Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT1100F-CAB-60

Насосы серии EBT представляют собой турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Данная серия является высокоэффективным и бюджетным решением для создания высокого и сверхвысокого вакуума.

Все модели насосов EBT имеют прочную и надежную механическую конструкцию керамического подшипника, не загрязняя откачиваемую среду, обеспечивают безотказную работу для создания вакуума в производстве полупроводников, фотогальванических элементов и нанесении тонких пленок.

Насосы серии EBT могут быть установлены в любом положении в пространстве и идеальны для мобильных применений. Данные насосы обладают высокими скоростями откачки и высоким коэффициентом сжатия по легким газам, что делает их идеальными для использования в системах сверхвысокого вакуума и аналитического оборудования.

Особенности и преимущества

• стойкость к прорыву атмосферы;
• монтаж в любом положении в пространстве;
• компактность;
• низкий уровень вибрации;
• водяное или воздушное охлаждение;
• способность выдерживать большие газовые нагрузки без потери производительности;
• продувка газом для уменьшения вероятности загрязнения насоса;
• защитный экран входит в комплект поставки;
• коммуникационная связь через последовательные порты RS-232, RS-485 и др.

Применение

• установки удаления верхнего слоя с поверхности детали (травление);
• установки имитации космического пространства;
• передвижные вакуумные посты и течеискатели;
• установки для осаждения распылением;
• ионные источники и электронно-лучевые испарители;
• газовая эпитаксия;
• газовая хроматография;
• производство полупроводников и микроэлектроники;
• биотехнологии.