе, бар: 8
- Тип конструкции: Модульная
- Тип: Адсорбционный
- Масса, кг: 1300
- Тип: Пластинчато-роторные
- Уровень вакуума: Средний
- Тип смазки: Маслозаполненный
- Скорость откачки, м³/ч: 85
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.004
- Мощность, кВт: 3
- Мощность, кВт: 10
- Масса, кг: 350
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: EVCLIM-КД
- Краткое название: Камера дождя ERSTVAK EVCLIM-КД 1000-IP5/IP6
- Внутренние габариты (ШхГхВ), мм: 1500 × 1800 × 1450
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
- Серия: EVCLIM-КД
- Краткое название: Камера дождя ERSTVAK EVCLIM-КД-IP7/8-1000 Z
- Тип: Когтевые
- Уровень вакуума: Низкий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 400
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 30
- Мощность, кВт: 7.5
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Тип смазки: Безмасляный (сухой)
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9
- Количество ступеней: Многоступенчатый
- Максимальная температура, °C: 95
- Корзина для очистки: Есть
- Внутренние габариты (ШхГхВ), мм: 700 × 500 × 500
- Напряжение, В: 380
- Производитель: ERSTVAK
- Страна: Российская Федерация
