- Главная
- Каталог
- Вакуумная техника
- Вакуумные насосы
- Винтовые вакуумные насосы
- Винтовые насосы EBARA
- Винтовые насосы EBARA серии EST
Винтовые насосы EBARA серии EST
На этой странице вы можете выбрать винтовые насосы EBARA серии EST — а мы оперативно поможем подобрать подходящую модель и найдем индивидуальное решение для вашей задачи.
ЭРСТВАК предлагает винтовые насосы EBARA серии EST для сухой безмасляной откачки в технологических системах, где важны чистота, надежность и устойчивость к длительной эксплуатации.
Оборудование используется в полупроводниковой промышленности, вакуумном оборудовании, химических процессах, напылении и исследовательских установках.
Серия EST обеспечивает стабильный вакуум без масляного загрязнения, удобное управление и интеграцию в автоматизированные линии.
Фильтры
ЭРСТВАК предлагает винтовые насосы EBARA серии EST для сухой безмасляной откачки в технологических системах, где важны чистота, надежность и устойчивость к длительной эксплуатации.
Оборудование используется в полупроводниковой промышленности, вакуумном оборудовании, химических процессах, напылении и исследовательских установках.
Серия EST обеспечивает стабильный вакуум без масляного загрязнения, удобное управление и интеграцию в автоматизированные линии.
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 60
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.27
- Мощность, кВт: 2.3
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Средний
- Скорость откачки, м³/ч: 150
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 0.27
- Мощность, кВт: 3
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 600
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 5,3 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 3.2
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1200
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 4 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 3.2
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 1800
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 4 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 4.5
- Тип: Винтовые
- Уровень вакуума: Высокий
- Скорость откачки, м³/ч: 3000
- Предельное остаточное давление, мбар (абс.): 4 × 10⁻³
- Мощность, кВт: 4.6
Винтовые насосы EBARA серии EST
Насосы серии EST являются передовыми винтовыми насосами, специально сконструированными для работы в тяжелых условиях. Подходят для откачки химически активных и конденсируемых газов, а также умеренно запыленных сред.
Обладают прекрасной характеристикой производительности и высокой стабильностью при откачке больших газовых объемов. Применяются в CVD технологиях, химическом и ионно-плазменном травлении подложек, установках удаления фоторезиста.
Особенности и преимущества
- Широкий диапазон скорости откачки для различных применений
- Применение высокоэффективных двигателей постоянного тока
- Применение надежных систем контроля работы
Применение
- CVD-процессы и процессы травления
- Откачка камер больших объемов
