Турбомолекулярный вакуумный насос EBARA EMT1300M-CWС

EBARA EMT1300M-CWS — турбомолекулярный вакуумный насос серии EMT с пятикоординатным магнитным подвесом ротора. Исполнение EMT1300M-CWS оснащено высоковакуумным фланцем CF200 и водяным охлаждением. Эти параметры определяют требования к механической компоновке и отводу тепла в составе вакуумной установки.

В турбомолекулярной ступени быстро вращающийся ротор передаёт молекулам газа импульс в направлении выхода. Магнитный подвес удерживает ротор без механического контакта в подшипниковом узле, поэтому в зоне подвеса нет обычных контактных подшипников. Насос работает совместно с форвакуумной ступенью, которая поддерживает требуемые условия на выходе. Конструкция EMT допускает установку в различных пространственных положениях, что удобно при интеграции в вакуумные камеры и технологические модули.

Для M-исполнения применяется внешний контроллер ETC011M. Система управления контролирует вращение магнитно-подвешенного ротора и обеспечивает штатное торможение. При интеграции подбирают форвакуумную ступень, кабели управления и вакуумную арматуру с учётом газовой нагрузки, рабочего давления и режима процесса.

Применение

Насосы EMT применяют в оборудовании для плазменного травления, физического и химического осаждения из паровой фазы, нанесения тонких плёнок и ионного распыления. Серия также используется в масс-спектрометрии, шлюзовых и транспортировочных камерах, SEM/TEM-микроскопии, литографии, XPS и других высоковакуумных системах микроэлектроники и нанотехнологий. Исполнение выбирают по требуемой скорости откачки, типу фланца, охлаждению и условиям технологического процесса.

Технические характеристики EBARA EMT1300M-CWS

• скорость откачки по N₂ — 1300 л/с;
• предельное остаточное давление — 1 × 10⁻¹⁰ мбар;
• высоковакуумный фланец — CF200;
• охлаждение — водяное;
• контроллер — ETC011M;
• масса — 45 кг;
• габариты — 264 × 340 × 410 мм.

При подборе насоса учитывают состав газа, рабочее давление, тепловую нагрузку и допустимые условия форвакуумной ступени. Для процессов с реакционноспособными или загрязняющими газами отдельно подбирают конфигурацию продувки, материалы вакуумной линии и защиту технологической системы.