- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Турбомолекулярные насосы
- Турбомолекулярные насосы EBARA
- Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT
На этой странице вы можете выбрать турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT для получения высокого вакуума в чистых технологических процессах.
Оборудование применяется в полупроводниковом производстве, вакуумном напылении, аналитических приборах, R&D и лабораторных установках.
Серия EMT обеспечивает высокую скорость откачки, отсутствие масляного загрязнения и стабильную работу в составе автоматизированных вакуумных систем. Насосы подходят для процессов, где важны чистота, надежность и компактность.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT для получения высокого вакуума в чистых технологических процессах.
Оборудование применяется в полупроводниковом производстве, вакуумном напылении, аналитических приборах, R&D и лабораторных установках.
Серия EMT обеспечивает высокую скорость откачки, отсутствие масляного загрязнения и стабильную работу в составе автоматизированных вакуумных систем. Насосы подходят для процессов, где важны чистота, надежность и компактность.
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 9.612
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻⁹
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
- Тип: Турбомолекулярные
- Уровень вакуума: Сверхвысокий
- Скорость откачки, м³/ч: 15.012
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 1 × 10⁻¹⁰
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT
Являемся эксклюзивным дилером продукции EBARA на территории России и стран СНГ. Это позволяет нам предлагать продукцию EBARA с лучшими условиями и гарантировать качество поставляемой продукции с предоставлением послепродажного сервисного обслуживания. Изготовление оборудования происходит в Японии, которая славится своей культурой производства.
Турбомолекулярные насосы EBARA серий EMT и EMT-K
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT-K — наиболее энергоэффективными насосами с низким уровнем вибраций. В конструкции применен магнитный подвес, который обеспечивает полностью безмасляный вакуум.
В серии EMT представлены насосы как со встроенным, так и с внешним контроллером. Все насосы этой серии могут быть укомплектованы терморегулятором для снижения скорости конденсации отходов технологического процесса и предотвращения пагубного воздействия примесей газа на части насоса.
Области применения
- Полупроводниковая и микроэлектронная промышленности
- Производство FDli
- Плазмохимическое травление
- Производство оптических элементов
- Вакуумные печи
- Имитаторы космического пространства
- Производство композитных материалов
- Научно-исследовательские установки
- Технологические процессы, где абсолютно недопустимо наличие масла
Особенности и преимущества
- Полностью магнитный подвес
- Любая ориентация при установке
- Лучшие показатели по потоку откачиваемого газа
- Высокая стойкость к вибрационным нагрузкам
- Возможность установки на подвижные части вакуумной камеры
- Низкое энергопотребление
- Опционально коррозионностойкое исполнение
- Водяное или воздушное охлаждение
- Компактные размеры
- Возможность контроля оборотов ротора
- Система автоматической калибровки и стабилизации положения подшипниковых узлов
Непревзойденная надежность:
- Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы
- Гарантия на магнитный подшипник 7 лет
Насосы с магнитным подвесом и внешним контроллером EMT
Насосы EMT имеют внешний контроллер ETC011M и выполняются как с водяным, так и с воздушным охлаждением.
Технические характеристики EBARA серии EMT
Таблица 1. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT с магнитным подвесом и внешним контроллером — технические характеристики.
Насосы с магнитным подвесом и встроенным контроллером
Насосы EMT-K имеют встроенный контроллер и выполняются только с водяным охлаждением и фланцем стандарта ISO на всасывании. Защищены по стандарту IP54.
Технические характеристики EBARA серии EMT-K
Таблица 2. Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT-K с магнитным подвесом и встроенным контроллером — технические характеристики.
Внимание. Насосы EMT-K поставляются только с фланцем ISO-B и водяным охлаждением. Могут быть выполнены в стандартном — литера B, коррозионно-стойком исполнении — литера C.
О компании EBARA
Компания EBARA Technologies Inc. является признанным мировым лидером по производству вакуумного оборудования для различных областей науки и техники. В линейке компании представлены турбомолекулярные насосы, сухие форвакуумные насосы, скрубберы для утилизации вредных газов в производстве, оборудование для микроэлектроники и оптической промышленности.
Скачать каталог
