Винтовой вакуумный насос ERSTVAK EDP 800

Винтовой вакуумный насос ERSTVAK EDP 800 — высокопроизводительная модель сухой винтовой серии EDP для безмасляной откачки. Два винтовых ротора бесконтактно вращаются в рабочей камере и перемещают газ без использования масла как рабочей среды. Отсутствие контакта металл по металлу уменьшает контактный износ рабочего блока и подходит для длительных промышленных циклов.

Одноступенчатая винтовая конструкция упрощает удаление твёрдых механических загрязнений и помогает предотвращать их накопление внутри насоса. Роторы EDP 800 имеют защитное покрытие PTFE, рассчитанное в том числе на откачку паров воды. Для процессов с токсичными, коррозионными или конденсирующимися газами материалы уплотнений и конфигурацию вакуумной системы подбирают с учётом химической совместимости и условий процесса.

Технические характеристики

• номинальная производительность — 720 м³/ч при 50 Гц и 800 м³/ч при 60 Гц;
• предельное остаточное давление — 4 × 10⁻² мбар при 50 Гц и 1,3 × 10⁻³ мбар при 60 Гц;
• мощность двигателя — 18,5 кВт;
• частота вращения ротора — 2900 об/мин при 50 Гц;
• всасывающий патрубок — DN100;
• нагнетательный патрубок — DN65;
• расход охлаждающей воды — 20 л/мин;
• масса без электродвигателя — 600 кг.

Особенности эксплуатации

Производительность модели рассчитана на камеры и технологические линии с высокой газовой нагрузкой. Сухой принцип исключает масляное загрязнение рабочей камеры, а внешнее водяное охлаждение отводит тепло от насосного блока. При работе с легко конденсирующимися средами режим эксплуатации выбирают так, чтобы ограничить накопление конденсата в зоне сжатия.

Применение

EDP 800 применяют в химической и нефтехимической промышленности, выпаривании и молекулярной дистилляции, рекуперации растворителей, дегазации, фармацевтике, лиофилизации, вакуумных печах и производстве пластмасс. В полупроводниковых процессах насос используют для задач CVD, PVD и сухого травления, где требуется высокая скорость сухой откачки.