Широкодиапазонный вакуумметр THYRACONT VSM77E

Широкодиапазонный вакуумметр THYRACONT VSM77E — модель линейки VSM. Серия предназначена для непрерывного контроля давления от форвакуумной области до высокого вакуума.

Принцип работы

На начальной стадии откачки используется датчик Пирани. Он определяет давление по изменению теплопроводности остаточного газа. После достижения более глубокого вакуума включается холодный катод, в котором поддерживается электрический разряд в магнитном поле. Ионный ток разряда зависит от давления и используется для измерения высоковакуумной области.

Автоматическое переключение

Электронная система согласует работу сенсоров и переводит измерение на холодный катод только при подходящем давлении. Это обеспечивает непрерывную кривую измерения и защищает высоковакуумный элемент от работы в неблагоприятном диапазоне.

Преимущества холодного катода

Холодный катод не содержит постоянно нагретой нити. Он подходит для длительного контроля высокого вакуума и отличается устойчивостью к условиям, в которых горячая нить могла бы испытывать дополнительную нагрузку.

Основные преимущества серии

• широкий диапазон давления;
• два принципа измерения в одном корпусе;
• непрерывный контроль полного цикла откачки;
• автоматический переход между сенсорами;
• долговечный холодный катод;
• уменьшение количества вакуумных портов;
• промышленные интерфейсы для передачи данных;
• возможность использования в автоматизированной системе управления.

Практическое назначение

Датчик контролирует предварительную откачку, момент включения высоковакуумного насоса, достижение рабочего давления и стабильность процесса. Показания могут применяться для управления клапанами, насосами и защитными блокировками.

Области применения

Серия используется в установках вакуумного нанесения покрытий, вакуумных печах, аналитическом оборудовании, исследовательских системах и других высоковакуумных процессах.