Главная
Каталог
Вакуумная техника
Вакуумные насосы
Турбомолекулярные насосы
Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-CAB

Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EBT70F-CAB

product-card

Тип Турбомолекулярные
Уровень вакуума Сверхвысокий
Тип смазки Безмасляный (сухой)
Скорость откачки, м³/ч 270
Предельное остаточное давление, мбар (абс.) 1.0E-9
Входной патрубок CF63
Выходной патрубок CF63
Количество ступеней Многоступенчатый
Охлаждение Воздушное

В корзину

Описание

Характеристики

Графики и чертежи

Материалы

Проекты

Отзывы клиентов

Насосы серии EBT представляют собой турбомолекулярные насосы с керамическим подшипником на консистентной смазке. Серия является высокоэффективным и бюджетным решением для создания высокого и сверхвысокого вакуума.

Все модели насосов EBT имеют прочную и надёжную механическую конструкцию с керамическим подшипником, не загрязняют откачиваемую среду и обеспечивают безотказную работу при создании вакуума в процессах производства полупроводников и фотогальванических элементов, а также нанесения тонких плёнок.

Насосы серии EBT могут быть установлены в любом положении в пространстве и подходят для мобильных применений. Они обладают высокой скоростью откачки и высоким коэффициентом сжатия по лёгким газам, что делает их подходящими для использования в системах сверхвысокого вакуума и аналитическом оборудовании.

Особенности и преимущества

стойкость к прорыву атмосферы;
монтаж в любом положении в пространстве;
компактность;
низкий уровень вибрации;
водяное или воздушное охлаждение;
способность выдерживать большие газовые нагрузки без потери производительности;
продувка газом для уменьшения вероятности загрязнения насоса;
защитный экран входит в комплект поставки;
связь через последовательные порты RS-232, RS-485 и др.

Применение

установки удаления верхнего слоя с поверхности детали (травление);
установки имитации космического пространства;
передвижные вакуумные посты и течеискатели;
установки для осаждения распылением;
ионные источники и электронно-лучевые испарители;
газовая эпитаксия;
газовая хроматография;
производство полупроводников и микроэлектроники;
биотехнологии.

Тип: Турбомолекулярные

Уровень вакуума: Сверхвысокий

Тип смазки: Безмасляный (сухой)

Скорость откачки, м³/ч: 270

Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1.0E-9

Входной патрубок: CF63

Выходной патрубок: CF63

Количество ступеней: Многоступенчатый

Охлаждение: Воздушное

Масса, кг: 5

Габаритные размеры (ДхШхВ), мм: 102×144×170

Серия: EBT

Время выхода на режим, мин: 2

Диапазоны рабочих давлений вакуумных насосов

Диаграмма сопоставляет диапазоны рабочих давлений различных типов вакуумных насосов. Шкала давления дополнена областями низкого, среднего, высокого и сверхвысокого вакуума.

diapazon_rabochih_davleniy_tipov_vakuumnyh_nasosov

Для уточнения информации обращайтесь к инженерам ERSTVAK.

Путеводитель по вакууму: pdf /

Поставили высоковакуумный откачной пост в один из институтов РАН

05.06.19

1 мин.

1278

Разработали испытательный стенд для электровакуумных излучателей для объектов «Росатома»

10.06.25

1 мин.

1113

Реализовали новый проект по вакуумным печам для высоковакуумного отжига и пайки

23.10.19

1 мин.

1439

Юрий Бычков

С компанией ЭРСТВАК сотрудничаем около двух лет. Начиналось всё с турбомолекулярного насоса для нашей лаборатории в МГУ. Компетентные сотрудники быстро предложили различные варианты, а коммерческое предложение оказалось интереснее, чем у прочих поставщиков. С тех пор регулярно вакуумное оборудование, которое всегда приходит в срок, а часто есть в наличии на складе. Работой компании довольны.

1serga2

Был необходим вакуумный откачной пост для откачки камеры на базе форвакуумного насоса + ТМН. Хотелось бы выразить благодарность конструкторскому отделу за качественное проектирование установки, сервисным инженерам, менеджеру Александру за ведение этого непростого проекта. Оборудование уже введено в эксплуатацию и исправно работает. Однозначно могу рекомендовать Эрствак, как надежного поставщика

Дмитрий П.

Надежный поставщик оборудования. Привозят вовремя. На моей памяти еще ни разу не было, чтобы поставка выходила за оговоренные сроки. Недавно насосы заказывали. Все работает, никаких дефектов.

Александр Измайлов

Консультировался с менеджером по поводу вакуумных насосов. Сразу стало понятно, что беседую с человеком, который владеет всей необходимой информацией. Я сказал, какие сейчас стояли, ну а консультант сделал мне быстренько подборочку подходящих и выслал на почту для ознакомления. Я выбрал три насоса и заказал. Все отлично

Еще больше отзывов о нас читайте на площадках: